Yarımkeçirici prosesinə tətbiq olunan vakuum pompası su halqalı vakuum nasosunun təhlükəsizliyinə aiddirklapanflanş bağlantısı
Son onilliklərdə yarımkeçirici texnologiyanın sürətli inkişafı ilə yarımkeçirici avadanlıqlar da nəsildən-nəslə innovasiya və inkişafdadır. Hal-hazırda, yarımkeçirici avadanlıqların istehsalı və istifadəsi müxtəlif kimyəvi elementləri və yüksək texnologiyanın bir çox digər aspektlərini əhatə edir, güclü texniki kompleksə malikdir. Yalnız belə deyil, yarımkeçirici avadanlıq texnologiyasının inkişafı proses texnologiyasının modullaşdırılmasını tədricən avadanlıqlara inteqrasiya edərək onu yüksək avtomatlaşdırılmış və yüksək intellektli edir, avadanlıq və prosesin təbii ayrılması vəziyyətini tədricən dəyişdirir və həmişə inkişafın ön sıralarında gedir. yarımkeçirici sistem istehsalı sənayesində xüsusi əhəmiyyətli rol oynayır. Yarımkeçirici avadanlıqların daha da inkişafı ilə onun tətbiq sahəsi getdikcə genişlənir. Digər elektron cihazların istehsalı sahələrində yarımkeçirici avadanlıq və ya yarımkeçirici avadanlıqdan inkişaf etdirilən avadanlıqlar da müxtəlif dərəcələrdə qəbul edilir və yarımkeçirici avadanlıqların tətbiqinin yeni sahəsinə çevrilir. Xüsusilə mikro/nano elektron qurğular, mikro/nano optoelektromexaniki sistemlər və digər məhsullar istehsalı sahəsində son dərəcə kiçik ölçülü və yüksək dəqiqliklə elektron komponentlərin inkişafı üçün son dərəcə mühüm əhəmiyyətə malikdir.
Yarımkeçirici prosesi vakuum əsasən buxarlanma, püskürtmə, PECVD, vakuum quru aşındırma, vakuum adsorbsiya, sınaq avadanlığı, vakuum təmizləmə və digər bağlama proseslərində istifadə olunur, yarımkeçiricilərin istehsalı və istehsal prosesində asanlıqla yanan, partlayıcı və zəhərli material qazı istehsal olunur, təhlükə yaradacaqdır. istehsal və işçilərin təhlükəsizliyi, buna görə də yarımkeçirici vakuum nasosunun tətbiqi bir neçə təhlükəsizlik məsələsinə diqqət yetirməlidir:
1. Həddindən artıq təzyiqin qarşısını almaq üçün vakuum nasosunu və digər aksessuarları, filtri və boruyu cədvəl üzrə süzün və təmizləyin:
Yarımkeçirici vakuum nasosunun tətbiqi zamanı reaksiya kamerası və vakuum nasosu vasitəsilə çıxarılan mühitin tərkibi son dərəcə mürəkkəb ola bilər. Məsələn, SiH4 və O2 nasos portunda SiO2 əmələ gətirir və TiCl4-ün hidrolizi HCl əmələ gətirir; Yağ möhürü tipli mexaniki nasos olduğunu fərz etsək, bu qaz maddələri də nasos yağı ilə tərsinə çevrilə bilər. Bu dəyişikliklər vakuum nasosunu və ya boru sistemini bağlaya, vakuum nasosunun funksiyasına təsir edə bilən, təzyiqin yüksəlməsinə və ya həddindən artıq təzyiqə səbəb ola biləcək hissəciklərin, laxtalana bilən materialın və ya eroziv mühitin əmələ gəlməsini nəzərdə tutur və ikinci bənddə qeyd olunan risk daha böyükdür. Ona görə də vaxtında təmizləmək, lazım olanda süzgəc avadanlığı qurmaq lazımdır.
2, zərərli qaz konsentrasiyasının effektiv seyreltilməsi:
Yarımkeçiricilər yuxarıda qeyd olunan alışan və partlayıcı, zəhərli və zərərli qazlar çıxarmağa meyllidirlər. Buna görə də, yarımkeçirici vakuum nasosunun tətbiqində, bu mühitləri çıxararkən, onların vakuum nasosunda və ya egzoz prosesində bəzi idarəolunmaz reaksiyaların qarşısını almaq lazımdır. SiH4, PH3, AsH3, B2H6 və digər maddələr hava və ya oksigenlə təmasda olduqda yanmağa və ya hətta yanmağa səbəb olur; Havadakı qarışıq nisbəti müəyyən bir temperatura çatdıqda hidrogen qazı da yanır. Hamısı maddənin miqdarından və onun ətraf mühitin təzyiqi və temperaturu ilə əlaqəsindən asılıdır. Buna görə də, yarımkeçirici vakuum pompası bu mühiti çıxardıqda, sıxılmadan əvvəl bu qazları təhlükəsiz bir diapazonda seyreltmək üçün azot kimi inert qazdan istifadə etməlidir.
