Vakuo pumpilo aplikita al duonkonduktaĵo procezo sekureco aferoj akvo ringo vakuo pumpilovalvoflanĝa konekto
Dum la pasintaj jardekoj, kun la rapida disvolviĝo de duonkonduktaĵo teknologio, duonkonduktaĵo ekipaĵo estas ankaŭ en generacio post generacio novigo kaj disvolviĝo. Nuntempe, la fabrikado kaj uzo de duonkonduktaĵo-ekipaĵo implikas diversajn kemiajn elementojn kaj multajn aliajn aspektojn de alta teknologio, kun forta teknika ampleksa. Ne nur kiel tia, la disvolviĝo de duonkonduktaĵo-ekipaĵo teknologio iom post iom integras la procezan teknologion modularigon en la ekipaĵon, farante ĝin tre aŭtomatigita kaj tre inteligenta, iom post iom ŝanĝante la situacion de natura disiĝo de ekipaĵo kaj procezo, kaj ĉiam marŝante en la avangardo de la disvolviĝo. de duonkondukta sistemo fabrikado industrio, ludanta specialan gravan rolon. Kun la plua evoluo de duonkonduktaĵo ekipaĵo, ĝia aplika kampo fariĝas pli kaj pli larĝa. En aliaj elektronikaj aparatoj produktadkampoj, duonkonduktaĵo-ekipaĵo aŭ ekipaĵo evoluinta el duonkonduktaĵo-ekipaĵo ankaŭ estas adoptitaj al diversaj gradoj, iĝante nova kampo de duonkonduktaĵekipaĵo apliko. Precipe en la mikro/nano elektronikaj aparatoj, mikro/nano optoelektromekanikaj sistemoj kaj aliaj produktoj fabrikanta kampo de ekstreme malgranda grandeco kaj alta precizeco, ĝi havas ege gravan signifon por la disvolviĝo de elektronikaj komponantoj.
Semikonduktaĵo-proceza vakuo estas ĉefe uzata en vaporiĝo, sputtering, PECVD, vakua seka akvaforto, vakua adsorbado, testa ekipaĵo, malplena purigado kaj aliaj ligaj procezoj, duonkonduktaĵo-produktado kaj fabrikado facile produkti bruleman, eksplodeman kaj toksan materialan gason, estos minaco por Sekureco de produktado kaj dungitaro, tial, la apliko de duonkondukta vakuopumpilo devas atenti plurajn sekurecajn aferojn:
1. Filtru kaj purigu vakuopumpilon kaj aliajn akcesoraĵojn, filtrilon kaj tubon laŭhoraro por eviti tropremon:
En la apliko de duonkondukta vakuopumpilo, la konsisto de la medio ĉerpita tra la reakcia ĉambro kaj vakuopumpilo povas esti ekstreme kompleksa. Ekzemple, SiH4 kaj O2 formas SiO2 ĉe la pumpilhaveno, kaj la hidrolizo de TiCl4 formos HCl; Supozante ke la oleo sigelo tipo mekanika pumpilo, ĉi tiuj gasaj substancoj ankaŭ povas esti inversigita kun la pumpilo oleo. Ĉi tiuj ŝanĝoj supozas la formadon de partikloj, koagulebla materialo aŭ erozia amaskomunikilaro, kiuj povas ŝtopi la vakuopumpilon aŭ tubon sistemon, influas la vakupumpilfunkcion, kaŭzi premon pliiĝon aŭ tropremon, kaj la risko menciita en la dua punkto estas pli granda. Tial necesas purigi ĝustatempe, kaj instali filtrajn ekipaĵojn kiam necese.
