Ang vacuum pump nga gigamit sa semiconductor nga proseso sa kaluwasan importante sa tubig singsing nga vacuum pumpbalbulakoneksyon sa flange
Sa milabay nga mga dekada, uban sa paspas nga kalamboan sa semiconductor teknolohiya, semiconductor ekipo usab sa kaliwatan human sa kaliwatan kabag-ohan ug kalamboan. Karong panahona, ang paghimo ug paggamit sa mga kagamitan sa semiconductor naglakip sa lainlaing mga elemento sa kemikal ug daghang uban pang mga aspeto sa taas nga teknolohiya, nga adunay usa ka lig-on nga teknikal nga komprehensibo. Dili lamang sa ingon, ang pag-uswag sa teknolohiya sa kagamitan sa semiconductor hinay-hinay nga naghiusa sa modularisasyon sa teknolohiya sa proseso sa mga kagamitan, nga naghimo niini nga awtomatiko ug labi ka intelihente, anam-anam nga nagbag-o sa kahimtang sa natural nga pagbulag sa mga kagamitan ug proseso, ug kanunay nga naglakaw sa unahan sa pag-uswag. sa semiconductor system manufacturing industriya, pagdula sa usa ka espesyal nga importante nga papel. Sa dugang nga pag-uswag sa mga kagamitan sa semiconductor, ang natad sa aplikasyon niini nahimong labi ka lapad. Sa ubang mga natad sa paghimo sa elektronik nga aparato, ang mga kagamitan sa semiconductor o kagamitan nga nabag-o gikan sa kagamitan sa semiconductor gisagop usab sa lainlaing mga degree, nga nahimong usa ka bag-ong natad sa aplikasyon sa kagamitan sa semiconductor. Ilabi na sa micro / nano electronic device, micro / nano optoelectromechanical nga mga sistema ug uban pang mga produkto nga natad sa paghimo sa hilabihan ka gamay nga gidak-on ug taas nga katukma, kini adunay hilabihan ka importante nga kahulogan alang sa pagpalambo sa elektronik nga mga sangkap.
Ang vacuum sa proseso sa semiconductor kasagarang gigamit sa evaporation, sputtering, PECVD, vacuum dry etching, vacuum adsorption, test equipment, vacuum cleaning ug uban pang mga proseso sa bonding, semiconductor production ug manufacturing process dali nga makahimo og flammable, explosive ug makahilo nga materyal nga gas, mahimong hulga sa produksyon ug kaluwasan sa kawani, busa, ang paggamit sa semiconductor vacuum pump kinahanglan nga pagtagad sa pipila ka mga butang sa kaluwasan:
1. Pagsala ug paglimpyo sa vacuum pump ug uban pang mga accessories, filter ug pipe sa eskedyul aron malikayan ang overpressure:
Sa paggamit sa semiconductor vacuum pump, ang komposisyon sa medium nga gikuha pinaagi sa reaksyon chamber ug vacuum pump mahimong hilabihan ka komplikado. Pananglitan, ang SiH4 ug O2 nagporma og SiO2 sa pump port, ug ang hydrolysis sa TiCl4 mahimong HCl; Sa pag-ingon nga ang oil seal type mechanical pump, kini nga mga gas substance mahimo usab nga balihon sa pump oil. Kini nga mga pagbag-o naghunahuna sa pagporma sa mga partikulo, coagulable nga materyal, o erosive media, nga mahimong makabara sa vacuum pump o piping system, makaapekto sa vacuum pump function, hinungdan sa pagtaas sa presyur o sobrang presyur, ug ang risgo nga gihisgutan sa ikaduhang punto mas dako. Busa, kinahanglan nga limpyohan sa oras, ug i-set up ang mga kagamitan sa pagsala kung gikinahanglan.
2, epektibo nga pagtunaw sa makadaot nga konsentrasyon sa gas:
Ang semiconductor kay prone sa pagprodyus sa nahisgutan sa ibabaw nga inflammable ug explosive, makahilo ug makadaot nga mga gas. Busa, sa paggamit sa semiconductor vacuum pump, sa diha nga ang pagkuha niini nga mga media, kini mao ang gikinahanglan nga sa pagpugong kanila gikan sa pipila ka dili makontrol nga mga reaksyon sa vacuum pump o sa tambutso proseso. Sama sa SiH4, PH3, AsH3, B2H6 ug uban pang mga butang, sa kontak sa hangin o oksiheno, mahimong hinungdan sa pagkasunog o bisan; Ang hydrogen gas masunog usab kung ang sagol nga ratio sa hangin moabot sa usa ka piho nga temperatura. Kini tanan nagdepende sa gidaghanon sa substansiya ug sa relasyon niini sa presyur ug temperatura sa palibot. Busa, sa diha nga ang semiconductor vacuum pump kinuha kini nga media, kini kinahanglan nga mogamit sa usa ka inert gas, sama sa nitroheno, sa dilute niini nga mga gas ngadto sa usa ka luwas nga range sa atubangan sa kompresiyon.
