Вакуумны помпа прымяняецца да бяспекі паўправадніковых працэсаў вадзянога кольца вакуумнага помпыклапанфланцавае злучэнне
За апошнія дзесяцігоддзі, з хуткім развіццём паўправадніковых тэхналогій, паўправадніковая апаратура таксама ў пакаленні інавацый і распрацовак. У наш час вытворчасць і выкарыстанне паўправадніковага абсталявання ўключае розныя хімічныя элементы і многія іншыя аспекты высокіх тэхналогій з моцным тэхнічным комплексам. Не толькі як такое, развіццё тэхналогіі паўправадніковага абсталявання паступова інтэгруе модульную тэхналогію працэсу ў абсталяванне, робячы яго высокааўтаматызаваным і высокаінтэлектуальным, паступова змяняючы сітуацыю натуральнага падзелу абсталявання і працэсу і заўсёды ідучы ў авангардзе развіцця. апрацоўчай прамысловасці паўправадніковых сістэм, адыгрываючы асаблівую важную ролю. З далейшым развіццём паўправадніковай тэхнікі вобласць яе прымянення становіцца ўсё больш і больш шырокай. У іншых галінах вытворчасці электронных прыбораў паўправадніковая апаратура або абсталяванне, створанае з паўправадніковай тэхнікі, таксама ў рознай ступені прымяняюцца, становячыся новай сферай прымянення паўправадніковай тэхнікі. Гэта мае надзвычай важнае значэнне для распрацоўкі электронных кампанентаў, асабліва ў галіне мікра-/нана-электронных прылад, мікра-/нана-оптаэлектрамеханічных сістэм і іншых вырабаў надзвычай малых памераў і высокай дакладнасці.
Працэс вакууму паўправаднікоў у асноўным выкарыстоўваецца ў выпарэнні, распыленні, PECVD, вакуумным сухім тручэнні, вакуумнай адсорбцыі, выпрабавальным абсталяванні, вакуумнай ачыстцы і іншых працэсах злучэння, вытворчасці паўправаднікоў і вытворчых працэсах, якія лёгка вырабляюць гаручы, выбуханебяспечны і таксічны газ, які ўяўляе пагрозу для вытворчасці і бяспекі персаналу, такім чынам, прымяненне паўправадніковага вакуумнага помпы неабходна звярнуць увагу на некалькі пытанняў бяспекі:
1. Адфільтруйце і ачысціце вакуумны помпа і іншыя прылады, фільтр і трубу па раскладзе, каб пазбегнуць залішняга ціску:
Пры ўжыванні паўправадніковага вакуумнага помпы склад асяроддзя, экстрагаванага праз рэакцыйную камеру і вакуумны помпа, можа быць надзвычай складаным. Напрыклад, SiH4 і O2 утвараюць SiO2 у порту помпы, а гідроліз TiCl4 утварае HCl; Калі выказаць здагадку, што сальнік тыпу механічнага помпы, гэтыя газавыя рэчывы таксама могуць быць адменены з маслам помпы. Гэтыя змены прадугледжваюць утварэнне часціц, каагуляцыйнага матэрыялу або эразійных асяроддзяў, якія могуць закаркаваць вакуумны помпа або сістэму трубаправодаў, паўплываць на працу вакуумнага помпы, выклікаць павышэнне ціску ці залішні ціск, і рызыка, згаданая ў другім пункце, павялічваецца. Таму неабходна своечасова праводзіць ачыстку, а пры неабходнасці наладжваць фільтруючае абсталяванне.
2, эфектыўнае развядзенне канцэнтрацыі шкоднага газу:
Паўправаднік схільны ўтвараць вышэйзгаданыя лёгкаўзгаральныя і выбуханебяспечныя, таксічныя і шкодныя газы. Такім чынам, пры ўжыванні паўправадніковых вакуумных помпаў пры экстракцыі гэтых асяроддзяў неабходна прадухіліць некаторыя некантралюемыя рэакцыі ў вакуумнай помпе або ў працэсе выхлапу. Такія, як SiH4, PH3, AsH3, B2H6 і іншыя рэчывы, у кантакце з паветрам або кіслародам, выкліча гарэнне або нават; Вадарод таксама гарыць, калі суадносіны сумесі ў паветры дасягае пэўнай тэмпературы. Усё залежыць ад колькасці рэчыва і яго адносіны да ціску і тэмпературы навакольнага асяроддзя. Такім чынам, калі паўправадніковы вакуумны помпа здабывае гэтыя асяроддзя, яму трэба выкарыстоўваць інэртны газ, напрыклад азот, каб разбавіць гэтыя газы да бяспечнага дыяпазону перад сцісканнем.
