অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়া নিরাপত্তা বিষয় জল রিং ভ্যাকুয়াম পাম্প প্রয়োগ ভ্যাকুয়াম পাম্পভালভচক্রের উন্নত পার্শ্ব সংযোগ
গত কয়েক দশক ধরে, সেমিকন্ডাক্টর প্রযুক্তির দ্রুত বিকাশের সাথে, সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামগুলিও প্রজন্মের পর প্রজন্মের উদ্ভাবন এবং বিকাশে রয়েছে। আজকাল, সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামগুলির উত্পাদন এবং ব্যবহার একটি শক্তিশালী প্রযুক্তিগত ব্যাপক সহ বিভিন্ন রাসায়নিক উপাদান এবং উচ্চ প্রযুক্তির অন্যান্য অনেক দিক জড়িত। শুধু তাই নয়, সেমিকন্ডাক্টর ইকুইপমেন্ট টেকনোলজির উন্নয়ন ধীরে ধীরে যন্ত্রপাতির মধ্যে প্রক্রিয়া প্রযুক্তি মডুলারাইজেশনকে একীভূত করে, এটিকে অত্যন্ত স্বয়ংক্রিয় এবং অত্যন্ত বুদ্ধিমান করে তোলে, ধীরে ধীরে সরঞ্জাম এবং প্রক্রিয়ার প্রাকৃতিক পৃথকীকরণের পরিস্থিতি পরিবর্তন করে এবং সর্বদা উন্নয়নের অগ্রভাগে হাঁটা। সেমিকন্ডাক্টর সিস্টেম উত্পাদন শিল্প, একটি বিশেষ গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে. অর্ধপরিবাহী সরঞ্জামের আরও বিকাশের সাথে, এর প্রয়োগের ক্ষেত্র আরও প্রশস্ত হয়। অন্যান্য ইলেকট্রনিক ডিভাইস উত্পাদন ক্ষেত্রে, সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জাম বা সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জাম থেকে বিকশিত সরঞ্জামগুলিও বিভিন্ন মাত্রায় গৃহীত হয়, সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জাম প্রয়োগের একটি নতুন ক্ষেত্র হয়ে ওঠে। বিশেষ করে মাইক্রো/ন্যানো ইলেকট্রনিক ডিভাইস, মাইক্রো/ন্যানো অপটোইলেক্ট্রোমেকানিকাল সিস্টেম এবং অত্যন্ত ছোট আকার এবং উচ্চ নির্ভুলতার অন্যান্য পণ্য উত্পাদন ক্ষেত্রে, ইলেকট্রনিক উপাদানগুলির বিকাশের জন্য এটি অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ তাত্পর্য রয়েছে।
সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়া ভ্যাকুয়াম প্রধানত বাষ্পীভবন, স্পুটারিং, পিইসিভিডি, ভ্যাকুয়াম ড্রাই এচিং, ভ্যাকুয়াম শোষণ, পরীক্ষার সরঞ্জাম, ভ্যাকুয়াম ক্লিনিং এবং অন্যান্য বন্ধন প্রক্রিয়ায় ব্যবহৃত হয়, সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন এবং উত্পাদন প্রক্রিয়া সহজেই দাহ্য, বিস্ফোরক এবং বিষাক্ত উপাদান গ্যাস উত্পাদন করতে পারে। উত্পাদন এবং কর্মীদের নিরাপত্তা, অতএব, সেমিকন্ডাক্টর ভ্যাকুয়াম পাম্পের প্রয়োগের জন্য বেশ কয়েকটি নিরাপত্তার বিষয়ে মনোযোগ দিতে হবে:
