يتم تطبيق مضخة التفريغ على سلامة عملية أشباه الموصلات، حيث يتم توصيل شفة صمام مضخة التفريغ بحلقة الماء

يتم تطبيق مضخة التفريغ على سلامة عملية أشباه الموصلات، وهي مضخة تفريغ حلقة الماءصماماتصال شفة

على مدى العقود الماضية، مع التطور السريع لتكنولوجيا أشباه الموصلات، أصبحت معدات أشباه الموصلات أيضًا في جيل بعد جيل من الابتكار والتطوير. في الوقت الحاضر، يتضمن تصنيع واستخدام معدات أشباه الموصلات مجموعة متنوعة من العناصر الكيميائية والعديد من الجوانب الأخرى للتكنولوجيا المتقدمة، مع شمولية تقنية قوية. ليس على هذا النحو فحسب، فإن تطوير تكنولوجيا معدات أشباه الموصلات يدمج تدريجيًا وحدة تكنولوجيا العمليات في المعدات، مما يجعلها مؤتمتة للغاية وذكية للغاية، ويغير تدريجيًا حالة الفصل الطبيعي للمعدات والعملية، ويسير دائمًا في طليعة التطوير تلعب صناعة تصنيع أنظمة أشباه الموصلات دورًا مهمًا خاصًا. مع التطوير الإضافي لمعدات أشباه الموصلات، أصبح مجال تطبيقها أكثر وأكثر اتساعًا. في مجالات تصنيع الأجهزة الإلكترونية الأخرى، يتم أيضًا اعتماد معدات أو معدات أشباه الموصلات المتطورة من معدات أشباه الموصلات بدرجات متفاوتة، لتصبح مجالًا جديدًا لتطبيق معدات أشباه الموصلات. خاصة في الأجهزة الإلكترونية الدقيقة / النانوية، والأنظمة الكهروميكانيكية الضوئية الدقيقة / النانوية وغيرها من مجالات تصنيع المنتجات ذات الحجم الصغير للغاية والدقة العالية، فإن لها أهمية بالغة الأهمية لتطوير المكونات الإلكترونية.

يستخدم فراغ عملية أشباه الموصلات بشكل رئيسي في التبخر، الاخرق، PECVD، النقش الجاف الفراغي، الامتزاز الفراغي، معدات الاختبار، التنظيف الفراغي وعمليات الترابط الأخرى، إنتاج أشباه الموصلات وعملية التصنيع تنتج بسهولة غازات مواد قابلة للاشتعال والمتفجرة والسامة، وسوف تشكل تهديدًا الإنتاج وسلامة الموظفين، وبالتالي، فإن تطبيق مضخة فراغ أشباه الموصلات بحاجة إلى الاهتمام بالعديد من مسائل السلامة:

1. قم بتصفية وتنظيف مضخة التفريغ وغيرها من الملحقات والفلتر والأنابيب في الموعد المحدد لتجنب الضغط الزائد:

في تطبيق مضخة التفريغ شبه الموصلة، قد يكون تكوين الوسط المستخرج من خلال غرفة التفاعل ومضخة التفريغ معقدًا للغاية. على سبيل المثال، يشكل SiH4 وO2 SiO2 عند منفذ المضخة، وسيشكل التحلل المائي لـ TiCl4 حمض الهيدروكلوريك؛ بافتراض أن المضخة الميكانيكية من نوع ختم الزيت، يمكن أيضًا عكس هذه المواد الغازية بزيت المضخة. تفترض هذه التغييرات تكوين جزيئات أو مواد قابلة للتخثر أو وسائط تآكل، والتي قد تسد مضخة التفريغ أو نظام الأنابيب، وتؤثر على وظيفة مضخة التفريغ، وتسبب ارتفاع الضغط أو الضغط الزائد، ويكون الخطر المذكور في النقطة الثانية أكبر. لذلك، من الضروري التنظيف في الوقت المناسب، وإعداد معدات التصفية عند الضرورة.

