پمپ خلاء اعمال شده برای مسائل ایمنی فرآیند نیمه هادی حلقه آب اتصال فلنج شیر پمپ خلاء

پمپ خلاء برای مسائل ایمنی فرآیند نیمه هادی پمپ خلاء حلقه آب اعمال می شودشیر فلکهاتصال فلنجی

در طول دهه های گذشته، با توسعه سریع فناوری نیمه هادی، تجهیزات نیمه هادی نیز نسل به نسل در نوآوری و توسعه هستند. امروزه، ساخت و استفاده از تجهیزات نیمه هادی شامل انواع عناصر شیمیایی و بسیاری از جنبه های دیگر فناوری پیشرفته، با جامع فنی قوی است. نه تنها به این ترتیب، توسعه فناوری تجهیزات نیمه هادی به تدریج مدولارسازی فناوری فرآیند را در تجهیزات ادغام می کند، آن را بسیار خودکار و بسیار هوشمند می کند، به تدریج وضعیت جداسازی طبیعی تجهیزات و فرآیند را تغییر می دهد و همیشه در خط مقدم توسعه قرار می گیرد. صنعت تولید سیستم های نیمه هادی، نقش مهمی را ایفا می کند. با توسعه بیشتر تجهیزات نیمه هادی، حوزه کاربرد آن روز به روز گسترده تر می شود. در سایر زمینه های تولید دستگاه های الکترونیکی، تجهیزات نیمه هادی یا تجهیزاتی که از تجهیزات نیمه هادی تکامل یافته اند نیز به درجات مختلفی مورد استفاده قرار می گیرند و به حوزه جدیدی از کاربرد تجهیزات نیمه هادی تبدیل می شوند. به خصوص در دستگاه های الکترونیکی میکرو/نانو، سیستم های اپتوالکترومکانیکی میکرو/نانو و سایر زمینه های تولید محصولات با اندازه بسیار کوچک و دقت بالا، اهمیت بسیار مهمی برای توسعه قطعات الکترونیکی دارد.

خلاء فرآیند نیمه هادی عمدتا در تبخیر، کندوپاش، PECVD، اچ خشک خلاء، جذب خلاء، تجهیزات تست، تمیز کردن خلاء و سایر فرآیندهای پیوند استفاده می شود، فرآیند تولید و ساخت نیمه هادی به راحتی تولید گاز مواد قابل اشتعال، انفجاری و سمی می کند، تهدیدی برای ایمنی تولید و کارکنان، بنابراین، در استفاده از پمپ خلاء نیمه هادی باید به چندین موضوع ایمنی توجه شود:

1. فیلتر و تمیز کردن پمپ خلاء و سایر لوازم جانبی، فیلتر و لوله برای جلوگیری از فشار بیش از حد:

در کاربرد پمپ خلاء نیمه هادی، ترکیب محیط استخراج شده از طریق محفظه واکنش و پمپ خلاء ممکن است بسیار پیچیده باشد. به عنوان مثال، SiH4 و O2 SiO2 را در درگاه پمپ تشکیل می دهند و هیدرولیز TiCl4 HCl را تشکیل می دهد. با فرض اینکه پمپ مکانیکی نوع مهر و موم روغن، این مواد گازی نیز ممکن است با روغن پمپ معکوس شوند. این تغییرات، تشکیل ذرات، مواد قابل انعقاد یا محیط های فرسایشی را فرض می کند که ممکن است پمپ خلاء یا سیستم لوله کشی را مسدود کند، عملکرد پمپ خلاء را تحت تأثیر قرار دهد، باعث افزایش فشار یا فشار بیش از حد شود و خطر ذکر شده در نکته دوم بیشتر است. بنابراین لازم است به موقع تمیز شود و در صورت لزوم تجهیزات فیلترینگ را راه اندازی کنید.

