የቫኩም ፓምፕ ወደ ሴሚኮንዳክተር ሂደት የደህንነት ጉዳዮች የውሃ ቀለበት የቫኩም ፓምፕ ተተግብሯልቫልቭflange ግንኙነት
ባለፉት አሥርተ ዓመታት፣ በሴሚኮንዳክተር ቴክኖሎጂ ፈጣን እድገት፣ ሴሚኮንዳክተር መሣሪያዎች ከትውልድ ወደ ትውልድ ፈጠራ እና ልማት ውስጥ ናቸው። በአሁኑ ጊዜ የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን ማምረት እና መጠቀም የተለያዩ የኬሚካል ንጥረ ነገሮችን እና ሌሎች በርካታ የከፍተኛ ቴክኖሎጂ ገጽታዎችን በጠንካራ ቴክኒካዊ አጠቃላይ ያካትታል. እንደ ብቻ ሳይሆን, ሴሚኮንዳክተር መሣሪያዎች ቴክኖሎጂ ልማት ቀስ በቀስ ሂደት ቴክኖሎጂ ሞዱላራይዜሽን ወደ መሳሪያዎች, በከፍተኛ አውቶማቲክ እና ከፍተኛ ብልህ በማድረግ, ቀስ በቀስ መሣሪያዎች እና ሂደት የተፈጥሮ መለያየት ያለውን ሁኔታ መለወጥ, እና ሁልጊዜ ልማት ግንባር ውስጥ እየሄደ ነው. ሴሚኮንዳክተር ሲስተም የማኑፋክቸሪንግ ኢንዱስትሪ ፣ ልዩ ሚና ይጫወታል። የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ተጨማሪ እድገት, የመተግበሪያው መስክ የበለጠ እና የበለጠ ሰፊ ይሆናል. በሌሎች የኤሌክትሮኒክስ መሳሪያዎች ማምረቻ መስኮች ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ወይም መሳሪያዎች ከሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ተሻሽለው ወደ ተለያዩ ዲግሪዎች ተወስደዋል, ይህም አዲስ የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች አተገባበር መስክ ይሆናሉ. በተለይም በማይክሮ / ናኖ ኤሌክትሮኒክስ መሳሪያዎች ፣ ማይክሮ / ናኖ ኦፕቶኤሌክትሮሜካኒካል ስርዓቶች እና ሌሎች ምርቶች የማምረቻ መስክ እጅግ በጣም አነስተኛ መጠን እና ከፍተኛ ትክክለኛነት ለኤሌክትሮኒካዊ አካላት እድገት እጅግ በጣም አስፈላጊ ጠቀሜታ አለው።
ሴሚኮንዳክተር ሂደት ቫክዩም በዋናነት በትነት, sputtering, PECVD, ቫክዩም ደረቅ etching, ቫኩም adsorption, የሙከራ መሣሪያዎች, ቫክዩም ጽዳት እና ሌሎች ትስስር ሂደቶች, ሴሚኮንዳክተር ምርት እና የማምረት ሂደት በቀላሉ ተቀጣጣይ, ፈንጂ እና መርዛማ ቁሳዊ ጋዝ ለማምረት, ስጋት ይሆናል. የምርት እና የሰራተኞች ደህንነት ፣ ስለሆነም ሴሚኮንዳክተር የቫኩም ፓምፕ ትግበራ ለብዙ የደህንነት ጉዳዮች ትኩረት መስጠት አለበት ።
1. ከመጠን በላይ መጫንን ለማስወገድ የቫኩም ፓምፕ እና ሌሎች መለዋወጫዎችን ያጣሩ እና ያፅዱ፣ ማጣሪያ እና ቧንቧ በጊዜ ሰሌዳው ላይ ያፅዱ።
በሴሚኮንዳክተር የቫኩም ፓምፕ አተገባበር ውስጥ በምላሽ ክፍሉ እና በቫኩም ፓምፕ የሚወጣው መካከለኛ ውህደት እጅግ በጣም ውስብስብ ሊሆን ይችላል. ለምሳሌ, SiH4 እና O2 በፓምፕ ወደብ ላይ SiO2 ይመሰርታሉ, እና የ TiCl4 ሃይድሮሊሲስ ኤች.ሲ.ኤል. የዘይት ማህተም ዓይነት ሜካኒካል ፓምፕ እንደሆነ በማሰብ እነዚህ የጋዝ ንጥረ ነገሮች በፓምፕ ዘይት ሊገለበጡ ይችላሉ። እነዚህ ለውጦች የቫኩም ፓምፑን ወይም የቧንቧ ዝርጋታ ስርዓቱን የሚዘጉ፣ የቫኩም ፓምፕ ተግባርን የሚነኩ፣ የግፊት መጨመር ወይም ከመጠን በላይ ጫና የሚፈጥሩ ቅንጣቶች፣ ሊዳከሙ የሚችሉ ነገሮች ወይም የአፈር መሸርሸር ሚዲያዎች መፈጠርን ያስባሉ እና በሁለተኛው ነጥብ ላይ የተጠቀሰው አደጋ የበለጠ ነው። ስለዚህ በጊዜ ውስጥ ማጽዳት አስፈላጊ ነው, እና አስፈላጊ ሆኖ ሲገኝ የማጣሪያ መሳሪያዎችን ያዘጋጁ.
