Vakuové čerpadlo aplikované na bezpečnost polovodičového procesu vodní kruhové vakuové čerpadloventilpřírubový spoj
V posledních desetiletích, s rychlým rozvojem polovodičové technologie, dochází také k inovacím a vývoji polovodičových zařízení. V dnešní době výroba a použití polovodičových zařízení zahrnuje celou řadu chemických prvků a mnoho dalších aspektů špičkových technologií se silným technickým komplexem. Nejen jako takové, vývoj technologie polovodičových zařízení postupně integruje modularizaci procesní technologie do zařízení, čímž se stává vysoce automatizovaným a vysoce inteligentním, postupně mění situaci přirozeného oddělení zařízení a procesu a vždy kráčí v popředí vývoje. v průmyslu výroby polovodičových systémů, který hraje zvláštní důležitou roli. S dalším vývojem polovodičových zařízení se oblast jejich použití stále rozšiřuje. V jiných oblastech výroby elektronických zařízení jsou polovodičová zařízení nebo zařízení vyvinutá z polovodičových zařízení také v různé míře přijata a stávají se novou oblastí aplikací polovodičových zařízení. Zejména v mikro/nano elektronických zařízeních, mikro/nano optoelektromechanických systémech a dalších výrobcích v oblasti extrémně malých rozměrů a vysoké přesnosti má mimořádně důležitý význam pro vývoj elektronických součástek.
Polovodičové procesní vakuum se používá hlavně při odpařování, naprašování, PECVD, vakuovém suchém leptání, vakuové adsorpci, testovacích zařízeních, vakuovém čištění a dalších procesech lepení, výroba polovodičů a výrobní proces snadno produkují hořlavý, výbušný a toxický plyn, který bude představovat hrozbu pro bezpečnost výroby a personálu, proto je třeba při použití polovodičové vakuové pumpy věnovat pozornost několika bezpečnostním záležitostem:
1. Filtrujte a vyčistěte vakuovou pumpu a další příslušenství, filtr a potrubí podle plánu, abyste se vyhnuli přetlaku:
Při použití polovodičové vývěvy může být složení média extrahovaného přes reakční komoru a vývěvu extrémně složité. Například SiH4 a O2 tvoří Si02 na portu čerpadla a hydrolýzou TiCl4 vznikne HCl; Za předpokladu, že mechanické čerpadlo typu olejové ucpávky, mohou být tyto plynné látky také obráceny s olejem čerpadla. Tyto změny předpokládají tvorbu částic, koagulovatelného materiálu nebo erozivních médií, které mohou ucpat vývěvu nebo potrubní systém, ovlivnit funkci vývěvy, způsobit zvýšení tlaku nebo přetlak a riziko uvedené v druhém bodě je větší. Proto je nutné čistit včas a v případě potřeby nastavit filtrační zařízení.
2, efektivní ředění koncentrace škodlivého plynu:
Polovodič je náchylný produkovat výše uvedené hořlavé a výbušné, toxické a škodlivé plyny. Při aplikaci polovodičové vývěvy je proto při odsávání těchto médií nutné zabránit tomu, aby ve vývěvě nebo ve výfukovém procesu měly nějaké nekontrolovatelné reakce. Jako SiH4, PH3, AsH3, B2H6 a další látky ve styku se vzduchem nebo kyslíkem způsobí hoření nebo dokonce; Plynný vodík také hoří, když poměr směsi ve vzduchu dosáhne určité teploty. Vše závisí na množství látky a jejím vztahu k tlaku a teplotě prostředí. Proto, když polovodičová vakuová pumpa extrahuje tato média, potřebuje použít inertní plyn, jako je dusík, k naředění těchto plynů na bezpečný rozsah před kompresí.
3. Věnujte pozornost koncentraci kyslíku:
Pokud je kyslík ve vzduchu příliš vysoký, dojde ke spalování a riziku. Proto je v některých případech třeba věnovat pozornost koncentraci kyslíku, k ředění použít inertní plyn, aby se zabránilo příliš vysoké koncentraci; Za předpokladu, že mechanické čerpadlo s olejovým těsněním může také potřebovat použít nějaký inertní a s kyslíkem kompatibilní olej pro vakuové čerpadlo a včasnou výměnu olejových filtrů a ropných produktů.
4, zabraňte příliš vysoké teplotě:
Tento bod je snadné pochopit. Při použití polovodiče ve vývěvě je více škodlivých plynů. Ať už je suchá vývěva stále mechanickou vývěvou s olejovým těsněním, teplota v komoře vývěvy je příliš vysoká a hořlavé a výbušné plyny mohou být při vysoké teplotě snadno nebezpečné.
Výše uvedené 4 aspekty jsou hlavními bezpečnostními záležitostmi při použití polovodičových vývěv. Obecně platí, že mechanická čerpadla s olejovým těsněním musí věnovat pozornost více bezpečnostním detailům než suchá vakuová čerpadla, likvidace je složitější. Když používáme vakuové pumpy, musíme věnovat pozornost bezpečnostním opatřením ve vodiči a při pozdějším použití odvést dobrou práci v návodu k obsluze. Vzhledem k malým problémům s provozem, výkonem, účinností a bezpečností, bychom měli prodloužit životnost vakuového čerpadla, snažit se o koordinaci rovnováhy, zajištění účinnosti a bezpečnosti.
Forma připojení příruby ventilu vodního kroužku vakuového čerpadla
Podle tvaru kloubní plochy je lze rozdělit na následující typy:
1, typ O-kroužku: jedná se o nový typ formy připojení příruby vakuového čerpadla s vodním kroužkem, po kterém následuje vývoj různých pryžových O-kroužků, je spolehlivější v těsnícím účinku než obecná plochá podložka
2, typ s lichoběžníkovou drážkou: vodní kroužek vakuové čerpadlo přírubové připojení ventilu s oválným kovovým kroužkem jako podložka, používá se pro pracovní tlak 64 kg/cm2 ventil nebo vysokoteplotní ventil
3. Typ drážky a drážky: Těsnění s velkou plastickou deformací lze použít v korozivním médiu. Těsnící účinek vodního kroužkového vakuového čerpadla je lepší
4. Konkávní a konvexní typ: pracovní tlak vodního kroužkového vakuového čerpadla je vyšší a lze použít tvrdou podložku
5, typ čočky: podložka je ve tvaru čočky, vyrobena z kovu. Vysokotlaké ventily nebo vysokoteplotní ventily s pracovním tlakem 100 kg/cm2
6, hladký typ: pro tlak není vysoký ventil, zpracování pohodlnější
Přírubové připojení vodního kroužku vakuového čerpadla je mnoho forem, ale mají různé příležitosti, při použití bychom měli věnovat pozornost vhodnosti příležitosti, zajistit účinek připojení, nezpůsobit selhání připojení, což má za následek poškození vody prstencové vakuové čerpadlo
Čas odeslání: leden-07-2023
