Vakumska pumpa primijenjena na poluvodičke procese bezbjednost vodena prstenasta vakuum pumpaventilprirubnički priključak
Tokom proteklih decenija, sa brzim razvojem poluprovodničke tehnologije, poluprovodnička oprema je takođe u inovacijama i razvoju generacija za generacijom. Danas, proizvodnja i upotreba poluvodičke opreme uključuje niz hemijskih elemenata i mnoge druge aspekte visoke tehnologije, sa jakim tehničkim sveobuhvatnim. Ne samo kao takva, razvoj tehnologije poluvodičke opreme postepeno integrira modularizaciju procesne tehnologije u opremu, čineći je visoko automatiziranom i visoko inteligentnom, postupno mijenjajući situaciju prirodnog razdvajanja opreme i procesa, i uvijek hodajući u prvim redovima razvoja. industrije proizvodnje poluprovodničkih sistema, igrajući posebnu važnu ulogu. Daljnjim razvojem poluvodičke opreme, polje njene primjene postaje sve šire. U drugim oblastima proizvodnje elektronskih uređaja, poluprovodnička oprema ili oprema koja je evoluirala iz poluprovodničke opreme takođe se usvajaju u različitom stepenu, postajući novo polje primene poluprovodničke opreme. Posebno u oblasti mikro/nano elektronskih uređaja, mikro/nano optoelektromehaničkih sistema i drugih proizvoda izuzetno malih dimenzija i visoke preciznosti, ima izuzetno važan značaj za razvoj elektronskih komponenti.
Poluprovodnički procesni vakuum se uglavnom koristi za isparavanje, raspršivanje, PECVD, vakuumsko suho jetkanje, vakuumsku adsorpciju, opremu za testiranje, usisavanje i druge procese vezivanja, poluprovodnički proizvodni i proizvodni proces lako proizvodi zapaljiv, eksplozivan i otrovan materijal, plin, predstavlja prijetnju za sigurnost proizvodnje i osoblja, stoga pri primjeni poluvodičke vakuum pumpe treba obratiti pažnju na nekoliko sigurnosnih pitanja:
1. Filtrirajte i očistite vakuum pumpu i drugi pribor, filter i cijev prema rasporedu kako biste izbjegli nadpritisak:
U primeni poluprovodničke vakuum pumpe, sastav medijuma ekstrahovan kroz reakcionu komoru i vakuum pumpu može biti izuzetno složen. Na primjer, SiH4 i O2 formiraju SiO2 na priključku pumpe, a hidroliza TiCl4 će formirati HCl; Pod pretpostavkom da je mehanička pumpa tipa uljnog zaptivača, ove gasne supstance se takođe mogu obrnuti sa uljem pumpe. Ove promjene pretpostavljaju stvaranje čestica, materijala koji se koagulira, ili erozivnog medija, koji mogu začepiti vakuum pumpu ili sistem cjevovoda, utjecati na funkciju vakuum pumpe, uzrokovati porast tlaka ili nadpritisak, a rizik spomenut u drugoj tački je veći. Stoga je potrebno na vrijeme očistiti, a po potrebi postaviti opremu za filtriranje.
2, efektivno razrjeđivanje koncentracije štetnog plina:
Poluprovodnik je sklon stvaranju gore navedenih zapaljivih i eksplozivnih, otrovnih i štetnih plinova. Stoga je u primjeni poluvodičke vakuum pumpe, prilikom ekstrakcije ovih medija, potrebno spriječiti da dođe do nekih nekontrolisanih reakcija u vakuum pumpi ili u procesu izduvavanja. Kao što su SiH4, PH3, AsH3, B2H6 i druge supstance, u kontaktu sa vazduhom ili kiseonikom, će izazvati sagorevanje ili čak; Plin vodonik također gori kada omjer smjese u zraku dostigne određenu temperaturu. Sve zavisi od količine supstance i njenog odnosa sa pritiskom i temperaturom okoline. Stoga, kada poluvodička vakuum pumpa ekstrahira ove medije, ona treba da koristi inertni plin, kao što je dušik, da razrijedi ove plinove do sigurnog raspona prije kompresije.
3. Obratite pažnju na koncentraciju kiseonika:
Ako je kiseonik u vazduhu previsok, doći će do sagorevanja i opasnosti. Stoga, u nekim slučajevima treba obratiti pažnju na koncentraciju kisika, korištenjem inertnog plina za razrjeđivanje, kako bi se spriječila previsoka koncentracija; Pod pretpostavkom da će mehanička pumpa za uljnu brtvu možda morati koristiti i neko inertno ulje za vakuum pumpu kompatibilno s kisikom, te pravovremenu zamjenu filtera ulja i uljnih proizvoda.
4, spriječite previsoku temperaturu:
Lako je razumjeti ovu tačku. U primjeni poluprovodnika u vakuum pumpi ima više štetnih plinova. Bez obzira da li je suha vakuumska pumpa i dalje mehanička pumpa sa uljnim zaptivačima, temperatura u komori pumpe je previsoka, a zapaljivi i eksplozivni i du plin će lako biti opasni na visokoj temperaturi.
Gore navedena 4 aspekta su glavna sigurnosna pitanja u primjeni poluvodičke vakuum pumpe. Općenito, mehaničke pumpe s uljnim brtvama moraju obratiti pažnju na više sigurnosnih detalja od suhih vakuum pumpi, odlaganje je složenije. Kada koristimo vakuum pumpe, moramo obratiti pažnju na sigurnosne mjere u provodniku i dobro obaviti posao u uputstvu za upotrebu prilikom kasnije upotrebe. Zbog malih problema vezanih za rad, izlaz, efikasnost i sigurnost, trebalo bi produžiti vijek trajanja vakuum pumpe, težiti koordinaciji balansa, osigurati efikasnost i sigurnost.
Prirubnički spoj ventila sa vodenim prstenom vakuumske pumpe
Prema obliku površine zgloba, može se podijeliti na sljedeće vrste:
1, tip O-prstena: ovo je nova vrsta prirubničkog spoja vakuumske pumpe s vodenim prstenom, praćena raznim razvojem gumenih O-prstenova, pouzdaniji je u efektu brtvljenja od opće ravne podloške
2, tip trapezoidnog utora: vodeni prsten vakuum pumpa ventil prirubnički spoj sa ovalnim metalnim prstenom kao podloškom, koristi se za ventil radnog pritiska 64 kg/cm2 ili ventil za visoke temperature
3. Tip utora i utora: Zaptivka sa velikom plastičnom deformacijom može se koristiti u korozivnom mediju. Efekat brtvljenja vodenog prstena vakuum pumpe je bolji
4. Konkavni i konveksni tip: radni pritisak vodene prstenaste vakuum pumpe je veći, a može se koristiti tvrda perilica
5, tip sočiva: podloška je oblika sočiva, izrađena od metala. Ventili visokog pritiska ili visokotemperaturni ventili sa radnim pritiskom od 100kg/cm2
6, glatki tip: za pritisak nije visok ventil, obrada je pogodnija
Prirubnički spoj vodenog prstena vakuumske pumpe ima mnogo oblika, ali imaju različite prilike, u upotrebi, treba obratiti pažnju na prikladnost prilike, osigurati učinak veze, ne uzrokovati kvar veze, što rezultira oštećenjem vode prstenasta vakuum pumpa
Vrijeme objave: Jan-07-2023
