Vakuumpumpe, die auf die Sicherheit von Halbleiterprozessen angewendet wird, ist eine Wasserring-VakuumpumpeVentilFlanschverbindung
In den letzten Jahrzehnten, mit der rasanten Entwicklung der Halbleitertechnologie, wurden auch Halbleitergeräte von Generation zu Generation innoviert und weiterentwickelt. Heutzutage umfasst die Herstellung und Verwendung von Halbleitergeräten eine Vielzahl chemischer Elemente und viele andere Aspekte der Hochtechnologie mit einem starken technischen Gesamtumfang. Nicht nur als solche integriert die Entwicklung der Halbleiterausrüstungstechnologie schrittweise die Modularisierung der Prozesstechnologie in die Ausrüstung, wodurch sie hochgradig automatisiert und hochintelligent wird, wodurch sich die Situation der natürlichen Trennung von Ausrüstung und Prozess schrittweise ändert und die Entwicklung immer an vorderster Front steht der Halbleitersystemfertigungsindustrie eine besondere Rolle. Mit der Weiterentwicklung der Halbleiterausrüstung wird ihr Anwendungsbereich immer breiter. Auch in anderen Bereichen der Herstellung elektronischer Geräte werden Halbleitergeräte oder aus Halbleitergeräten entwickelte Geräte in unterschiedlichem Maße übernommen und bilden so ein neues Anwendungsgebiet für Halbleitergeräte. Insbesondere im Bereich der Mikro-/Nano-Elektronikgeräte, Mikro-/Nano-optoelektromechanischen Systeme und anderen Produkten mit extrem kleiner Größe und hoher Präzision ist dies von äußerst wichtiger Bedeutung für die Entwicklung elektronischer Komponenten.
Halbleiterprozessvakuum wird hauptsächlich beim Verdampfen, Sputtern, PECVD, Vakuum-Trockenätzen, Vakuumadsorption, Testgeräten, Vakuumreinigung und anderen Bindungsprozessen verwendet. Halbleiterproduktions- und Herstellungsprozesse erzeugen leicht brennbare, explosive und giftige Materialgase, die eine Gefahr darstellen Produktion und Personalsicherheit. Daher müssen bei der Anwendung von Halbleiter-Vakuumpumpen mehrere Sicherheitsaspekte beachtet werden:
1. Vakuumpumpe und anderes Zubehör, Filter und Rohre termingerecht filtern und reinigen, um Überdruck zu vermeiden:
Bei der Anwendung einer Halbleiter-Vakuumpumpe kann die Zusammensetzung des durch die Reaktionskammer und die Vakuumpumpe geförderten Mediums äußerst komplex sein. Beispielsweise bilden SiH4 und O2 am Pumpenanschluss SiO2, und durch die Hydrolyse von TiCl4 entsteht HCl; Unter der Annahme, dass die mechanische Pumpe vom Öldichtungstyp ist, können diese gasförmigen Substanzen auch mit dem Pumpenöl umgekehrt werden. Diese Veränderungen setzen die Bildung von Partikeln, koagulierbarem Material oder erosiven Medien voraus, die die Vakuumpumpe oder das Rohrleitungssystem verstopfen, die Funktion der Vakuumpumpe beeinträchtigen, einen Druckanstieg oder Überdruck verursachen können und das im zweiten Punkt genannte Risiko größer ist. Daher ist es notwendig, rechtzeitig zu reinigen und bei Bedarf Filtergeräte einzurichten.
2, wirksame Verdünnung der Schadgaskonzentration:
Halbleiter neigen dazu, die oben genannten brennbaren und explosiven, giftigen und schädlichen Gase zu erzeugen. Daher ist es bei der Anwendung von Halbleiter-Vakuumpumpen beim Absaugen dieser Medien notwendig, zu verhindern, dass es zu unkontrollierbaren Reaktionen in der Vakuumpumpe oder im Absaugprozess kommt. Wie SiH4, PH3, AsH3, B2H6 und andere Substanzen verursachen bei Kontakt mit Luft oder Sauerstoff eine Verbrennung oder sogar Verbrennungen. Wasserstoffgas verbrennt auch, wenn das Mischungsverhältnis in der Luft eine bestimmte Temperatur erreicht. Es hängt alles von der Menge des Stoffes und seinem Verhältnis zum Druck und zur Temperatur der Umgebung ab. Daher muss die Halbleiter-Vakuumpumpe beim Absaugen dieser Medien ein Inertgas wie Stickstoff verwenden, um diese Gase vor der Komprimierung auf einen sicheren Bereich zu verdünnen.
