Αντλία κενού που εφαρμόζεται σε θέματα ασφάλειας διεργασιών ημιαγωγών Αντλία κενού δακτυλίου νερούβαλβίδασύνδεση φλάντζας
Τις τελευταίες δεκαετίες, με την ταχεία ανάπτυξη της τεχνολογίας ημιαγωγών, ο εξοπλισμός ημιαγωγών βρίσκεται επίσης σε καινοτομία και ανάπτυξη από γενιά σε γενιά. Σήμερα, η κατασκευή και η χρήση εξοπλισμού ημιαγωγών περιλαμβάνει μια ποικιλία χημικών στοιχείων και πολλές άλλες πτυχές της υψηλής τεχνολογίας, με ισχυρή τεχνική περιεκτικότητα. Όχι μόνο ως τέτοια, η ανάπτυξη της τεχνολογίας εξοπλισμού ημιαγωγών ενσωματώνει σταδιακά τη σπονδυλοποίηση της τεχνολογίας διαδικασίας στον εξοπλισμό, καθιστώντας τον εξαιρετικά αυτοματοποιημένο και εξαιρετικά έξυπνο, αλλάζοντας σταδιακά την κατάσταση του φυσικού διαχωρισμού του εξοπλισμού και της διαδικασίας, και βαδίζοντας πάντα στην πρώτη γραμμή της ανάπτυξης της βιομηχανίας κατασκευής συστημάτων ημιαγωγών, διαδραματίζοντας έναν ιδιαίτερο σημαντικό ρόλο. Με την περαιτέρω ανάπτυξη του εξοπλισμού ημιαγωγών, το πεδίο εφαρμογής του γίνεται όλο και πιο ευρύ. Σε άλλους τομείς κατασκευής ηλεκτρονικών συσκευών, ο εξοπλισμός ημιαγωγών ή ο εξοπλισμός που προέρχεται από εξοπλισμό ημιαγωγών υιοθετούνται επίσης σε ποικίλους βαθμούς, καθιστώντας ένα νέο πεδίο εφαρμογής εξοπλισμού ημιαγωγών. Ειδικά στον τομέα παραγωγής μικρο/νανο ηλεκτρονικών συσκευών, μικρο/νανοοπτοηλεκτρομηχανικών συστημάτων και άλλων προϊόντων εξαιρετικά μικρού μεγέθους και υψηλής ακρίβειας, έχει εξαιρετικά σημαντική σημασία για την ανάπτυξη ηλεκτρονικών εξαρτημάτων.
Το κενό διεργασίας ημιαγωγών χρησιμοποιείται κυρίως σε εξάτμιση, εκτόξευση, PECVD, ξηρή χάραξη κενού, προσρόφηση κενού, εξοπλισμό δοκιμής, καθαρισμό κενού και άλλες διαδικασίες συγκόλλησης, η διαδικασία παραγωγής και κατασκευής ημιαγωγών παράγει εύκολα εύφλεκτο, εκρηκτικό και τοξικό αέριο υλικού την ασφάλεια της παραγωγής και του προσωπικού, επομένως, η εφαρμογή της αντλίας κενού ημιαγωγών πρέπει να δώσει προσοχή σε διάφορα θέματα ασφάλειας:
1. Φιλτράρετε και καθαρίστε την αντλία κενού και άλλα εξαρτήματα, το φίλτρο και τον σωλήνα σύμφωνα με το χρονοδιάγραμμα για να αποφύγετε την υπερπίεση:
Στην εφαρμογή της αντλίας κενού ημιαγωγών, η σύνθεση του μέσου που εκχυλίζεται μέσω του θαλάμου αντίδρασης και της αντλίας κενού μπορεί να είναι εξαιρετικά περίπλοκη. Για παράδειγμα, τα SiH4 και O2 σχηματίζουν SiO2 στη θύρα της αντλίας και η υδρόλυση του TiCl4 θα σχηματίσει HCl. Υποθέτοντας ότι η μηχανική αντλία τύπου τσιμούχας λαδιού, αυτές οι ουσίες αερίου μπορούν επίσης να αντιστραφούν με το λάδι της αντλίας. Αυτές οι αλλαγές προϋποθέτουν το σχηματισμό σωματιδίων, πηκτικών υλικών ή διαβρωτικών μέσων, που μπορεί να φράξουν την αντλία κενού ή το σύστημα σωληνώσεων, να επηρεάσουν τη λειτουργία της αντλίας κενού, να προκαλέσουν αύξηση ή υπερπίεση και ο κίνδυνος που αναφέρεται στο δεύτερο σημείο είναι μεγαλύτερος. Επομένως, είναι απαραίτητο να καθαρίζετε εγκαίρως και να ρυθμίζετε τον εξοπλισμό φιλτραρίσματος όταν χρειάζεται.
2, αποτελεσματική αραίωση της συγκέντρωσης επιβλαβών αερίων:
Ο ημιαγωγός είναι επιρρεπής να παράγει τα προαναφερθέντα εύφλεκτα και εκρηκτικά, τοξικά και επιβλαβή αέρια. Ως εκ τούτου, κατά την εφαρμογή της αντλίας κενού ημιαγωγών, κατά την εξαγωγή αυτών των μέσων, είναι απαραίτητο να αποτραπεί από το να έχουν κάποιες ανεξέλεγκτες αντιδράσεις στην αντλία κενού ή στη διαδικασία της εξάτμισης. Όπως SiH4, PH3, AsH3, B2H6 και άλλες ουσίες, σε επαφή με τον αέρα ή το οξυγόνο, θα προκαλέσουν καύση ή ακόμα και Το αέριο υδρογόνο καίγεται επίσης όταν η αναλογία μείγματος στον αέρα φτάσει σε μια ορισμένη θερμοκρασία. Όλα εξαρτώνται από την ποσότητα της ουσίας και τη σχέση της με την πίεση και τη θερμοκρασία του περιβάλλοντος. Επομένως, όταν η αντλία κενού ημιαγωγών εξάγει αυτά τα μέσα, χρειάζεται να χρησιμοποιήσει ένα αδρανές αέριο, όπως το άζωτο, για να αραιώσει αυτά τα αέρια σε ασφαλές εύρος πριν από τη συμπίεση.
