A pompa di vacuum applicata à a sicurezza di u prucessu di semiconductor importa a pompa di vacuum d'anellu d'acquavalvulacunnessione di flange
In l'ultimi decennii, cù u rapidu sviluppu di a tecnulugia di semiconductor, l'equipaggiu di semiconductor hè ancu in generazione dopu generazione innuvazione è sviluppu. Oghje, a fabricazione è l'usu di l'equipaggiu semiconductor implica una varietà di elementi chimichi è parechji altri aspetti di l'alta tecnulugia, cù una forte cumpreta tecnicu. Micca solu cum'è tali, u sviluppu di a tecnulugia di l'equipaggiu di semiconductor integra gradualmente a modularizazione di a tecnulugia di u prucessu in l'equipaggiu, facendu assai automatizatu è assai intelligente, cambiendu gradualmente a situazione di separazione naturale di l'equipaggiu è u prucessu, è sempre camminendu in prima linea di u sviluppu. di l 'industria manifattura sistemu semiconductor, ghjucà un rolu impurtante particulari. Cù u sviluppu di l'equipaggiu di semiconductor, u so campu d'applicazione diventa sempre più largu. In altri campi di fabricazione di apparecchi elettronici, l'equipaggiu di semiconductor o l'equipaggiu evolutu da l'equipaggiu semiconductor sò ancu aduttati à varii gradi, diventendu un novu campu di l'appiecazione di l'equipaggiu di semiconductor. In particulare in i dispositivi elettronici micro / nano, sistemi optoelettromeccanici micro / nano è altri campi di fabricazione di prudutti di dimensioni estremamente chjuche è alta precisione, hà un significatu estremamente impurtante per u sviluppu di cumpunenti elettronichi.
U vacuum di prucessu di semiconductor hè principalmente utilizatu in l'evaporazione, sputtering, PECVD, incisione secca in vacuum, adsorption à vacuum, equipamentu di prova, aspiratore è altri prucessi di ligame, pruduzzione di semiconductor è prucessu di fabricazione facilmente pruduce gas materiale inflammable, splussivi è tossicu, ponenu una minaccia per A pruduzzione è a sicurità di u persunale, dunque, l'applicazione di a pompa di vacuum semiconductor deve esse attentu à parechje questioni di sicurezza:
1. Filtra è pulisce a pompa di vacuum è altri accessori, filtru è pipa in u calendariu per evità a sovrapressione:
In l'applicazione di a pompa di vacuum semiconductor, a cumpusizioni di u mediu estratto da a camera di reazione è a pompa di vacuum pò esse estremamente cumplessa. Per esempiu, SiH4 è O2 formanu SiO2 à u portu di a pompa, è l'idrolisi di TiCl4 formanu HCl; Assumindu chì a pompa meccanica di u sigillu d'oliu, sti sustanzii di gasu pò ancu esse invertitu cù l'oliu di pompa. Questi cambiamenti assumenu a furmazione di particeddi, materiale coagulable, o media erosivi, chì ponu obstruisce a pompa di vacuum o u sistema di tubazioni, affettanu a funzione di a pompa di vacuum, causanu l'aumentu di pressione o l'overpressure, è u risicu mintuatu in u sicondu puntu hè più grande. Per quessa, hè necessariu di pulizziari in u tempu, è stallà l'equipaggiu di filtrazione quandu hè necessariu.
2, dilution efficace di cuncentrazione di gas dannosa:
Semiconductor hè propensu à pruduce i gasi inflammabili è splusivi sopra citati, tossichi è dannosi. Dunque, in l'applicazione di a pompa di vacuum semiconductor, quandu si estrae questi media, hè necessariu di impediscenu di avè qualchì reazzione incontrollata in a pompa di vacuum o in u prucessu di scarico. Cum'è SiH4, PH3, AsH3, B2H6 è altri sustanzi, in cuntattu cù l'aria o l'ossigenu, pruvucarà a combustione o ancu; U gasu di l'idrogenu brusgia ancu quandu u rapportu di mistura in l'aria righjunghji una certa temperatura. Tuttu dipende di a quantità di a sustanza è a so relazione cù a pressione è a temperatura di l'ambiente. Dunque, quandu a pompa di vacuum semiconductor extracts these media, hà bisognu di utilizà un gasu inerte, cum'è nitrogenu, per dilute questi gasi à un intervallu sicuru prima di cumpressione.