2, ጎጂ የጋዝ ትኩረትን ውጤታማ በሆነ መንገድ ማቅለጥ;
ሴሚኮንዳክተር ከላይ የተጠቀሱትን ተቀጣጣይ እና ፈንጂ፣ መርዛማ እና ጎጂ ጋዞችን ለማምረት የተጋለጠ ነው። ስለዚህ ሴሚኮንዳክተር ቫክዩም ፓምፕ በሚተገበርበት ጊዜ እነዚህን ሚዲያዎች በሚወጡበት ጊዜ በቫኩም ፓምፕ ወይም በጭስ ማውጫው ሂደት ውስጥ ከቁጥጥር ውጭ የሆነ ምላሽ እንዳይኖራቸው መከላከል ያስፈልጋል ። እንደ SiH4, PH3, AsH3, B2H6 እና ሌሎች ንጥረ ነገሮች, ከአየር ወይም ከኦክሲጅን ጋር ግንኙነት ሲፈጠር, ማቃጠል አልፎ ተርፎም ያስከትላል; በአየር ውስጥ ያለው ድብልቅ ጥምርታ የተወሰነ የሙቀት መጠን ሲደርስ ሃይድሮጅን ጋዝም ይቃጠላል. ሁሉም ነገር እንደ ንጥረ ነገር መጠን እና ከአካባቢው ግፊት እና ሙቀት ጋር ባለው ግንኙነት ላይ የተመሰረተ ነው. ስለዚህ ሴሚኮንዳክተር ቫክዩም ፓምፑ እነዚህን ሚዲያዎች ሲያወጣ፣ ከመጨመቁ በፊት እነዚህን ጋዞች ወደ አስተማማኝ ክልል ለማቅለል የማይንቀሳቀስ ጋዝ፣ ለምሳሌ ናይትሮጅን መጠቀም ያስፈልገዋል።
3. ለኦክስጅን ትኩረት ይስጡ:
በአየር ውስጥ ያለው ኦክስጅን በጣም ከፍተኛ ከሆነ, ማቃጠል እና አደጋ ይከሰታል. ስለዚህ, በአንዳንድ ሁኔታዎች, ትኩረት በጣም ከፍተኛ ትኩረት ለመከላከል, ለማዳከም inert ጋዝ በመጠቀም, ኦክሲጅን በማጎሪያ መከፈል አለበት; የዘይት ማኅተም ሜካኒካል ፓምፕ አንዳንድ የማይነቃነቅ እና ኦክሲጅን ተኳሃኝ የሆነ የቫኩም ፓምፕ ዘይት፣ እና የዘይት ማጣሪያዎችን እና የዘይት ምርቶችን በወቅቱ መተካት ሊያስፈልገው ይችላል ብለን በማሰብ።
4, የሙቀት መጠኑን ከመጠን በላይ መከላከል;
ይህንን ነጥብ ለመረዳት ቀላል ነው. በቫኩም ፓምፕ ውስጥ ሴሚኮንዳክተር ሲተገበር የበለጠ ጎጂ የሆኑ ጋዞች አሉ. ደረቅ የቫኩም ፓምፕ አሁንም የዘይት ማህተም ሜካኒካል ፓምፕ ይሁን፣ በፓምፕ ክፍሉ ውስጥ ያለው የሙቀት መጠን በጣም ከፍተኛ ነው፣ እና ተቀጣጣይ እና ፈንጂ እና ዱ ጋዝ በከፍተኛ ሙቀት በቀላሉ አደገኛ ይሆናሉ።
