La bomba de buit aplicada a les qüestions de seguretat del procés de semiconductors és la bomba de buit d'anell d'aiguavàlvulaconnexió de brida
Durant les últimes dècades, amb el ràpid desenvolupament de la tecnologia de semiconductors, els equips de semiconductors també estan en innovació i desenvolupament generació rere generació. Avui en dia, la fabricació i l'ús d'equips de semiconductors implica una varietat d'elements químics i molts altres aspectes d'alta tecnologia, amb un fort component tècnic. No només com a tal, el desenvolupament de la tecnologia d'equips de semiconductors integra gradualment la modularització de la tecnologia de procés a l'equip, fent-lo altament automatitzat i altament intel·ligent, canviant gradualment la situació de separació natural d'equips i processos i sempre caminant a l'avantguarda del desenvolupament. de la indústria de fabricació de sistemes de semiconductors, jugant un paper important especial. Amb el desenvolupament dels equips de semiconductors, el seu camp d'aplicació es fa cada cop més ampli. En altres camps de fabricació de dispositius electrònics, els equips de semiconductors o els equips evolucionats a partir d'equips de semiconductors també s'adopten en diferents graus, convertint-se en un nou camp d'aplicació d'equips de semiconductors. Especialment en els dispositius electrònics micro/nano, els sistemes optoelectromecànics micro/nano i el camp de fabricació d'altres productes de mida extremadament petita i alta precisió, té una importància extremadament important per al desenvolupament de components electrònics.
El buit del procés de semiconductors s'utilitza principalment en l'evaporació, la polsadora, el PECVD, el gravat en sec al buit, l'adsorció al buit, els equips de prova, la neteja al buit i altres processos d'unió, la producció i el procés de fabricació de semiconductors produirà fàcilment gas de material inflamable, explosiu i tòxic, suposarà una amenaça per a La producció i la seguretat del personal, per tant, l'aplicació de la bomba de buit de semiconductors ha de prestar atenció a diverses qüestions de seguretat:
1. Filtreu i netegeu la bomba de buit i altres accessoris, filtres i canonades segons el calendari previst per evitar la sobrepressió:
En l'aplicació de la bomba de buit de semiconductors, la composició del medi extret a través de la cambra de reacció i la bomba de buit pot ser extremadament complexa. Per exemple, SiH4 i O2 formen SiO2 al port de la bomba, i la hidròlisi de TiCl4 formarà HCl; Suposant que la bomba mecànica del tipus segell d'oli, aquestes substàncies gasoses també es poden invertir amb l'oli de la bomba. Aquests canvis suposen la formació de partícules, material coagulable o mitjans erosius, que poden obstruir la bomba de buit o el sistema de canonades, afectar la funció de la bomba de buit, provocar augment de pressió o sobrepressió i el risc esmentat en el segon punt és més gran. Per tant, cal netejar a temps i instal·lar equips de filtrat quan sigui necessari.
2, dilució efectiva de la concentració de gas nociu:
El semiconductor és propens a produir els esmentats gasos inflamables i explosius, tòxics i nocius. Per tant, en l'aplicació de la bomba de buit de semiconductors, a l'hora d'extreure aquests mitjans, cal evitar que tinguin algunes reaccions incontrolables en la bomba de buit o en el procés d'escapament. Com ara SiH4, PH3, AsH3, B2H6 i altres substàncies, en contacte amb l'aire o l'oxigen, provocaran combustió o fins i tot; El gas hidrogen també es crema quan la proporció de la mescla de l'aire arriba a una determinada temperatura. Tot depèn de la quantitat de substància i de la seva relació amb la pressió i la temperatura de l'entorn. Per tant, quan la bomba de buit semiconductora extreu aquests mitjans, ha d'utilitzar un gas inert, com el nitrogen, per diluir aquests gasos a un rang segur abans de la compressió.
3. Preste atenció a la concentració d'oxigen:
Si l'oxigen a l'aire és massa alt, es produirà combustió i risc. Per tant, en alguns casos, s'ha de parar atenció a la concentració d'oxigen, utilitzant gas inert per diluir, per evitar una concentració massa alta; Suposant que la bomba mecànica del segell d'oli també pot necessitar utilitzar una mica d'oli de bomba de buit inert i compatible amb l'oxigen i la substitució oportuna de filtres d'oli i productes petroliers.
4, evita que la temperatura sigui massa alta:
És fàcil d'entendre aquest punt. En l'aplicació de semiconductors a la bomba de buit, hi ha més gasos nocius. Tant si la bomba de buit sec encara és una bomba mecànica de segellat d'oli, la temperatura a la cambra de la bomba és massa alta, i els gasos inflamables i explosius i du gas fàcilment seran perillosos a altes temperatures.
Els 4 aspectes anteriors són els principals problemes de seguretat en l'aplicació de la bomba de buit de semiconductors. En general, les bombes mecàniques de segellat d'oli han de prestar atenció a més detalls de seguretat que les bombes de buit sec, l'eliminació és més complexa. Quan utilitzem bombes de buit, hem de prestar atenció a les precaucions de seguretat del conductor i fer una bona feina al manual d'operacions quan s'utilitzi més tard. A causa dels petits problemes de funcionament, sortida, eficiència i seguretat, hauríem d'allargar la vida útil de la bomba de buit, esforçar-nos per coordinar l'equilibri, garantir l'eficiència i la seguretat.
Forma de connexió de brida de la vàlvula de la bomba de buit de l'anell d'aigua
Segons la forma de la superfície de l'articulació, es pot dividir en els següents tipus:
1, tipus d'anell tòric: aquest és un nou tipus de forma de connexió de brida de bomba de buit d'anell d'aigua, seguit d'una varietat de desenvolupament d'anell tòric de goma, és més fiable en l'efecte de segellat que la rentadora plana general
2, tipus de ranura trapezoïdal: connexió de brida de la vàlvula de la bomba de buit de l'anell d'aigua amb un anell metàl·lic oval com a rentadora, utilitzat per a la vàlvula de pressió de treball de 64 kg/cm2 o vàlvula d'alta temperatura
3. Tipus d'embotir i ranura: la junta amb gran deformació plàstica es pot utilitzar en el medi corrosiu. L'efecte de segellat de la bomba de buit d'anell d'aigua és millor
4. Tipus còncau i convex: la pressió de treball de la bomba de buit de l'anell d'aigua és més alta i es pot utilitzar la rentadora dura
5, tipus de lent: la rentadora és la forma de la lent, feta de metall. Vàlvules d'alta pressió o vàlvules d'alta temperatura amb una pressió de treball de 100 kg/cm2
6, tipus llis: perquè la pressió no és alta vàlvula, el processament és més convenient
La connexió de la brida de la bomba de buit de l'anell d'aigua hi ha moltes formes, però tenen diferents ocasions, en ús, hauríem de prestar atenció a la idoneïtat de l'ocasió, garantir l'efecte de la connexió, no causar fallades de connexió, donant lloc a danys a l'aigua. bomba de buit d'anell
Hora de publicació: 07-gen-2023