3. Звярніце ўвагу на канцэнтрацыю кіслароду:
Калі ўтрыманне кіслароду ў паветры занадта высокае, узнікне ўзгаранне і рызыка. Такім чынам, у некаторых выпадках варта звярнуць увагу на канцэнтрацыю кіслароду, выкарыстоўваючы інэртны газ для развядзення, каб прадухіліць занадта высокую канцэнтрацыю; Калі выказаць здагадку, што для механічнага помпы сальніка таксама можа спатрэбіцца выкарыстанне інэртнага і сумяшчальнага з кіслародам алею для вакуумнага помпы, а таксама своечасовая замена алейных фільтраў і нафтапрадуктаў.
4, прадухіліць занадта высокую тэмпературу:
Зразумець гэты пункт нескладана. Пры выкарыстанні паўправаднікоў у вакуумных помпах, ёсць больш шкодных газаў. Незалежна ад таго, ці з'яўляецца сухі вакуумны помпа механічным помпай з масляным ушчыльненнем, тэмпература ў камеры помпы занадта высокая, а лёгкаўзгаральныя і выбуханебяспечныя рэчывы і газы могуць быць небяспечныя пры высокай тэмпературы.
Вышэйпералічаныя 4 аспекты з'яўляюцца асноўнымі пытаннямі бяспекі пры ўжыванні паўправадніковага вакуумнага помпы. У цэлым механічныя помпы з сальнікам павінны звярнуць увагу на больш дэталяў бяспекі, чым сухія вакуумныя помпы, утылізацыя больш складаная. Калі мы выкарыстоўваем вакуумныя помпы, мы павінны звярнуць увагу на меры бяспекі ў правадніку, а таксама зрабіць добрую працу ў кіраўніцтве па эксплуатацыі пры наступным выкарыстанні. З-за невялікіх праблем з працай, прадукцыйнасцю, эфектыўнасцю і бяспекай звязаны паміж сабой, мы павінны падоўжыць тэрмін службы вакуумнага помпы, імкнуцца да каардынацыі балансу, забеспячэння эфектыўнасці і бяспекі.
Форма фланцавага злучэння клапана вадзянога кольца вакуумнага помпы
Па форме сустаўнай паверхні яго можна падзяліць на наступныя віды:
1, Тып ўшчыльняльнага кольца: гэта новы тып формы фланцавага злучэння вакуумнага помпы з вадзяным кольцам, за якім ідуць разнастайныя гумовыя ўшчыльняльныя кольцы, ён больш надзейны па ўшчыльненні, чым звычайная плоская шайба
2, тып трапецападобнай канаўкі: фланцавае злучэнне клапана вакуумнага помпы з вадзяным кольцам з авальным металічным кольцам у якасці шайбы, выкарыстоўваецца для клапана працоўнага ціску 64 кг/см2 або клапана высокай тэмпературы
3. Уразны і пазавы тып: пракладка з вялікай пластычнай дэфармацыяй можа выкарыстоўвацца ў агрэсіўнай асяроддзі. Эфект ўшчыльнення вадзянога кольца вакуумнага помпы лепш
4. Увагнуты і выпуклы тып: працоўны ціск вадзянога кольцавага вакуумнага помпы вышэй, і можна выкарыстоўваць жорсткую шайбу
5, тып лінзы: шайба формы лінзы, зробленыя з металу. Клапаны высокага ціску або высокатэмпературныя клапаны з рабочым ціскам 100 кг/см2
6, гладкі тып: для ціску не высокі клапан, апрацоўка больш зручнай
Вадзяное кальцавое фланцавае злучэнне вакуумнага помпы ёсць шмат формаў, але яны бываюць у розных выпадках, пры выкарыстанні, мы павінны звярнуць увагу на прыдатнасць выпадку, забяспечыць эфект злучэння, не выклікаць збой злучэння, што прыводзіць да пашкоджання вады кальцавой вакуумны помпа
Час публікацыі: 7 студзеня 2023 г