2، رقت موثر غلظت گاز مضر:

نیمه هادی ها مستعد تولید گازهای قابل اشتعال و انفجاری، سمی و مضر هستند. بنابراین در کاربرد پمپ خلاء نیمه هادی هنگام استخراج این رسانه ها باید از بروز برخی واکنش های غیرقابل کنترل در پمپ خلاء یا در فرآیند اگزوز جلوگیری کرد. مانند SiH4، PH3، AsH3، B2H6 و سایر مواد در تماس با هوا یا اکسیژن باعث احتراق یا حتی می شود. وقتی نسبت مخلوط موجود در هوا به دمای معینی برسد، گاز هیدروژن نیز می سوزد. همه چیز به مقدار ماده و ارتباط آن با فشار و دمای محیط بستگی دارد. بنابراین، هنگامی که پمپ خلاء نیمه هادی این رسانه ها را استخراج می کند، نیاز به استفاده از یک گاز بی اثر، مانند نیتروژن، دارد تا این گازها را تا محدوده ایمن قبل از فشرده سازی رقیق کند.

3. به غلظت اکسیژن توجه کنید:

اگر اکسیژن هوا خیلی زیاد باشد، احتراق و خطر رخ می دهد. بنابراین، در برخی موارد، برای جلوگیری از غلظت بیش از حد، باید به غلظت اکسیژن، استفاده از گاز بی اثر برای رقیق شدن توجه شود. با فرض اینکه پمپ مکانیکی روغن بند ممکن است نیاز به استفاده از مقداری روغن پمپ خلاء سازگار و بی اثر و سازگار با اکسیژن و تعویض به موقع فیلترهای روغن و محصولات روغن داشته باشد.

4، از دمای بیش از حد بالا جلوگیری کنید:

درک این نکته آسان است. در کاربرد نیمه هادی در پمپ خلاء، گازهای مضر بیشتری وجود دارد. این که آیا پمپ خلاء خشک هنوز یک پمپ مکانیکی مهر و موم روغن است، دمای محفظه پمپ بسیار بالا است و قابل اشتعال و انفجار و گاز دوگانه به راحتی در دمای بالا خطرناک خواهد بود.

4 جنبه فوق موارد ایمنی اصلی در کاربرد پمپ خلاء نیمه هادی هستند. به طور کلی، پمپ های مکانیکی مهر و موم روغن باید به جزئیات ایمنی بیشتری نسبت به پمپ های خلاء خشک توجه کنند، دفع پیچیده تر است. هنگامی که از پمپ های خلاء استفاده می کنیم، باید به نکات ایمنی در هادی توجه کنیم و در هنگام استفاده بعداً در دفترچه راهنمای عملکرد خوب عمل کنیم. از آنجا که مشکلات کوچک در عملکرد، خروجی، راندمان و ایمنی به هم مرتبط هستند، ما باید عمر مفید پمپ خلاء را افزایش دهیم، برای هماهنگ کردن تعادل، اطمینان از کارایی و ایمنی تلاش کنیم.

شکل اتصال فلنج شیر پمپ خلاء حلقه آب

با توجه به شکل سطح اتصال می توان آن را به انواع زیر تقسیم کرد:

1، نوع حلقه O: این یک نوع جدید از شکل اتصال فلنج پمپ خلاء حلقه آب است، به دنبال توسعه حلقه O-لاستیک، آن را در اثر مهر و موم قابل اعتماد تر از واشر تخت عمومی است.

2، نوع شیار ذوزنقه ای: اتصال فلنج شیر پمپ خلاء حلقه آب با حلقه فلزی بیضی شکل به عنوان واشر، برای فشار کاری 64 کیلوگرم بر سانتی متر مربع دریچه یا شیر درجه حرارت بالا استفاده می شود.

3. نوع مورتیس و شیار: واشر با تغییر شکل پلاستیکی بزرگ را می توان در محیط خورنده استفاده کرد. اثر آب بندی پمپ خلاء حلقه آب بهتر است

4. نوع مقعر و محدب: فشار کاری پمپ خلاء حلقه آب بالاتر است و می توان از واشر سخت استفاده کرد.

5، نوع لنز: واشر به شکل لنز، ساخته شده از فلز است. شیرهای فشار قوی یا شیرهای دمای بالا با فشار کاری 100 کیلوگرم بر سانتی متر مربع

6، نوع صاف: برای فشار شیر بالا نیست، پردازش راحت تر است

اتصال فلنج پمپ خلاء حلقه آب اشکال زیادی دارد، اما آنها موارد مختلفی دارند، در استفاده، باید به مناسب بودن موقعیت توجه کنیم، از اثر اتصال اطمینان حاصل کنیم، باعث خرابی اتصال و در نتیجه آسیب به آب نشود. پمپ خلاء حلقه ای