3. Προσοχή στη συγκέντρωση του οξυγόνου:
Εάν το οξυγόνο στον αέρα είναι πολύ υψηλό, θα προκληθεί καύση και κίνδυνος. Ως εκ τούτου, σε ορισμένες περιπτώσεις, θα πρέπει να δοθεί προσοχή στη συγκέντρωση του οξυγόνου, χρησιμοποιώντας αδρανές αέριο για αραίωση, για να αποφευχθεί η υπερβολική συγκέντρωση. Υποθέτοντας ότι η μηχανική αντλία τσιμούχας λαδιού μπορεί επίσης να χρειαστεί να χρησιμοποιήσει κάποιο αδρανές και συμβατό με οξυγόνο λάδι αντλίας κενού και έγκαιρη αντικατάσταση των φίλτρων λαδιού και των προϊόντων λαδιού.
4, αποτρέψτε την πολύ υψηλή θερμοκρασία:
Είναι εύκολο να καταλάβει κανείς αυτό το σημείο. Στην εφαρμογή ημιαγωγών σε αντλία κενού, υπάρχουν περισσότερα επιβλαβή αέρια. Είτε η αντλία ξηρού κενού εξακολουθεί να είναι μια μηχανική αντλία λαδιού, η θερμοκρασία στο θάλαμο της αντλίας είναι πολύ υψηλή και η εύφλεκτη και εκρηκτική ουσία και το αέριο θα είναι εύκολα επικίνδυνα σε υψηλή θερμοκρασία.
Οι παραπάνω 4 πτυχές είναι τα κύρια θέματα ασφάλειας στην εφαρμογή της αντλίας κενού ημιαγωγών. Γενικά, οι μηχανικές αντλίες στεγανοποίησης λαδιού πρέπει να δώσουν προσοχή σε περισσότερες λεπτομέρειες ασφαλείας από τις αντλίες ξηρού κενού, η απόρριψη είναι πιο περίπλοκη. Όταν χρησιμοποιούμε αντλίες κενού, πρέπει να προσέχουμε τις προφυλάξεις ασφαλείας στον αγωγό και να κάνουμε καλή δουλειά στο εγχειρίδιο λειτουργίας κατά τη χρήση αργότερα. Λόγω των μικρών προβλημάτων λειτουργίας, απόδοσης, απόδοσης και ασφάλειας συνδέονται, θα πρέπει να παρατείνουμε τη διάρκεια ζωής της αντλίας κενού, να προσπαθούμε να συντονίζουμε την ισορροπία, να διασφαλίζουμε την απόδοση και την ασφάλεια.
Έντυπο σύνδεσης φλάντζας βαλβίδας αντλίας κενού δακτυλίου νερού
Ανάλογα με το σχήμα της επιφάνειας της άρθρωσης, μπορεί να χωριστεί στους ακόλουθους τύπους:
1, τύπος δακτυλίου O: αυτός είναι ένας νέος τύπος σύνδεσης φλάντζας αντλίας κενού δακτυλίου νερού, ακολουθείται από μια ποικιλία ανάπτυξης δακτυλίου από καουτσούκ, είναι πιο αξιόπιστο στο αποτέλεσμα στεγανοποίησης από το γενικό επίπεδο πλυντήριο
2, τύπος τραπεζοειδούς αυλάκωσης: σύνδεση φλάντζας βαλβίδας αντλίας κενού δακτυλίου νερού με οβάλ μεταλλικό δακτύλιο ως ροδέλα, που χρησιμοποιείται για βαλβίδα πίεσης εργασίας 64 kg/cm2 ή βαλβίδα υψηλής θερμοκρασίας
3. Τύπος τεμαχίου και αυλάκωσης: Το παρέμβυσμα με μεγάλη πλαστική παραμόρφωση μπορεί να χρησιμοποιηθεί στο διαβρωτικό μέσο. Το αποτέλεσμα στεγανοποίησης της αντλίας κενού δακτυλίου νερού είναι καλύτερο
4. Κοίλος και κυρτός τύπος: η πίεση λειτουργίας της αντλίας κενού δακτυλίου νερού είναι υψηλότερη και η σκληρή ροδέλα μπορεί να χρησιμοποιηθεί
5, τύπος φακού: η ροδέλα είναι το σχήμα του φακού, κατασκευασμένο από μέταλλο. Βαλβίδες υψηλής πίεσης ή βαλβίδες υψηλής θερμοκρασίας με πίεση λειτουργίας 100kg/cm2
6, ομαλός τύπος: για την πίεση δεν είναι υψηλή βαλβίδα, η επεξεργασία πιο βολική
Η σύνδεση φλάντζας αντλίας κενού δακτυλίου νερού είναι υπάρχουν πολλές μορφές, αλλά έχουν διαφορετικές περιπτώσεις, κατά τη χρήση, θα πρέπει να δώσουμε προσοχή στην καταλληλότητα της περίστασης, να εξασφαλίσουμε το αποτέλεσμα της σύνδεσης, να μην προκαλέσετε αστοχία σύνδεσης, με αποτέλεσμα ζημιά στο νερό κυκλική αντλία κενού
Ώρα δημοσίευσης: Ιαν-07-2023
