Вакуумна помпа, приложена към безопасността на полупроводниковия процес, има значение за вакуумна помпа с воден пръстенклапанфланцова връзка
През последните десетилетия, с бързото развитие на полупроводниковите технологии, полупроводниковото оборудване също е в поколение след поколение иновации и развитие. В днешно време производството и използването на полупроводниково оборудване включва разнообразие от химически елементи и много други аспекти на високите технологии, със силно техническо изчерпателност. Не само като такова, развитието на технологията за полупроводниково оборудване постепенно интегрира модулирането на технологията на процеса в оборудването, което го прави силно автоматизирано и високо интелигентно, постепенно променяйки ситуацията на естествено разделяне на оборудването и процеса и винаги вървейки в челните редици на развитието на индустрията за производство на полупроводникови системи, играеща специална важна роля. С по-нататъшното развитие на полупроводниковото оборудване, неговото приложение става все по-широко. В други области на производството на електронни устройства, полупроводниковото оборудване или оборудването, развито от полупроводниково оборудване, също се възприема в различна степен, превръщайки се в нова област на приложение на полупроводниково оборудване. Особено в областта на микро/нано електронните устройства, микро/нано оптоелектромеханичните системи и други продукти с изключително малък размер и висока прецизност, това има изключително важно значение за развитието на електронните компоненти.
Вакуумът на полупроводниковия процес се използва главно при изпаряване, разпрашване, PECVD, вакуумно сухо ецване, вакуумна адсорбция, тестово оборудване, вакуумно почистване и други процеси на свързване, производството на полупроводници и производственият процес лесно произвеждат запалими, експлозивни и токсични материали газ, ще представлява заплаха за безопасността на производството и персонала, следователно прилагането на полупроводникова вакуумна помпа трябва да обърне внимание на няколко въпроса за безопасност:
1. Филтрирайте и почистете вакуумната помпа и други аксесоари, филтър и тръба по график, за да избегнете свръхналягане:
При прилагането на полупроводникова вакуумна помпа съставът на средата, извлечена през реакционната камера и вакуумната помпа, може да бъде изключително сложен. Например SiH4 и O2 образуват SiO2 в порта на помпата, а хидролизата на TiCl4 ще образува HCl; Ако приемем, че механичната помпа е тип маслено уплътнение, тези газови вещества също могат да бъдат обърнати с маслото на помпата. Тези промени предполагат образуването на частици, коагулиращ материал или ерозивна среда, които могат да запушат вакуумната помпа или тръбопроводната система, да повлияят на функцията на вакуумната помпа, да причинят повишаване на налягането или свръхналягане и рискът, споменат във втората точка, е по-голям. Ето защо е необходимо да се почиства навреме и да се настрои филтриращо оборудване, когато е необходимо.
2, ефективно разреждане на концентрацията на вредни газове:
Полупроводниците са склонни да произвеждат гореспоменатите запалими и експлозивни, токсични и вредни газове. Следователно, при прилагането на полупроводникова вакуумна помпа, когато се извличат тези среди, е необходимо да се предотврати появата на някои неконтролируеми реакции във вакуумната помпа или в процеса на изпускане. Като SiH4, PH3, AsH3, B2H6 и други вещества, в контакт с въздух или кислород, ще предизвикат изгаряне или дори; Водородният газ също гори, когато съотношението на сместа във въздуха достигне определена температура. Всичко зависи от количеството на веществото и връзката му с налягането и температурата на околната среда. Следователно, когато полупроводниковата вакуумна помпа извлича тези среди, тя трябва да използва инертен газ, като азот, за да разреди тези газове до безопасен диапазон преди компресия.
3. Обърнете внимание на концентрацията на кислород:
Ако кислородът във въздуха е твърде висок, ще възникне изгаряне и риск. Следователно в някои случаи трябва да се обърне внимание на концентрацията на кислород, като се използва инертен газ за разреждане, за да се предотврати твърде висока концентрация; Ако приемем, че механичната помпа с маслено уплътнение може да се наложи да използва инертно и съвместимо с кислород масло за вакуумна помпа и навременна смяна на маслените филтри и петролните продукти.
4, предотвратяване на твърде висока температура:
Лесно е да се разбере тази точка. При прилагането на полупроводници във вакуумна помпа има повече вредни газове. Независимо дали сухата вакуумна помпа все още е механична помпа с маслено уплътнение, температурата в камерата на помпата е твърде висока и запалимите и експлозивни газове лесно ще бъдат опасни при висока температура.
Горните 4 аспекта са основните въпроси, свързани с безопасността при прилагането на полупроводникова вакуумна помпа. Като цяло механичните помпи с маслено уплътнение трябва да обърнат внимание на повече подробности за безопасността, отколкото сухите вакуумни помпи, изхвърлянето е по-сложно. Когато използваме вакуумни помпи, трябва да обърнем внимание на предпазните мерки за безопасност в проводника и да свършим добра работа в ръководството за експлоатация, когато ги използваме по-късно. Поради малките проблеми при работа, производителността, ефективността и безопасността са свързани, трябва да удължим експлоатационния живот на вакуумната помпа, да се стремим да координираме баланса, да гарантираме ефективност и безопасност.
Форма за фланцово свързване на вакуумна помпа с воден пръстен
Според формата на ставната повърхност тя може да бъде разделена на следните видове:
1, тип О-пръстен: това е нов тип форма на фланцово свързване на вакуумна помпа с воден пръстен, последван от различни разработки на гумени О-пръстени, той е по-надежден в уплътнителния ефект от общата плоска шайба
2, тип трапецовиден жлеб: фланцова връзка на клапана на вакуумната помпа с воден пръстен с овален метален пръстен като шайба, използван за клапан за работно налягане 64 kg/cm2 или вентил за висока температура
3. Тип вдлъбнатина и жлеб: Уплътнението с голяма пластична деформация може да се използва в корозивна среда. Уплътняващият ефект на вакуумната помпа с воден пръстен е по-добър
4. Вдлъбнат и изпъкнал тип: работното налягане на вакуумната помпа с воден пръстен е по-високо и може да се използва твърдата шайба
5, тип леща: шайбата е формата на лещата, изработена от метал. Вентили за високо налягане или вентили за висока температура с работно налягане от 100 kg/cm2
6, гладък тип: за налягането не е високо клапан, обработката е по-удобна
Връзката с фланец на вакуумна помпа с воден пръстен има много форми, но те имат различни поводи, при употреба трябва да обърнем внимание на пригодността на случая, да гарантираме ефекта на връзката, да не причиняваме повреда на връзката, което води до повреда на водата пръстеновидна вакуумна помпа
Време на публикуване: януари-07-2023