3. Oksigenin konsentrasiyasına diqqət yetirin:
Havada oksigen çox yüksək olarsa, yanma və risk meydana gələcək. Buna görə də, bəzi hallarda, çox yüksək konsentrasiyanın qarşısını almaq üçün sulandırmaq üçün inert qazdan istifadə edərək, oksigen konsentrasiyasına diqqət yetirilməlidir; Fərz etsək ki, yağ möhürünün mexaniki nasosunun bəzi inert və oksigenə uyğun vakuum nasos yağı istifadə etməsi və yağ filtrlərinin və neft məhsullarının vaxtında dəyişdirilməsi tələb oluna bilər.
4, çox yüksək temperaturun qarşısını alın:
Bu məqamı başa düşmək asandır. Vakuum nasosunda yarımkeçiricinin tətbiqində daha çox zərərli qazlar var. Quru vakuum nasosunun hələ də yağ möhürləyən mexaniki nasos olub-olmamasından asılı olmayaraq, nasos kamerasındakı temperatur çox yüksəkdir və tez alışan və partlayıcı və du qaz yüksək temperaturda asanlıqla təhlükəli olacaqdır.
Yuxarıdakı 4 aspekt yarımkeçirici vakuum nasosunun tətbiqində əsas təhlükəsizlik məsələsidir. Ümumiyyətlə, yağ möhürlü mexaniki nasoslar quru vakuum nasoslarından daha çox təhlükəsizlik detallarına diqqət yetirməlidir, atılması daha mürəkkəbdir. Vakuum nasoslarından istifadə edərkən konduktordakı təhlükəsizlik tədbirlərinə diqqət yetirməli, sonradan istifadə edərkən istismar kitabçasında yaxşı bir iş görməliyik. Əməliyyat, çıxış, səmərəlilik və təhlükəsizliklə bağlı kiçik problemlərə görə vakuum nasosunun xidmət müddətini uzatmalı, tarazlığı koordinasiya etməyə, səmərəliliyi və təhlükəsizliyi təmin etməyə çalışmalıyıq.
Su halqası vakuum pompası klapan flanşının əlaqə forması
Birgə səthinin formasına görə onu aşağıdakı növlərə bölmək olar:
1, O-halqa növü: bu, yeni bir növ su halqası vakuum nasosunun flanş əlaqə formasıdır, ardınca müxtəlif rezin O-ring inkişafı izlənir, ümumi düz yuyucudan daha sızdırmazlıq effektində daha etibarlıdır
2, trapezoidal yiv növü: yuyucu kimi oval metal halqa ilə su halqası vakuum nasos klapan flanş bağlantısı, iş təzyiqi 64 kq/sm2 klapan və ya yüksək temperaturlu klapan üçün istifadə olunur
3. Göbələk və yiv növü: Böyük plastik deformasiyaya malik conta korroziyalı mühitdə istifadə edilə bilər. Su halqalı vakuum nasosunun sızdırmazlıq təsiri daha yaxşıdır
4. Konkav və qabarıq tip: su halqalı vakuum nasosunun iş təzyiqi daha yüksəkdir və sərt yuyucu istifadə edilə bilər
5, linza növü: yuyucu lensin formasıdır, metaldan hazırlanmışdır. İş təzyiqi 100 kq/sm2 olan yüksək təzyiqli klapanlar və ya yüksək temperaturlu klapanlar
6, hamar tip: təzyiq üçün yüksək klapan deyil, emal daha rahatdır
Su halqası vakuum nasosunun flanş bağlantısının bir çox formaları var, lakin onların müxtəlif halları var, istifadədə, hadisənin uyğunluğuna diqqət yetirməliyik, əlaqənin təsirini təmin etməli, əlaqənin pozulmasına səbəb olmamalı, nəticədə suyun zədələnməsi üzük vakuum nasosu
Göndərmə vaxtı: 07 yanvar 2023-cü il