2، التخفيف الفعال لتركيز الغاز الضار:

أشباه الموصلات عرضة لإنتاج الغازات القابلة للاشتعال والانفجار والسامة والضارة المذكورة أعلاه. لذلك، في تطبيق مضخة فراغ أشباه الموصلات، عند استخراج هذه الوسائط، من الضروري منعها من حدوث بعض التفاعلات التي لا يمكن السيطرة عليها في مضخة الفراغ أو في عملية العادم. مثل SiH4، PH3، AsH3، B2H6 وغيرها من المواد، عند ملامستها للهواء أو الأكسجين، سوف تسبب الاحتراق أو حتى؛ ويحترق غاز الهيدروجين أيضًا عندما تصل نسبة الخليط في الهواء إلى درجة حرارة معينة. كل هذا يتوقف على كمية المادة وعلاقتها بالضغط ودرجة حرارة البيئة. لذلك، عندما تستخرج مضخة التفريغ شبه الموصلة هذه الوسائط، فإنها تحتاج إلى استخدام غاز خامل، مثل النيتروجين، لتخفيف هذه الغازات إلى نطاق آمن قبل الضغط.

3. انتبه إلى تركيز الأكسجين:

إذا كان الأكسجين في الهواء مرتفعًا جدًا، فسيحدث احتراق وخطر. ولذلك، في بعض الحالات، ينبغي إيلاء الاهتمام لتركيز الأكسجين، وذلك باستخدام الغاز الخامل لتخفيفه، لمنع التركيز العالي جدا؛ بافتراض أن المضخة الميكانيكية لختم الزيت قد تحتاج أيضًا إلى استخدام بعض زيت مضخة التفريغ الخامل والمتوافق مع الأكسجين، واستبدال مرشحات الزيت والمنتجات النفطية في الوقت المناسب.

4، منع ارتفاع درجة الحرارة جدا:

ومن السهل أن نفهم هذه النقطة. في تطبيق أشباه الموصلات في مضخة فراغ، هناك المزيد من الغازات الضارة. سواء كانت مضخة التفريغ الجافة لا تزال مضخة ميكانيكية لختم الزيت، فإن درجة الحرارة في حجرة المضخة مرتفعة جدًا، وسيكون الغاز القابل للاشتعال والانفجار وغاز دو خطيرًا عند درجة حرارة عالية.

الجوانب الأربعة المذكورة أعلاه هي مسائل السلامة الرئيسية في تطبيق مضخة فراغ أشباه الموصلات. بشكل عام، تحتاج المضخات الميكانيكية لختم الزيت إلى الاهتمام بتفاصيل أمان أكثر من مضخات التفريغ الجافة، ويكون التخلص منها أكثر تعقيدًا. عندما نستخدم مضخات التفريغ، نحتاج إلى الانتباه إلى احتياطات السلامة في الموصل، والقيام بعمل جيد في دليل التشغيل عند الاستخدام لاحقًا. بسبب المشاكل الصغيرة في التشغيل، يرتبط الإخراج والكفاءة والسلامة، يجب علينا إطالة عمر خدمة مضخة التفريغ، والسعي لتنسيق التوازن، وضمان الكفاءة والسلامة.

شكل اتصال شفة صمام مضخة فراغ حلقة المياه

حسب شكل سطح المفصل يمكن تقسيمه إلى الأنواع التالية:

1 ، نوع الحلقة O: هذا هو نوع جديد من شكل اتصال شفة مضخة فراغ حلقة الماء ، يتبعه مجموعة متنوعة من تطوير الحلقة المطاطية O ، وهو أكثر موثوقية في تأثير الختم من الغسالة المسطحة العامة

2 ، نوع الأخدود شبه المنحرف: وصلة شفة صمام مضخة تفريغ حلقة الماء مع حلقة معدنية بيضاوية كغسالة ، تستخدم لضغط العمل 64 كجم / سم 2 صمام أو صمام درجة حرارة عالية

3. نوع النقر والأخدود: يمكن استخدام الحشية ذات التشوه البلاستيكي الكبير في وسط التآكل. تأثير الختم لمضخة فراغ حلقة الماء أفضل

4. النوع المقعر والمحدب: ضغط العمل لمضخة التفريغ الحلقية المائية أعلى، ويمكن استخدام الغسالة الصلبة

5، نوع العدسة: الغسالة هي شكل العدسة، مصنوعة من المعدن. صمامات الضغط العالي أو صمامات درجة الحرارة المرتفعة بضغط تشغيل 100 كجم/سم2

6، نوع سلس: للضغط ليس صمام عالية، وتجهيز أكثر ملاءمة

اتصال شفة مضخة فراغ حلقة المياه هناك العديد من الأشكال، ولكن لها مناسبات مختلفة، عند الاستخدام، يجب أن ننتبه إلى مدى ملاءمة المناسبة، والتأكد من تأثير الاتصال، ولا تسبب فشل الاتصال، مما يؤدي إلى تلف المياه مضخة فراغ الدائري