Vakuumpomp toegepas op halfgeleier proses veiligheid sake water ring vakuum pompklepflensverbinding
Oor die afgelope dekades, met die vinnige ontwikkeling van halfgeleiertegnologie, is halfgeleiertoerusting ook in generasie na generasie innovasie en ontwikkeling. Deesdae, die vervaardiging en gebruik van halfgeleier toerusting behels 'n verskeidenheid van chemiese elemente en baie ander aspekte van hoë tegnologie, met 'n sterk tegniese omvattende. Nie net as sodanig nie, integreer die ontwikkeling van halfgeleier toerusting tegnologie geleidelik die proses tegnologie modularisering in die toerusting, wat dit hoogs outomaties en hoogs intelligent maak, geleidelik verander die situasie van natuurlike skeiding van toerusting en proses, en loop altyd in die voorpunt van die ontwikkeling van halfgeleierstelselvervaardigingsbedryf, wat 'n besondere belangrike rol speel. Met die verdere ontwikkeling van halfgeleiertoerusting word die toepassingsveld daarvan al hoe wyer. In ander velde vir die vervaardiging van elektroniese toestelle word halfgeleiertoerusting of -toerusting wat uit halfgeleiertoerusting ontwikkel is, ook in verskillende grade aangeneem, wat 'n nuwe veld van halfgeleiertoerustingtoepassing word. Veral in die mikro/nano elektroniese toestelle, mikro/nano opto-elektromeganiese stelsels en ander produkte vervaardigingsveld van uiters klein grootte en hoë presisie, het dit uiters belangrike betekenis vir die ontwikkeling van elektroniese komponente.
Halfgeleier proses vakuum word hoofsaaklik gebruik in verdamping, sputtering, PECVD, vakuum droë ets, vakuum adsorpsie, toets toerusting, stofsuig en ander binding prosesse, halfgeleier produksie en vervaardigingsproses maklik produseer vlambare, plofbare en giftige materiaal gas, sal 'n bedreiging inhou vir produksie- en personeelveiligheid, daarom moet die toepassing van halfgeleier-vakuumpomp aandag gee aan verskeie veiligheidsaangeleenthede:
1. Filter en maak vakuumpomp en ander bykomstighede skoon, filter en pyp volgens skedule om oordruk te vermy:
In die toepassing van halfgeleiervakuumpomp kan die samestelling van die medium wat deur die reaksiekamer en vakuumpomp onttrek word uiters kompleks wees. Byvoorbeeld, SiH4 en O2 vorm SiO2 by die pomppoort, en die hidrolise van TiCl4 sal HCl vorm; Aanvaar dat die olie seël tipe meganiese pomp, hierdie gas stowwe kan ook omgekeer word met die pomp olie. Hierdie veranderinge veronderstel die vorming van deeltjies, stolbare materiaal of erosiewe media, wat die vakuumpomp of pypstelsel kan verstop, die vakuumpompfunksie kan beïnvloed, drukverhoging of oordruk veroorsaak, en die risiko wat in die tweede punt genoem word, is groter. Daarom is dit nodig om betyds skoon te maak en filtertoerusting op te stel wanneer nodig.
2, effektiewe verdunning van skadelike gaskonsentrasie:
Halfgeleier is geneig om die bogenoemde ontvlambare en plofbare, giftige en skadelike gasse te produseer. Daarom, in die toepassing van halfgeleier-vakuumpomp, wanneer hierdie media onttrek word, is dit nodig om te voorkom dat hulle onbeheerbare reaksies in die vakuumpomp of in die uitlaatproses het. Soos SiH4, PH3, AsH3, B2H6 en ander stowwe, in kontak met lug of suurstof, sal verbranding veroorsaak of selfs; Waterstofgas brand ook wanneer die mengselverhouding in die lug 'n sekere temperatuur bereik. Dit hang alles af van die hoeveelheid van die stof en sy verhouding tot die druk en temperatuur van die omgewing. Daarom, wanneer die halfgeleier vakuumpomp hierdie media onttrek, moet dit 'n inerte gas, soos stikstof, gebruik om hierdie gasse tot 'n veilige reeks te verdun voor kompressie.
3. Gee aandag aan die konsentrasie suurstof:
As suurstof in die lug te hoog is, sal verbranding en risiko voorkom. Daarom, in sommige gevalle, moet aandag gegee word aan die konsentrasie van suurstof, met behulp van inerte gas om te verdun, om te hoë konsentrasie te voorkom; Met die veronderstelling dat die olieseël meganiese pomp dalk ook 'n paar inerte en suurstofversoenbare vakuumpompolie moet gebruik, en tydige vervanging van oliefilters en olieprodukte.
4, voorkom dat die temperatuur te hoog is:
Dit is maklik om hierdie punt te verstaan. In die toepassing van halfgeleier in vakuumpomp, is daar meer skadelike gasse. Of droë vakuumpomp steeds 'n olieseël meganiese pomp is, die temperatuur in die pompkamer is te hoog, en vlambaar en plofbaar en du gas sal maklik gevaarlik wees by hoë temperatuur.
Bogenoemde 4 aspekte is die belangrikste veiligheidskwessies in die toepassing van halfgeleier vakuumpomp. In die algemeen moet olieseël meganiese pompe aandag gee aan meer veiligheidsbesonderhede as droë vakuumpompe, wegdoening is meer kompleks. Wanneer ons vakuumpompe gebruik, moet ons aandag gee aan die veiligheidsmaatreëls in die geleier, en 'n goeie werk in die operasiehandleiding doen wanneer ons later gebruik. As gevolg van die klein probleme met die werking, uitset, doeltreffendheid en veiligheid is gekoppel, moet ons die dienslewe van die vakuumpomp verleng, streef daarna om balans te koördineer, doeltreffendheid en veiligheid te verseker.
Waterring vakuumpomp klep flens verbinding vorm
Volgens die vorm van die gewrigsoppervlak kan dit in die volgende tipes verdeel word:
1, O-ring tipe: dit is 'n nuwe tipe waterring vakuum pomp flens verbinding vorm, word gevolg deur 'n verskeidenheid van rubber O-ring ontwikkeling, dit is meer betroubaar in seël effek as die algemene plat wasser
2, trapesvormige groef tipe: waterring vakuumpomp klep flensverbinding met ovaal metaalring as 'n wasser, gebruik vir werkdruk 64 kg/cm2 klep of hoë temperatuur klep
3. Spoor- en groeftipe: Die pakking met groot plastiese vervorming kan in die korrosiewe medium gebruik word. Die seëleffek van waterringvakuumpomp is beter
4. Konkawe en konvekse tipe: die werkdruk van waterring vakuumpomp is hoër, en die harde wasser kan gebruik word
5, lens tipe: die wasser is die vorm van die lens, gemaak van metaal. Hoëdrukkleppe of hoëtemperatuurkleppe met werkdruk van 100kg/cm2
6, gladde tipe: vir die druk is nie 'n hoë klep, verwerking meer gerieflik
Waterring vakuumpomp flensverbinding is daar is baie vorme, maar hulle het verskillende geleenthede, in gebruik, moet ons aandag gee aan die geskiktheid van die geleentheid, verseker die effek van verbinding, moenie verbindingsfout veroorsaak nie, wat lei tot skade aan die water ring vakuum pomp
Postyd: Jan-07-2023