2, efika diluo de malutila gasa koncentriĝo:
Semikonduktaĵo emas produkti la supre menciitajn brulemajn kaj eksplodemajn, toksajn kaj malutilajn gasojn. Sekve, en la apliko de duonkondukta vakuo pumpilo, ĉerpante ĉi tiujn amaskomunikiloj, estas necese malhelpi ilin havi iujn nekontroleblajn reagojn en la vakuo pumpilo aŭ en la ellasiga procezo. Kiel SiH4, PH3, AsH3, B2H6 kaj aliaj substancoj, en kontakto kun aero aŭ oksigeno, kaŭzos bruladon aŭ eĉ; Hidrogena gaso ankaŭ brulas kiam la miksaĵproporcio en la aero atingas certan temperaturon. Ĉio dependas de la kvanto de la substanco kaj ĝia rilato al la premo kaj temperaturo de la medio. Tial, kiam la duonkondukta vakupumpilo ĉerpas ĉi tiujn amaskomunikilarojn, ĝi bezonas uzi inertan gason, kiel nitrogeno, por dilui ĉi tiujn gasojn al sekura intervalo antaŭ kunpremado.
3. Atentu la koncentriĝon de oksigeno:
Se oksigeno en la aero estas tro alta, bruligado kaj risko okazos. Tial, en iuj kazoj, oni devas atenti la koncentriĝon de oksigeno, uzante inertan gason por dilui, por malhelpi tro altan koncentriĝon; Supozante, ke la oleo-sigelo mekanika pumpilo eble ankaŭ bezonos uzi iun inertan kaj oksigenan kongruan vakupumpila oleo, kaj ĝustatempa anstataŭigo de oleofiltriloj kaj oleaj produktoj.
4, malebligu la temperaturon tro altan:
Estas facile kompreni ĉi tiun punkton. En la apliko de duonkonduktaĵo en vakuopumpilo, estas pli malutilaj gasoj. Ĉu seka vakuo pumpilo estas ankoraŭ oleo sigelo mekanika pumpilo, la temperaturo en la pumpilo ĉambro estas tro alta, kaj brulema kaj eksploda kaj du gaso facile estos danĝera ĉe alta temperaturo.
La supraj 4 aspektoj estas la ĉefaj sekurecaj aferoj en la aplikado de duonkondukta vakupumpilo. Ĝenerale, olefokaj mekanikaj pumpiloj devas atenti pli da sekurecaj detaloj ol sekaj malplenaj pumpiloj, forigo estas pli kompleksa. Kiam ni uzas vakuopumpilojn, ni devas atenti la sekurecaj antaŭzorgoj en la konduktoro, kaj fari bonan laboron en la operacia manlibro kiam vi uzas poste. Pro la malgrandaj problemoj pri funkciado, eligo, efikeco kaj sekureco estas ligitaj, ni devas plilongigi la servon de la vakuopumpilo, strebi kunordigi ekvilibron, certigi efikecon kaj sekurecon.
Akva ringo malplena pumpilo valvo flanĝo konekto formo
Laŭ la formo de la komuna surfaco, ĝi povas esti dividita en la jenajn tipojn:
1, O-ringo-tipo: ĉi tio estas nova speco de akvoringo vakupumpila flanĝo-konekto formo, estas sekvata de diversaj kaŭĉukaj O-ringo-disvolviĝo, ĝi estas pli fidinda en sigela efiko ol la ĝenerala plata lavilo.
2, trapezoidal sulko tipo: akvoringo malplena pumpilo valvo flanĝo konekto kun ovala metala ringo kiel lavilo, uzata por labori premo 64 kg/cm2 valvo aŭ alta temperaturo valvo
3. Mortise kaj sulko-tipo: La gasketo kun granda plasta deformado povas esti uzata en la koroda medio. La sigela efiko de akvoringa vakupumpilo estas pli bona
4. Konkava kaj konveksa tipo: la laborpremo de akvoringa vakupumpilo estas pli alta, kaj la malmola lavilo povas esti uzata
5, lenso-tipo: la lavilo estas la formo de la lenso, farita el metalo. Altpremaj valvoj aŭ alttemperaturaj valvoj kun laborpremo de 100kg/cm2
6, glata tipo: ĉar la premo ne estas alta valvo, prilaborado pli oportuna
Akvoringo vakupumpila flanĝo-konekto estas multaj formoj, sed ili havas malsamajn okazojn, en uzo, ni devas atenti la taŭgecon de la okazo, certigi la efikon de konekto, ne kaŭzas konekton fiaskon, rezultigante damaĝon al la akvo. ringa vakupumpilo
Afiŝtempo: Jan-07-2023