3. Achten Sie auf die Sauerstoffkonzentration:
Wenn der Sauerstoffgehalt der Luft zu hoch ist, kommt es zu Verbrennungen und Gefahren. Daher sollte in einigen Fällen auf die Sauerstoffkonzentration geachtet werden, indem zum Verdünnen Inertgas verwendet wird, um eine zu hohe Konzentration zu verhindern. Unter der Annahme, dass die mechanische Öldichtungspumpe möglicherweise auch etwas inertes und sauerstoffverträgliches Vakuumpumpenöl verwenden muss und Ölfilter und Ölprodukte rechtzeitig ausgetauscht werden müssen.
4, verhindern Sie, dass die Temperatur zu hoch ist:
Es ist leicht, diesen Punkt zu verstehen. Bei der Anwendung von Halbleitern in Vakuumpumpen entstehen mehr schädliche Gase. Unabhängig davon, ob es sich bei der Trockenvakuumpumpe immer noch um eine mechanische Öldichtungspumpe handelt, ist die Temperatur in der Pumpenkammer zu hoch und brennbares und explosives Gas sowie Du-Gas werden bei hohen Temperaturen leicht gefährlich.
Die oben genannten 4 Aspekte sind die wichtigsten Sicherheitsaspekte bei der Anwendung von Halbleiter-Vakuumpumpen. Im Allgemeinen müssen bei mechanischen Pumpen mit Öldichtung mehr Sicherheitsdetails beachtet werden als bei Trockenvakuumpumpen, die Entsorgung ist komplexer. Wenn wir Vakuumpumpen verwenden, müssen wir auf die Sicherheitsvorkehrungen im Leiter achten und bei der späteren Verwendung die Bedienungsanleitung sorgfältig lesen. Da kleine Probleme im Betrieb, in der Leistung, in der Effizienz und in der Sicherheit miteinander verbunden sind, sollten wir die Lebensdauer der Vakuumpumpe verlängern, uns bemühen, das Gleichgewicht zu koordinieren und Effizienz und Sicherheit zu gewährleisten.
Flanschverbindungsform für Wasserring-Vakuumpumpenventil
Je nach Form der Gelenkfläche kann man sie in folgende Typen einteilen:
1, O-Ring-Typ: Dies ist eine neue Art von Flanschverbindungsform für Wasserring-Vakuumpumpen, gefolgt von einer Vielzahl von Gummi-O-Ring-Entwicklungen, die eine zuverlässigere Dichtwirkung als die allgemeine flache Unterlegscheibe haben
2, Trapeznuttyp: Wasserring-Vakuumpumpenventil-Flanschverbindung mit ovalem Metallring als Unterlegscheibe, verwendet für Arbeitsdruck 64 kg/cm2-Ventil oder Hochtemperaturventil
3. Einsteck- und Nuttyp: Die Dichtung mit großer plastischer Verformung kann in korrosiven Medien verwendet werden. Die Dichtwirkung der Wasserring-Vakuumpumpe ist besser
4. Konkaver und konvexer Typ: Der Arbeitsdruck der Wasserring-Vakuumpumpe ist höher und die harte Unterlegscheibe kann verwendet werden
5, Linsentyp: Die Unterlegscheibe hat die Form der Linse und besteht aus Metall. Hochdruckventile oder Hochtemperaturventile mit einem Arbeitsdruck von 100 kg/cm2
6, glatter Typ: Da der Druck nicht zu hoch ist, ist das Ventil bequemer zu verarbeiten
Es gibt viele Formen von Wasserring-Vakuumpumpen-Flanschverbindungen, aber sie haben unterschiedliche Anlässe. Bei der Verwendung sollten wir auf die Eignung des Anlasses achten, die Wirkung der Verbindung sicherstellen und keinen Verbindungsfehler verursachen, der zu Schäden am Wasser führt Ringvakuumpumpe
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 07.01.2023
