Pooljuhtprotsessidele rakendatav vaakumpump on veerõnga vaakumpumpventiiläärikühendus
Viimastel aastakümnetel, pooljuhttehnoloogia kiire arenguga, on pooljuhtseadmed ka põlvkondade järel innovatsioonis ja arenduses. Tänapäeval hõlmab pooljuhtseadmete tootmine ja kasutamine mitmesuguseid keemilisi elemente ja paljusid muid kõrgtehnoloogia aspekte, millel on tugev tehniline terviklikkus. Mitte ainult sellisena integreerib pooljuhtseadmete tehnoloogia arendamine protsessitehnoloogia modulariseerimise järk-järgult seadmetesse, muutes selle kõrgelt automatiseeritud ja väga intelligentseks, muutes järk-järgult seadmete ja protsessi loomuliku eraldamise olukorda ning liikudes alati arenduse esirinnas. pooljuhtsüsteemide töötlevas tööstuses, mängides erilist olulist rolli. Pooljuhtseadmete edasiarendamisel muutub selle rakendusvaldkond üha laiemaks. Muudes elektroonikaseadmete tootmise valdkondades võetakse pooljuhtseadmeid või pooljuhtseadmetest arenenud seadmeid samuti erineval määral kasutusele, muutudes uueks pooljuhtseadmete rakendusvaldkonnaks. Eelkõige mikro-/nano-elektroonikaseadmete, mikro-/nano-optoelektromehaaniliste süsteemide ja muude üliväikeste ja suure täpsusega toodete tootmise valdkonnas on sellel elektroonikakomponentide arendamise jaoks äärmiselt oluline tähtsus.
Pooljuhtprotsessi vaakumit kasutatakse peamiselt aurustamises, pihustamises, PECVD-s, vaakumkuivsöövitamises, vaakum-adsorptsioonis, katseseadmetes, vaakumpuhastuses ja muudes sidumisprotsessides, pooljuhtide tootmis- ja tootmisprotsessis tekib kergesti süttiv, plahvatusohtlik ja mürgine gaas, mis kujutab endast ohtu tootmise ja personali ohutuse osas, seetõttu tuleb pooljuhtvaakumpumba kasutamisel pöörata tähelepanu mitmele ohutusküsimusele:
1. Ülerõhu vältimiseks filtreerige ja puhastage vaakumpump ja muud tarvikud, filter ja torud ajakava järgi:
Pooljuhtvaakumpumba kasutamisel võib reaktsioonikambri ja vaakumpumba kaudu ekstraheeritud keskkonna koostis olla äärmiselt keeruline. Näiteks SiH4 ja O2 moodustavad pumba pordis SiO2 ja TiCl4 hüdrolüüsil HCl; Eeldusel, et õlitihendi tüüpi mehaaniline pump, võib neid gaasiaineid ka pumbaõliga ümber pöörata. Need muutused eeldavad osakeste, koaguleeruva materjali või erosioonikeskkonna tekkimist, mis võivad ummistada vaakumpumba või torustiku, mõjutada vaakumpumba tööd, põhjustada rõhu tõusu või ülerõhku ning teises punktis mainitud oht on suurem. Seetõttu on vaja õigeaegselt puhastada ja vajadusel seadistada filtreerimisseadmed.
2, kahjuliku gaasi kontsentratsiooni tõhus lahjendamine:
Pooljuht kaldub tootma ülalmainitud tule- ja plahvatusohtlikke, mürgiseid ja kahjulikke gaase. Seetõttu tuleb pooljuhtvaakumpumba kasutamisel nende ainete ekstraheerimisel vältida vaakumpumbas või väljalaskeprotsessis kontrollimatuid reaktsioone. Näiteks SiH4, PH3, AsH3, B2H6 ja muud ained, mis kokkupuutel õhu või hapnikuga põhjustavad põlemist või isegi; Vesinikgaas põleb ka siis, kui segu suhe õhus saavutab teatud temperatuuri. Kõik oleneb aine kogusest ja selle seosest keskkonna rõhu ja temperatuuriga. Seetõttu, kui pooljuhtvaakumpump neid keskkondi ekstraheerib, peab see kasutama inertgaasi, näiteks lämmastikku, et lahjendada need gaasid enne kokkusurumist ohutusse vahemikku.
