Bomba de vacío aplicada a cuestiones de seguridad de procesos de semiconductores bomba de vacío de anillo de aguaválvulaconexión de brida
En las últimas décadas, con el rápido desarrollo de la tecnología de semiconductores, los equipos de semiconductores también están en innovación y desarrollo generación tras generación. Hoy en día, la fabricación y uso de equipos semiconductores involucra una variedad de elementos químicos y muchos otros aspectos de alta tecnología, con un fuerte componente técnico. No solo como tal, el desarrollo de la tecnología de equipos semiconductores integra gradualmente la modularización de la tecnología de proceso en el equipo, haciéndolo altamente automatizado y altamente inteligente, cambiando gradualmente la situación de separación natural de equipo y proceso, y siempre caminando a la vanguardia del desarrollo. de la industria de fabricación de sistemas semiconductores, desempeñando un papel especialmente importante. Con el mayor desarrollo de los equipos semiconductores, su campo de aplicación se vuelve cada vez más amplio. En otros campos de fabricación de dispositivos electrónicos, los equipos semiconductores o los equipos evolucionados a partir de equipos semiconductores también se adoptan en diversos grados, convirtiéndose en un nuevo campo de aplicación de equipos semiconductores. Especialmente en el campo de la fabricación de dispositivos micro/nano electrónicos, sistemas optoelectromecánicos micro/nano y otros productos de tamaño extremadamente pequeño y alta precisión, tiene una importancia extremadamente importante para el desarrollo de componentes electrónicos.
El vacío de proceso de semiconductores se utiliza principalmente en evaporación, pulverización catódica, PECVD, grabado en seco al vacío, adsorción al vacío, equipos de prueba, limpieza al vacío y otros procesos de unión, la producción de semiconductores y el proceso de fabricación producen fácilmente gases materiales inflamables, explosivos y tóxicos, lo que representará una amenaza para Por lo tanto, la producción y la seguridad del personal, la aplicación de la bomba de vacío semiconductora debe prestar atención a varios aspectos de seguridad:
1. Filtre y limpie la bomba de vacío y otros accesorios, filtro y tubería según lo programado para evitar la sobrepresión:
En la aplicación de una bomba de vacío semiconductora, la composición del medio extraído a través de la cámara de reacción y la bomba de vacío puede ser extremadamente compleja. Por ejemplo, SiH4 y O2 forman SiO2 en el puerto de la bomba y la hidrólisis de TiCl4 formará HCl; Suponiendo que la bomba mecánica sea del tipo sello de aceite, estas sustancias gaseosas también pueden revertirse con el aceite de la bomba. Estos cambios suponen la formación de partículas, material coagulable o medios erosivos, que pueden obstruir la bomba de vacío o el sistema de tuberías, afectar el funcionamiento de la bomba de vacío, provocar aumento de presión o sobrepresión, siendo mayor el riesgo mencionado en el segundo punto. Por tanto, es necesario realizar una limpieza a tiempo e instalar equipos de filtrado cuando sea necesario.
2, dilución efectiva de la concentración de gases nocivos:
Los semiconductores son propensos a producir los gases inflamables y explosivos, tóxicos y nocivos mencionados anteriormente. Por lo tanto, en la aplicación de bombas de vacío semiconductoras, al extraer estos medios, es necesario evitar que tengan reacciones incontrolables en la bomba de vacío o en el proceso de escape. Como SiH4, PH3, AsH3, B2H6 y otras sustancias, en contacto con el aire o el oxígeno, provocarán combustión o incluso; El gas hidrógeno también se quema cuando la proporción de la mezcla en el aire alcanza una determinada temperatura. Todo depende de la cantidad de sustancia y de su relación con la presión y temperatura del ambiente. Por lo tanto, cuando la bomba de vacío de semiconductores extrae estos medios, necesita utilizar un gas inerte, como nitrógeno, para diluir estos gases hasta un rango seguro antes de la compresión.
3. Presta atención a la concentración de oxígeno:
Si el oxígeno en el aire es demasiado alto, se producirá combustión y riesgo. Por lo tanto, en algunos casos, se debe prestar atención a la concentración de oxígeno, utilizando gas inerte para diluir, para evitar una concentración demasiado alta; Suponiendo que la bomba mecánica del sello de aceite también necesite usar un poco de aceite de bomba de vacío inerte y compatible con oxígeno, y el reemplazo oportuno de los filtros de aceite y los productos derivados del petróleo.
4, evita que la temperatura sea demasiado alta:
Es fácil entender este punto. En la aplicación de semiconductores en bombas de vacío, existen más gases nocivos. Ya sea que la bomba de vacío seco siga siendo una bomba mecánica con sello de aceite, la temperatura en la cámara de la bomba es demasiado alta y los gases inflamables, explosivos y dudosos serán fácilmente peligrosos a altas temperaturas.
Los 4 aspectos anteriores son las principales cuestiones de seguridad en la aplicación de bombas de vacío semiconductoras. En general, las bombas mecánicas con sello de aceite deben prestar atención a más detalles de seguridad que las bombas de vacío secas y su eliminación es más compleja. Cuando usamos bombas de vacío, debemos prestar atención a las precauciones de seguridad en el conductor y hacer un buen trabajo en el manual de operación cuando las usemos más adelante. Debido a los pequeños problemas relacionados con el funcionamiento, la producción, la eficiencia y la seguridad, debemos extender la vida útil de la bomba de vacío, esforzarnos por coordinar el equilibrio y garantizar la eficiencia y la seguridad.
Forma de conexión de brida de válvula de bomba de vacío de anillo de agua
Según la forma de la superficie articular, se puede dividir en los siguientes tipos:
1, tipo de junta tórica: este es un nuevo tipo de forma de conexión de brida de bomba de vacío con anillo de agua, seguido por una variedad de desarrollo de juntas tóricas de caucho, tiene un efecto de sellado más confiable que la arandela plana general
2, tipo de ranura trapezoidal: conexión de brida de válvula de bomba de vacío con anillo de agua con anillo metálico ovalado como arandela, utilizada para válvula de presión de trabajo de 64 kg/cm2 o válvula de alta temperatura
3. Tipo de mortaja y ranura: la junta con gran deformación plástica se puede utilizar en medios corrosivos. El efecto de sellado de la bomba de vacío de anillo de agua es mejor
4. Tipo cóncavo y convexo: la presión de trabajo de la bomba de vacío de anillo de agua es mayor y se puede usar la arandela dura
5, tipo de lente: la arandela tiene la forma de la lente, hecha de metal. Válvulas de alta presión o válvulas de alta temperatura con presión de trabajo de 100kg/cm2
6, tipo suave: porque la presión no es alta, el procesamiento es más conveniente
La conexión de brida de la bomba de vacío con anillo de agua tiene muchas formas, pero tienen diferentes ocasiones, en uso, debemos prestar atención a la idoneidad de la ocasión, garantizar el efecto de la conexión, no causar fallas en la conexión, lo que resulta en daños al agua. bomba de vacío de anillo
Hora de publicación: 07-ene-2023
