Pwmp gwactod wedi'i gymhwyso i broses lled-ddargludyddion materion diogelwch pwmp gwactod cylch dŵrfalfcysylltiad fflans
Dros y degawdau diwethaf, gyda datblygiad cyflym technoleg lled-ddargludyddion, mae offer lled-ddargludyddion hefyd yn arloesi a datblygu cenhedlaeth ar ôl cenhedlaeth. Y dyddiau hyn, mae gweithgynhyrchu a defnyddio offer lled-ddargludyddion yn cynnwys amrywiaeth o elfennau cemegol a llawer o agweddau eraill ar dechnoleg uchel, gyda chynhwysedd technegol cryf. Nid yn unig fel y cyfryw, mae datblygiad technoleg offer lled-ddargludyddion yn integreiddio modiwleiddio technoleg y broses yn raddol i'r offer, gan ei wneud yn awtomataidd iawn ac yn ddeallus iawn, gan newid yn raddol y sefyllfa o wahanu offer a phroses yn naturiol, a bob amser yn cerdded ar flaen y gad yn y datblygiad. diwydiant gweithgynhyrchu system lled-ddargludyddion, yn chwarae rhan bwysig arbennig. Gyda datblygiad pellach o offer lled-ddargludyddion, ei faes cais yn dod yn fwy a mwy eang. Mewn meysydd gweithgynhyrchu dyfeisiau electronig eraill, mae offer lled-ddargludyddion neu offer sy'n esblygu o offer lled-ddargludyddion hefyd yn cael eu mabwysiadu i raddau amrywiol, gan ddod yn faes newydd o gymhwyso offer lled-ddargludyddion. Yn enwedig yn y dyfeisiau electronig micro / nano, systemau optoelectroneg micro / nano a maes gweithgynhyrchu cynhyrchion eraill o faint bach iawn a manwl gywirdeb uchel, mae ganddo arwyddocâd hynod bwysig ar gyfer datblygu cydrannau electronig.
Defnyddir gwactod proses lled-ddargludyddion yn bennaf mewn anweddiad, sputtering, PECVD, ysgythriad sych gwactod, arsugniad gwactod, offer prawf, glanhau gwactod a phrosesau bondio eraill, proses gynhyrchu a gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion yn hawdd cynhyrchu nwy deunydd fflamadwy, ffrwydrol a gwenwynig, yn fygythiad i cynhyrchu a diogelwch staff, felly, mae angen i gymhwyso pwmp gwactod lled-ddargludyddion roi sylw i sawl mater diogelwch:
1. Hidlo a glanhau pwmp gwactod ac ategolion eraill, hidlydd a phibell yn unol â'r amserlen er mwyn osgoi gorbwysedd:
Wrth gymhwyso pwmp gwactod lled-ddargludyddion, gall cyfansoddiad y cyfrwng a dynnir trwy'r siambr adwaith a'r pwmp gwactod fod yn gymhleth iawn. Er enghraifft, mae SiH4 ac O2 yn ffurfio SiO2 yn y porthladd pwmp, a bydd hydrolysis TiCl4 yn ffurfio HCl; Gan dybio bod y pwmp mecanyddol math sêl olew, efallai y bydd y sylweddau nwy hyn hefyd yn cael eu gwrthdroi gyda'r olew pwmp. Mae'r newidiadau hyn yn rhagdybio bod gronynnau, deunydd ceuladwy, neu gyfryngau erydol yn ffurfio, a all rwystro'r pwmp gwactod neu'r system bibellau, effeithio ar swyddogaeth y pwmp gwactod, achosi cynnydd pwysau neu orbwysedd, ac mae'r risg a grybwyllir yn yr ail bwynt yn fwy. Felly, mae angen glanhau mewn pryd, a sefydlu offer hidlo pan fo angen.
2, gwanhau crynodiad nwy niweidiol yn effeithiol:
Mae lled-ddargludydd yn dueddol o gynhyrchu'r nwyon fflamadwy a ffrwydrol, gwenwynig a niweidiol a grybwyllir uchod. Felly, wrth gymhwyso pwmp gwactod lled-ddargludyddion, wrth echdynnu'r cyfryngau hyn, mae angen eu hatal rhag cael rhai adweithiau na ellir eu rheoli yn y pwmp gwactod neu yn y broses wacáu. O'r fath fel SiH4, PH3, AsH3, B2H6 a sylweddau eraill, mewn cysylltiad ag aer neu ocsigen, bydd yn achosi hylosgi neu hyd yn oed; Mae nwy hydrogen hefyd yn llosgi pan fydd y gymhareb gymysgedd yn yr aer yn cyrraedd tymheredd penodol. Mae'r cyfan yn dibynnu ar faint o sylwedd a'i berthynas â phwysau a thymheredd yr amgylchedd. Felly, pan fydd y pwmp gwactod lled-ddargludyddion yn echdynnu'r cyfryngau hyn, mae angen iddo ddefnyddio nwy anadweithiol, fel nitrogen, i wanhau'r nwyon hyn i ystod ddiogel cyn cywasgu.