3. Pöörake tähelepanu hapniku kontsentratsioonile:
Kui õhus on liiga palju hapnikku, tekib põlemine ja oht. Seetõttu tuleks mõnel juhul pöörata tähelepanu hapniku kontsentratsioonile, kasutades lahjendamiseks inertgaasi, et vältida liiga kõrget kontsentratsiooni; Eeldusel, et õlitihendi mehaaniline pump võib vajada ka mõnda inertset ja hapnikuga ühilduvat vaakumpumbaõli ning õlifiltrite ja õlitoodete õigeaegset väljavahetamist.
4, vältige liiga kõrget temperatuuri:
Sellest punktist on lihtne aru saada. Pooljuhtide kasutamisel vaakumpumbas on kahjulikke gaase rohkem. Olenemata sellest, kas kuivvaakumpump on endiselt õlitihendiga mehaaniline pump, on pumbakambri temperatuur liiga kõrge ning tule- ja plahvatusohtlikud ning dugaasid on kõrgel temperatuuril kergesti ohtlikud.
Ülaltoodud 4 aspekti on peamised ohutusküsimused pooljuhtvaakumpumba kasutamisel. Üldiselt peavad õlitihendiga mehaanilised pumbad pöörama tähelepanu rohkematele ohutusdetailidele kui kuivvaakumpumbad, utiliseerimine on keerulisem. Vaakumpumpade kasutamisel peame tähelepanu pöörama juhis olevatele ettevaatusabinõudele ja hilisemal kasutamisel täitma kasutusjuhendis head tööd. Kuna talitluse, väljundi, tõhususe ja ohutusega seotud väikesed probleemid on omavahel seotud, peaksime pikendama vaakumpumba kasutusiga, püüdlema tasakaalu koordineerimise poole, tagama tõhususe ja ohutuse.
Veerõnga vaakumpumba ventiili ääriku ühendusvorm
Liigesepinna kuju järgi võib selle jagada järgmisteks tüüpideks:
1, O-rõnga tüüp: see on uut tüüpi veerõnga vaakumpumba ääriku ühendusvorm, millele järgneb mitmesugune kummist O-rõnga väljatöötamine, see on tihendusefekti poolest usaldusväärsem kui tavaline lameseib
2, trapetsikujulise soone tüüp: veerõnga vaakumpumba ventiili äärikühendus ovaalse metallrõngaga seibina, kasutatakse töörõhu 64 kg/cm2 ventiili või kõrge temperatuuriga ventiili jaoks
3. Surve ja soone tüüp: suure plastilise deformatsiooniga tihendit saab kasutada söövitavas keskkonnas. Veerõnga vaakumpumba tihendusefekt on parem
4. Nõgus ja kumer tüüp: veerõnga vaakumpumba töörõhk on kõrgem ja saab kasutada kõva pesumasinat
5, läätse tüüp: seib on läätse kujuga, valmistatud metallist. Kõrgsurveventiilid või kõrgtemperatuurilised ventiilid töörõhuga 100kg/cm2
6, sile tüüp: rõhk ei ole kõrge ventiiliga, töötlemine on mugavam
Veerõnga vaakumpumba äärikühendust on palju vorme, kuid neil on erinevad juhtumid, kasutamisel peaksime pöörama tähelepanu sündmuse sobivusele, tagama ühenduse mõju, mitte põhjustama ühenduse riket, mille tulemuseks on vee kahjustamine. rõngas vaakumpump
Postitusaeg: jaanuar 07-2023