ከላይ ያሉት 4 ገጽታዎች ሴሚኮንዳክተር የቫኩም ፓምፕን በመተግበር ውስጥ ዋና ዋና የደህንነት ጉዳዮች ናቸው. በአጠቃላይ የዘይት ማኅተም ሜካኒካል ፓምፖች ከደረቁ የቫኩም ፓምፖች የበለጠ ለደህንነት ዝርዝሮች ትኩረት መስጠት አለባቸው ፣ አወጋገድ የበለጠ የተወሳሰበ ነው። የቫኩም ፓምፖችን ስንጠቀም በኮንዳክተሩ ውስጥ ያሉትን የደህንነት ጥንቃቄዎች ትኩረት መስጠት አለብን, እና በኋላ ሲጠቀሙ በኦፕሬሽን መመሪያው ውስጥ ጥሩ ስራ እንሰራለን. በአሠራሩ ላይ ያሉ ጥቃቅን ችግሮች, ውፅዓት, ቅልጥፍና እና ደህንነት የተሳሰሩ ናቸው, የቫኩም ፓምፑን የአገልግሎት ዘመን ማራዘም, ሚዛንን ለማስተባበር, ቅልጥፍናን እና ደህንነትን ማረጋገጥ አለብን.
የውሃ ቀለበት ቫኩም ፓምፕ ቫልቭ flange ግንኙነት ቅጽ
እንደ መገጣጠሚያው ወለል ቅርጽ, በሚከተሉት ዓይነቶች ሊከፈል ይችላል.
1, ሆይ-ring አይነት: ይህ አዲስ አይነት የውሃ ቀለበት ቫክዩም ፓምፕ flange ግንኙነት ቅጽ, የተለያዩ የጎማ ሆይ-ring ልማት ተከትሎ ነው, ይህም አጠቃላይ ጠፍጣፋ ማጠቢያ ይልቅ መታተም ውጤት ውስጥ ይበልጥ አስተማማኝ ነው.
2, trapezoidal ጎድጎድ አይነት: የውሃ ቀለበት ቫኩም ፓምፕ ቫልቭ flange ግንኙነት ሞላላ ብረት ቀለበት እንደ ማጠቢያ, ለሥራ ግፊት 64 ኪ.ግ / ሴሜ 2 ቫልቭ ወይም ከፍተኛ ሙቀት ቫልቭ
3. Mortise እና ጎድጎድ አይነት: ትልቅ የፕላስቲክ መበላሸት ያለው gasket በ corrosive መካከለኛ ውስጥ ጥቅም ላይ ሊውል ይችላል. የውሃ ቀለበት የቫኩም ፓምፕ የማተም ውጤት የተሻለ ነው
4. ኮንካቭ እና ኮንቬክስ ዓይነት፡- የውሃ ቀለበት የቫኩም ፓምፕ የስራ ጫና ከፍ ያለ ነው፣ እና ጠንካራ ማጠቢያውን መጠቀም ይቻላል
5, የሌንስ አይነት፡- አጣቢው የሌንስ ቅርጽ ነው ከብረት የተሰራ። ከፍተኛ ግፊት ቫልቮች ወይም ከፍተኛ የሙቀት ቫልቮች ከ 100 ኪ.ግ / ሴ.ሜ የሥራ ጫና ጋር
6, ለስላሳ አይነት: ለግፊቱ ከፍተኛ ቫልቭ አይደለም, በማቀነባበር የበለጠ ምቹ
የውሃ ቀለበት ቫክዩም ፓምፕ flange ግንኙነት ብዙ ቅጾች አሉ, ነገር ግን የተለያዩ አጋጣሚዎች አሏቸው, ጥቅም ላይ, እኛ አጋጣሚ ተገቢነት ትኩረት መስጠት አለብን, ግንኙነት ውጤት ለማረጋገጥ, ግንኙነት ውድቀት መንስኤ አይደለም, ውሃ ላይ ጉዳት ያስከትላል. ቀለበት የቫኩም ፓምፕ
የልጥፍ ጊዜ: ጥር-07-2023