3. Prestate attenzione à a cuncentrazione di l'ossigenu:
Se l'ossigenu in l'aria hè troppu altu, a combustione è u risicu accaderanu. Per quessa, in certi casi, l'attenzione deve esse pagatu à a cuncentrazione di l'ossigenu, usendu gas inerte per dilute, per prevene una cuncentrazione troppu alta; Assumindu chì a pompa meccanica di sigilli d'oliu pò ancu avè bisognu di utilizà qualchì oliu di pompa di vacuum inerte è compatibile cù l'ossigenu, è a sostituzione puntuale di i filtri d'oliu è i prudutti d'oliu.
4, impedisce a temperatura troppu alta:
Hè facile à capisce stu puntu. In l'applicazione di semiconductor in pompa di vacuum, ci sò più gasi dannosi. Sia pompa vacuum asciuttu hè sempre un oliu seal pump miccanicu, a temperatura in a camera pump hè troppu altu, è inflammable è splusivi è du gas sarà facirmenti periculosa à altu temperature.
L'aspettu 4 sopra sò i principali prublemi di sicurezza in l'applicazione di a pompa di vacuum semiconductor. In generale, i pompi meccanichi di sigilli d'oliu anu bisognu di attentu à più ditaglii di sicurezza chì i pompe di vacuum seccu, a disposizione hè più cumplessa. Quandu avemu aduprà pumps vacuum, avemu bisognu di attentu à e precautions di sicurità in u cunduttore, è fà un bonu travagliu in u manual operazione quandu usu dopu. A causa di i picculi prublemi nantu à u funziunamentu, l'output, l'efficienza è a sicurità sò ligati, duvemu allargà a vita di serviziu di a pompa di vacuum, strive to coordinate balance, assicurà efficienza è sicurità.
Forma di cunnessione di flange di valvola di pompa di vacu di l'anellu d'acqua
Sicondu a forma di a superficia di l'articulazione, pò esse divisu in i seguenti tipi:
1, tipu O-ring: questu hè un novu tipu di forma di cunnessione di flange di pompa di vacuum à l'anellu d'acqua, seguita da una varietà di sviluppu di O-ring di gomma, hè più affidabile in l'effettu di sigillatura cà a rondella piatta generale.
2, tipu di groove trapezoidale: anellu d'acqua valvola di pompa di vacuum cunnessu flange cun anellu di metallu ovale cum'è lavatrice, utilizatu per a pressione di travagliu 64 kg / cm2 valve o valvola d'alta temperatura
3. Mortise è groove tipu: A gasket cù grande deformazione plastica pò esse usata in u mediu corrosive. L'effettu di sigillatura di a pompa di vacuum anellu d'acqua hè megliu
4. Tipu cuncavu è cunvessu: a pressione di travagliu di a pompa di vacuum anellu d'acqua hè più altu, è a lavatrice dura pò esse usata.
5, tipu di lenti: a rondella hè a forma di a lente, fatta di metallu. Valvule d'alta pressione o valvole d'alta temperatura cù pressione di travagliu di 100kg/cm2
6, tippu liscia: per a prissioni ùn hè altu valve, trasfurmazioni più còmuda
Water ring vacuum pump flange connection hè ci sò parechje forme, ma anu diverse occasioni, in usu, duvemu attente à l'idoneità di l'occasione, assicurà l'effettu di a cunnessione, ùn causanu micca fallimentu di cunnessione, risultatu in danni à l'acqua. pompe à vacuum à anneau
Tempu di posta: 07-Jan-2023