1. অতিরিক্ত চাপ এড়াতে সময়সূচী অনুযায়ী ভ্যাকুয়াম পাম্প এবং অন্যান্য জিনিসপত্র, ফিল্টার এবং পাইপ ফিল্টার এবং পরিষ্কার করুন:
সেমিকন্ডাক্টর ভ্যাকুয়াম পাম্পের প্রয়োগে, প্রতিক্রিয়া চেম্বার এবং ভ্যাকুয়াম পাম্পের মাধ্যমে নিষ্কাশিত মাধ্যমটির গঠন অত্যন্ত জটিল হতে পারে। উদাহরণস্বরূপ, SiH4 এবং O2 পাম্প পোর্টে SiO2 গঠন করে এবং TiCl4 এর হাইড্রোলাইসিস HCl গঠন করবে; ধরে নিচ্ছি যে তেল সীল টাইপ যান্ত্রিক পাম্প, এই গ্যাস পদার্থগুলি পাম্প তেলের সাথেও বিপরীত হতে পারে। এই পরিবর্তনগুলি অনুমান করে কণা, জমাট যোগ্য উপাদান বা ক্ষয়কারী মিডিয়া, যা ভ্যাকুয়াম পাম্প বা পাইপিং সিস্টেমকে আটকে রাখতে পারে, ভ্যাকুয়াম পাম্পের কার্যকারিতাকে প্রভাবিত করতে পারে, চাপ বৃদ্ধি বা অতিরিক্ত চাপ সৃষ্টি করতে পারে এবং দ্বিতীয় পয়েন্টে উল্লিখিত ঝুঁকি বেশি। অতএব, সময়মতো পরিষ্কার করা প্রয়োজন, এবং প্রয়োজনে ফিল্টারিং সরঞ্জাম সেট আপ করুন।
2, ক্ষতিকারক গ্যাস ঘনত্বের কার্যকর তরলীকরণ:
সেমিকন্ডাক্টর উপরে উল্লিখিত দাহ্য এবং বিস্ফোরক, বিষাক্ত এবং ক্ষতিকারক গ্যাস উত্পাদন করতে প্রবণ। অতএব, সেমিকন্ডাক্টর ভ্যাকুয়াম পাম্পের প্রয়োগে, এই মিডিয়াগুলি বের করার সময়, ভ্যাকুয়াম পাম্পে বা নিষ্কাশন প্রক্রিয়ায় কিছু অনিয়ন্ত্রিত প্রতিক্রিয়া হওয়া থেকে তাদের প্রতিরোধ করা প্রয়োজন। যেমন SiH4, PH3, AsH3, B2H6 এবং অন্যান্য পদার্থ, বায়ু বা অক্সিজেনের সংস্পর্শে, জ্বলন বা এমনকি ঘটবে; যখন বাতাসে মিশ্রণের অনুপাত একটি নির্দিষ্ট তাপমাত্রায় পৌঁছায় তখন হাইড্রোজেন গ্যাসও জ্বলে। এটি সমস্ত পদার্থের পরিমাণ এবং পরিবেশের চাপ এবং তাপমাত্রার সাথে এর সম্পর্কের উপর নির্ভর করে। অতএব, যখন সেমিকন্ডাক্টর ভ্যাকুয়াম পাম্প এই মাধ্যমগুলিকে নিষ্কাশন করে, তখন এটিকে কম্প্রেশনের আগে এই গ্যাসগুলিকে নিরাপদ পরিসরে পাতলা করতে একটি নিষ্ক্রিয় গ্যাস, যেমন নাইট্রোজেন ব্যবহার করতে হবে।
3. অক্সিজেনের ঘনত্বের দিকে মনোযোগ দিন:
বাতাসে অক্সিজেন খুব বেশি হলে দহন ও ঝুঁকি হবে। অতএব, কিছু ক্ষেত্রে, অক্সিজেনের ঘনত্বের দিকে মনোযোগ দেওয়া উচিত, অত্যধিক ঘনত্ব প্রতিরোধ করার জন্য নিষ্ক্রিয় গ্যাস ব্যবহার করে; ধরে নিচ্ছি যে তেল সীল যান্ত্রিক পাম্পের জন্য কিছু জড় এবং অক্সিজেন সামঞ্জস্যপূর্ণ ভ্যাকুয়াম পাম্প তেল ব্যবহার করতে হবে এবং তেল ফিল্টার এবং তেল পণ্যগুলির সময়মত প্রতিস্থাপন করতে হবে।
4, তাপমাত্রা খুব বেশি প্রতিরোধ করুন:
এই পয়েন্টটি বোঝা সহজ। ভ্যাকুয়াম পাম্পে সেমিকন্ডাক্টর প্রয়োগে আরও ক্ষতিকারক গ্যাস থাকে। শুকনো ভ্যাকুয়াম পাম্প এখনও একটি তেল সীল যান্ত্রিক পাম্প কিনা, পাম্প চেম্বারে তাপমাত্রা খুব বেশি, এবং দাহ্য এবং বিস্ফোরক এবং ডু গ্যাস উচ্চ তাপমাত্রায় সহজেই বিপজ্জনক হবে।
উপরের 4টি দিক হল সেমিকন্ডাক্টর ভ্যাকুয়াম পাম্প প্রয়োগের ক্ষেত্রে প্রধান নিরাপত্তার বিষয়। সাধারণভাবে, তেল সীল যান্ত্রিক পাম্প শুকনো ভ্যাকুয়াম পাম্প তুলনায় আরো নিরাপত্তা বিবরণ মনোযোগ দিতে হবে, নিষ্পত্তি আরো জটিল। যখন আমরা ভ্যাকুয়াম পাম্প ব্যবহার করি, তখন আমাদের কন্ডাক্টরের নিরাপত্তা সতর্কতার দিকে মনোযোগ দিতে হবে এবং পরে ব্যবহার করার সময় অপারেশন ম্যানুয়ালটিতে একটি ভাল কাজ করতে হবে। অপারেশন, আউটপুট, দক্ষতা এবং নিরাপত্তার ছোট সমস্যাগুলির কারণে, আমাদের ভ্যাকুয়াম পাম্পের পরিষেবা জীবন বাড়ানো উচিত, ভারসাম্য সমন্বয় করার চেষ্টা করা উচিত, দক্ষতা এবং নিরাপত্তা নিশ্চিত করা উচিত।
জল রিং ভ্যাকুয়াম পাম্প ভালভ ফ্ল্যাঞ্জ সংযোগ ফর্ম
যৌথ পৃষ্ঠের আকৃতি অনুসারে, এটি নিম্নলিখিত ধরণের মধ্যে বিভক্ত করা যেতে পারে:
1, ও-রিং টাইপ: এটি একটি নতুন ধরণের ওয়াটার রিং ভ্যাকুয়াম পাম্প ফ্ল্যাঞ্জ সংযোগ ফর্ম, বিভিন্ন রাবার ও-রিং বিকাশ দ্বারা অনুসরণ করা হয়, এটি সাধারণ ফ্ল্যাট ওয়াশারের চেয়ে সিলিং প্রভাবে আরও নির্ভরযোগ্য
2, ট্র্যাপিজয়েডাল গ্রুভ টাইপ: ওয়াটার রিং ভ্যাকুয়াম পাম্প ভালভ ফ্ল্যাঞ্জ সংযোগ ডিম্বাকৃতির ধাতব রিংয়ের সাথে একটি ওয়াশার হিসাবে, কাজের চাপ 64 কেজি/সেমি 2 ভালভ বা উচ্চ তাপমাত্রার ভালভের জন্য ব্যবহৃত হয়
3. মর্টাইজ এবং খাঁজের ধরন: বড় প্লাস্টিকের বিকৃতি সহ গ্যাসকেট ক্ষয়কারী মাধ্যমে ব্যবহার করা যেতে পারে। জল রিং ভ্যাকুয়াম পাম্প এর sealing প্রভাব ভাল
4. অবতল এবং উত্তল প্রকার: ওয়াটার রিং ভ্যাকুয়াম পাম্পের কাজের চাপ বেশি এবং হার্ড ওয়াশার ব্যবহার করা যেতে পারে
5, লেন্সের ধরন: ধাবক হল লেন্সের আকৃতি, ধাতু দিয়ে তৈরি। 100kg/cm2 কাজের চাপ সহ উচ্চ চাপের ভালভ বা উচ্চ তাপমাত্রার ভালভ
6, মসৃণ টাইপ: চাপের জন্য উচ্চ ভালভ নয়, প্রক্রিয়াকরণ আরও সুবিধাজনক
ওয়াটার রিং ভ্যাকুয়াম পাম্প ফ্ল্যাঞ্জ সংযোগের অনেকগুলি রূপ রয়েছে, তবে তাদের বিভিন্ন অনুষ্ঠান রয়েছে, ব্যবহারে, আমাদের অনুষ্ঠানের উপযুক্ততার দিকে মনোযোগ দেওয়া উচিত, সংযোগের প্রভাব নিশ্চিত করা উচিত, সংযোগ ব্যর্থতার কারণ হবে না, ফলে জলের ক্ষতি হয়। রিং ভ্যাকুয়াম পাম্প
পোস্টের সময়: জানুয়ারি-০৭-২০২৩
