Vakuumpumpe påført til halvlederprocessikkerhed betyder vandringvakuumpumpeventilflangeforbindelse
I løbet af de seneste årtier, med den hurtige udvikling af halvlederteknologi, er halvlederudstyr også i generation efter generation af innovation og udvikling. I dag involverer fremstilling og brug af halvlederudstyr en række kemiske elementer og mange andre aspekter af højteknologi, med en stærk teknisk omfattende. Ikke kun som sådan integrerer udviklingen af halvlederudstyrsteknologi gradvist procesteknologiens modularisering i udstyret, hvilket gør det meget automatiseret og yderst intelligent, gradvist ændrer situationen med naturlig adskillelse af udstyr og proces og går altid i spidsen for udviklingen. af halvledersystemer fremstillingsindustrien, spiller en særlig vigtig rolle. Med den videre udvikling af halvlederudstyr bliver dets anvendelsesområde mere og mere bredt. Inden for andre områder inden for fremstilling af elektroniske enheder bliver halvlederudstyr eller udstyr udviklet fra halvlederudstyr også vedtaget i varierende grad, hvilket bliver et nyt område for anvendelse af halvlederudstyr. Især inden for mikro/nano elektroniske enheder, mikro/nano optoelektromekaniske systemer og andre produktfremstillingsområder af ekstremt lille størrelse og høj præcision, har det ekstremt vigtig betydning for udviklingen af elektroniske komponenter.
Halvlederprocesvakuum bruges hovedsageligt til fordampning, sputtering, PECVD, vakuumtørætsning, vakuumadsorption, testudstyr, støvsugning og andre bindingsprocesser, halvlederproduktion og -fremstillingsprocesser, der let producerer brændbar, eksplosiv og giftig materialegas, vil udgøre en trussel mod produktion og personalesikkerhed, derfor skal anvendelsen af halvledervakuumpumpe være opmærksom på flere sikkerhedsforhold:
1. Filtrer og rengør vakuumpumpe og andet tilbehør, filter og rør efter planen for at undgå overtryk:
Ved anvendelsen af en halvledervakuumpumpe kan sammensætningen af mediet ekstraheret gennem reaktionskammeret og vakuumpumpen være ekstremt kompleks. For eksempel danner SiH4 og O2 SiO2 ved pumpeporten, og hydrolysen af TiCl4 vil danne HCl; Forudsat at olietætningstypen mekanisk pumpe, kan disse gasstoffer også vendes med pumpeolien. Disse ændringer forudsætter dannelse af partikler, koagulerbart materiale eller erosive medier, som kan tilstoppe vakuumpumpen eller rørsystemet, påvirke vakuumpumpens funktion, forårsage trykstigning eller overtryk, og risikoen nævnt i andet punkt er større. Derfor er det nødvendigt at rense i tide, og opsætte filtreringsudstyr, når det er nødvendigt.
2, effektiv fortynding af skadelig gaskoncentration:
Halvleder er tilbøjelig til at producere ovennævnte brændbare og eksplosive, giftige og skadelige gasser. Derfor er det ved anvendelsen af en halvledervakuumpumpe, når disse medier ekstraheres, nødvendigt at forhindre dem i at have nogle ukontrollerbare reaktioner i vakuumpumpen eller i udstødningsprocessen. Såsom SiH4, PH3, AsH3, B2H6 og andre stoffer, i kontakt med luft eller oxygen, vil forårsage forbrænding eller endda; Brintgas brænder også, når blandingsforholdet i luften når en vis temperatur. Det hele afhænger af mængden af stoffet og dets forhold til miljøets tryk og temperatur. Derfor, når halvledervakuumpumpen udvinder disse medier, skal den bruge en inert gas, såsom nitrogen, for at fortynde disse gasser til et sikkert område før kompression.
3. Vær opmærksom på koncentrationen af ilt:
Hvis ilt i luften er for højt, vil der opstå forbrænding og risiko. Derfor bør man i nogle tilfælde være opmærksom på koncentrationen af oxygen, ved at bruge inert gas til at fortynde, for at forhindre for høj koncentration; Forudsat at den mekaniske pumpe med olietætning muligvis også skal bruge noget inert og oxygenkompatibel vakuumpumpeolie og rettidig udskiftning af oliefiltre og olieprodukter.
4, undgå at temperaturen er for høj:
Det er let at forstå dette punkt. Ved anvendelse af halvleder i vakuumpumpe er der flere skadelige gasser. Uanset om tørvakuumpumpe stadig er en mekanisk pumpe med olietætning, er temperaturen i pumpekammeret for høj, og brandfarlig og eksplosiv og du gas vil let være farlig ved høj temperatur.
Ovenstående 4 aspekter er de vigtigste sikkerhedsspørgsmål ved anvendelsen af halvledervakuumpumper. Generelt skal mekaniske pumper med olietætning være opmærksomme på flere sikkerhedsdetaljer end tørvakuumpumper, bortskaffelse er mere kompleks. Når vi bruger vakuumpumper, skal vi være opmærksomme på sikkerhedsforanstaltningerne i lederen, og gøre et godt stykke arbejde i betjeningsvejledningen ved senere brug. På grund af de små problemer med drift, output, effektivitet og sikkerhed er forbundet, bør vi forlænge vakuumpumpens levetid, stræbe efter at koordinere balance, sikre effektivitet og sikkerhed.
Vandring vakuumpumpe ventil flange tilslutningsform
I henhold til formen på fugefladen kan den opdeles i følgende typer:
1, O-ring type: dette er en ny type vandring vakuumpumpe flangeforbindelsesform, efterfulgt af en række forskellige gummi O-ring udvikling, den er mere pålidelig i tætningseffekt end den generelle flad skive
2, trapezformet rilletype: vandring vakuumpumpeventilflangeforbindelse med oval metalring som skive, bruges til arbejdstryk 64 kg/cm2 ventil eller højtemperaturventil
3. Indskærings- og rilletype: Pakningen med stor plastisk deformation kan bruges i det korrosive medium. Tætningseffekten af vandringsvakuumpumpe er bedre
4. Konkav og konveks type: arbejdstrykket for vandringsvakuumpumpen er højere, og den hårde vaskemaskine kan bruges
5, linsetype: skiven er formen på linsen, lavet af metal. Højtryksventiler eller højtemperaturventiler med arbejdstryk på 100 kg/cm2
6, glat type: for trykket er ikke høj ventil, forarbejdning mere bekvem
Vandring vakuumpumpeflangeforbindelse er der mange former, men de har forskellige lejligheder, i brug, bør vi være opmærksomme på lejlighedens egnethed, sikre effekten af forbindelsen, ikke forårsage forbindelsesfejl, hvilket resulterer i skade på vandet ring vakuumpumpe
Indlægstid: Jan-07-2023