3. Talu sylw at y crynodiad o ocsigen:
Os yw ocsigen yn yr aer yn rhy uchel, bydd hylosgiad a risg yn digwydd. Felly, mewn rhai achosion, dylid rhoi sylw i'r crynodiad o ocsigen, gan ddefnyddio nwy anadweithiol i wanhau, i atal crynodiad rhy uchel; Gan dybio y gallai fod angen i'r pwmp mecanyddol sêl olew hefyd ddefnyddio rhywfaint o olew pwmp gwactod anadweithiol ac ocsigen, ac ailosod hidlwyr olew a chynhyrchion olew yn amserol.
4, atal y tymheredd yn rhy uchel:
Mae'n hawdd deall y pwynt hwn. Wrth gymhwyso lled-ddargludyddion mewn pwmp gwactod, mae nwyon mwy niweidiol. P'un a yw pwmp gwactod sych yn dal i fod yn bwmp mecanyddol sêl olew, mae'r tymheredd yn y siambr pwmp yn rhy uchel, a bydd nwy fflamadwy a ffrwydrol a du yn hawdd yn beryglus ar dymheredd uchel.
Y 4 agwedd uchod yw'r prif faterion diogelwch wrth gymhwyso pwmp gwactod lled-ddargludyddion. Yn gyffredinol, mae angen i bympiau mecanyddol sêl olew roi sylw i fwy o fanylion diogelwch na phympiau gwactod sych, mae gwaredu yn fwy cymhleth. Pan fyddwn yn defnyddio pympiau gwactod, mae angen inni roi sylw i'r rhagofalon diogelwch yn y dargludydd, a gwneud gwaith da yn y llawlyfr gweithredu wrth ddefnyddio'n ddiweddarach. Oherwydd y problemau bach ar weithrediad, allbwn, effeithlonrwydd a diogelwch yn gysylltiedig, dylem ymestyn oes gwasanaeth y pwmp gwactod, ymdrechu i gydlynu cydbwysedd, sicrhau effeithlonrwydd a diogelwch.
Dwr ffoniwch pwmp gwactod falf fflans ffurflen cysylltiad
Yn ôl siâp yr arwyneb ar y cyd, gellir ei rannu i'r mathau canlynol:
1, math O-ring: mae hwn yn fath newydd o fodrwy ddŵr ffurflen cysylltiad fflans pwmp gwactod, yn cael ei ddilyn gan amrywiaeth o ddatblygiad rwber O-ring, mae'n fwy dibynadwy mewn effaith selio na'r golchwr fflat cyffredinol
2, math o rigol trapezoidal: cysylltiad fflans falf pwmp gwactod cylch dŵr gyda chylch metel hirgrwn fel golchwr, a ddefnyddir ar gyfer pwysau gweithio 64 kg/cm2 falf neu falf tymheredd uchel
3. Math mortais a rhigol: Gellir defnyddio'r gasged ag anffurfiad plastig mawr yn y cyfrwng cyrydol. Mae effaith selio pwmp gwactod cylch dŵr yn well
4. Math ceugrwm ac amgrwm: mae pwysau gweithio pwmp gwactod cylch dŵr yn uwch, a gellir defnyddio'r golchwr caled
5, math o lens: y golchwr yw siâp y lens, wedi'i wneud o fetel. Falfiau pwysedd uchel neu falfiau tymheredd uchel gyda phwysedd gweithio o 100kg / cm2
6, math llyfn: ar gyfer y pwysau nid yw falf uchel, prosesu yn fwy cyfleus
Cysylltiad fflans pwmp gwactod cylch dŵr yw mae yna lawer o ffurfiau, ond mae ganddynt wahanol achlysuron, yn cael eu defnyddio, dylem dalu sylw i addasrwydd yr achlysur, sicrhau effaith cysylltiad, peidiwch ag achosi methiant cysylltiad, gan arwain at niwed i'r dŵr pwmp gwactod cylch
Amser post: Ionawr-07-2023