3. Hatagig pagtagad ang konsentrasyon sa oxygen:
Kung ang oxygen sa hangin taas kaayo, ang pagkasunog ug peligro mahitabo. Busa, sa pipila ka mga kaso, ang pagtagad kinahanglan nga ibayad ngadto sa konsentrasyon sa oksiheno, sa paggamit sa inert gas sa dilute, sa pagpugong sa kaayo taas nga konsentrasyon; Sa pag-ingon nga ang oil seal mechanical pump mahimo usab nga kinahanglan nga mogamit sa pipila ka inert ug oxygen compatible nga vacuum pump nga lana, ug tukma sa panahon nga pag-ilis sa mga filter sa lana ug mga produkto sa lana.
4, pugngan ang temperatura nga taas kaayo:
Sayon sabton kining puntoha. Sa paggamit sa semiconductor sa vacuum pump, adunay mas makadaot nga mga gas. Kung ang uga nga vacuum pump usa pa ka oil seal mechanical pump, ang temperatura sa pump chamber taas kaayo, ug ang masunog ug mobuto ug du gas dali nga delikado sa taas nga temperatura.
Ang labaw sa 4 nga mga aspeto mao ang nag-unang mga butang sa kaluwasan sa paggamit sa semiconductor vacuum pump. Sa kinatibuk-an, ang oil seal mechanical pumps kinahanglan nga magtagad sa dugang nga mga detalye sa kaluwasan kay sa uga nga vacuum pump, ang paglabay mas komplikado. Kung mogamit kita og mga vacuum pump, kinahanglan natong hatagan ug pagtagad ang mga pag-amping sa kaluwasan sa konduktor, ug buhaton ang maayong trabaho sa manwal sa operasyon kung gamiton sa ulahi. Tungod sa gagmay nga mga problema sa operasyon, output, efficiency ug kaluwasan nalambigit, kita kinahanglan nga extend sa serbisyo sa kinabuhi sa vacuum pump, maningkamot sa coordinate balanse, pagsiguro efficiency ug kaluwasan.
Tubig singsing vacuum pump balbula flange porma koneksyon
Sumala sa porma sa hiniusa nga nawong, kini mahimong bahinon ngadto sa mosunod nga mga matang:
1, O-ring type: kini mao ang usa ka bag-o nga matang sa tubig singsing vacuum pump flange koneksyon porma, gisundan sa usa ka lain-laing mga rubber O-singsing kalamboan, kini mao ang mas kasaligan sa sealing epekto kay sa kinatibuk-ang flat washer.
2, trapezoidal groove type: water ring vacuum pump balbula flange koneksyon sa oval metal singsing ingon sa usa ka washer, gigamit alang sa pagtrabaho pressure 64 kg/cm2 balbula o taas nga temperatura balbula
3. Mortise ug groove type: Ang gasket nga adunay dako nga plastic deformation mahimong gamiton sa corrosive medium. Mas maayo ang sealing effect sa water ring vacuum pump
4. Concave ug convex type: ang working pressure sa water ring vacuum pump mas taas, ug ang hard washer mahimong magamit
5, lens type: ang washer mao ang porma sa lens, nga hinimo sa metal. Taas nga presyur nga mga balbula o taas nga temperatura nga mga balbula nga adunay presyur sa pagtrabaho nga 100kg / cm2
6, hapsay nga tipo: kay ang presyur dili taas nga balbula, pagproseso nga mas sayon
Tubig singsing vacuum pump flange koneksyon mao ang adunay daghan nga mga porma, apan sila adunay lain-laing mga okasyon, sa paggamit, kita kinahanglan nga mobayad sa pagtagad ngadto sa kaangayan sa okasyon, pagsiguro sa epekto sa koneksyon, dili hinungdan sa koneksyon kapakyasan, nga miresulta sa kadaot sa tubig singsing nga vacuum pump
Oras sa pag-post: Ene-07-2023
