Puolijohdeprosessiin sovellettu tyhjiöpumppu on vesirengastyhjiöpumppuventtiililaippaliitäntä
Viime vuosikymmeninä puolijohdeteknologian nopean kehityksen myötä puolijohdelaitteet ovat myös sukupolven toisensa jälkeen innovaatioita ja kehitystä. Nykyään puolijohdelaitteiden valmistukseen ja käyttöön liittyy erilaisia kemiallisia alkuaineita ja monia muita korkean teknologian näkökohtia, joilla on vahva tekninen kokonaisuus. Puolijohdeteknologian kehitys ei pelkästään sellaisenaan integroi prosessiteknologian modularisointia asteittain laitteisiin, mikä tekee siitä erittäin automatisoidun ja erittäin älykkään, muuttaa asteittain laitteiden ja prosessin luonnollisen erottamisen tilannetta ja kulkee aina kehityksen eturintamassa. puolijohdejärjestelmien valmistusteollisuudessa, jolla on erityinen tärkeä rooli. Puolijohdelaitteiden jatkokehityksen myötä sen sovellusalue laajenee koko ajan. Myös muilla elektroniikkalaitteiden valmistusaloilla puolijohdelaitteita tai puolijohdelaiteista kehitettyjä laitteita otetaan käyttöön vaihtelevassa määrin, ja niistä on tulossa uusi puolijohdelaitteiden käyttöalue. Erityisesti mikro/nanoelektroniikkalaitteissa, mikro/nano optoelektromekaanisissa järjestelmissä ja muissa äärimmäisen pienikokoisissa ja erittäin tarkoissa tuotteissa sillä on erittäin tärkeä merkitys elektronisten komponenttien kehitykselle.
Puolijohdeprosessin tyhjiötä käytetään pääasiassa haihduttamisessa, sputteroinnissa, PECVD:ssä, tyhjiökuivaetsauksessa, tyhjiöadsorptiossa, testauslaitteissa, tyhjiöpuhdistuksessa ja muissa sidosprosesseissa, puolijohteiden valmistus- ja valmistusprosessissa, joka tuottaa helposti syttyvää, räjähtävää ja myrkyllistä kaasua, aiheuttaa uhan tuotannon ja henkilökunnan turvallisuuden kannalta, joten puolijohdetyhjiöpumppua käytettäessä on kiinnitettävä huomiota useisiin turvallisuusasioihin:
1. Suodata ja puhdista tyhjiöpumppu ja muut lisävarusteet, suodatin ja putki aikataulussa ylipaineen välttämiseksi:
Puolijohdetyhjiöpumppua käytettäessä reaktiokammion ja tyhjiöpumpun kautta uutetun väliaineen koostumus voi olla erittäin monimutkainen. Esimerkiksi SiH4 ja O2 muodostavat SiO2:ta pumppuportissa, ja TiCl4:n hydrolyysi muodostaa HCl:n; Olettaen, että öljytiivistetyyppinen mekaaninen pumppu, nämä kaasuaineet voidaan myös kääntää pumppuöljyn kanssa. Nämä muutokset edellyttävät hiukkasten, koaguloituvan materiaalin tai erosiivisten väliaineiden muodostumista, jotka voivat tukkia tyhjiöpumpun tai putkiston, vaikuttaa tyhjiöpumpun toimintaan, aiheuttaa paineen nousua tai ylipainetta, ja toisessa kohdassa mainittu riski on suurempi. Siksi on tarpeen puhdistaa ajoissa ja asentaa suodatuslaitteet tarvittaessa.
2, haitallisen kaasupitoisuuden tehokas laimennus:
Puolijohde on altis tuottamaan edellä mainittuja syttyviä ja räjähtäviä, myrkyllisiä ja haitallisia kaasuja. Siksi puolijohdetyhjiöpumppua käytettäessä näitä väliaineita poistettaessa on välttämätöntä estää niitä joutumasta joihinkin hallitsemattomiin reaktioihin tyhjiöpumpussa tai poistoprosessissa. Kuten SiH4, PH3, AsH3, B2H6 ja muut aineet, jotka joutuvat kosketuksiin ilman tai hapen kanssa, aiheuttavat palamista tai jopa; Vetykaasu palaa myös, kun seossuhde ilmassa saavuttaa tietyn lämpötilan. Kaikki riippuu aineen määrästä ja sen suhteesta ympäristön paineeseen ja lämpötilaan. Siksi, kun puolijohdetyhjiöpumppu poistaa nämä väliaineet, sen on käytettävä inerttiä kaasua, kuten typpeä, näiden kaasujen laimentamiseksi turvalliselle alueelle ennen puristamista.
3. Kiinnitä huomiota happipitoisuuteen:
Jos ilmassa on liian paljon happea, syntyy palamista ja vaaraa. Siksi joissakin tapauksissa on kiinnitettävä huomiota hapen pitoisuuteen käyttämällä inerttiä kaasua laimentamiseen liian korkean pitoisuuden estämiseksi; Olettaen, että öljytiivisteen mekaanisessa pumpussa saattaa myös olla tarpeen käyttää inerttiä ja happiyhteensopivaa tyhjiöpumppuöljyä, ja öljynsuodattimet ja öljytuotteet on vaihdettava ajoissa.
4, estä liian korkea lämpötila:
Tämä kohta on helppo ymmärtää. Puolijohteita käytettäessä tyhjiöpumpussa on enemmän haitallisia kaasuja. Olipa kuivatyhjiöpumppu edelleen öljytiivisteinen mekaaninen pumppu, pumppukammion lämpötila on liian korkea ja syttyvät ja räjähtävät sekä kaasut ovat helposti vaarallisia korkeassa lämpötilassa.
Yllä olevat 4 näkökohtaa ovat tärkeimmät turvallisuusasiat puolijohdetyhjiöpumpun sovelluksessa. Yleensä öljytiivisteiden mekaanisten pumppujen on kiinnitettävä huomiota enemmän turvallisuusyksityiskohtiin kuin kuivatyhjiöpumput, hävittäminen on monimutkaisempaa. Kun käytämme tyhjiöpumppuja, meidän on kiinnitettävä huomiota johtimessa oleviin turvatoimiin ja tehtävä hyvää työtä käyttöohjeessa myöhemmin käytettäessä. Koska pienet toiminta-, teho-, teho- ja turvallisuusongelmat liittyvät toisiinsa, meidän tulisi pidentää tyhjiöpumpun käyttöikää, pyrkiä koordinoimaan tasapainoa, varmistamaan tehokkuus ja turvallisuus.
Vesirengas tyhjiöpumpun venttiilin laipan liitosmuoto
Liitospinnan muodon mukaan se voidaan jakaa seuraaviin tyyppeihin:
1, O-rengastyyppi: tämä on uudentyyppinen vesirenkaan tyhjiöpumpun laippaliitäntämuoto, jota seuraa erilainen kuminen O-rengas, se on luotettavampi tiivistysvaikutuksessa kuin yleinen litteä aluslevy
2, puolisuunnikkaan uratyyppi: vesirengas tyhjiöpumpun venttiilin laippaliitäntä soikealla metallirenkaalla aluslevynä, käytetään työpaineen 64 kg/cm2 venttiiliin tai korkean lämpötilan venttiiliin
3. Uurre- ja uratyyppi: Suuren plastisen muodonmuutoksen omaavaa tiivistettä voidaan käyttää syövyttävässä väliaineessa. Vesirengastyhjiöpumpun tiivistysvaikutus on parempi
4. Kovera ja kupera tyyppi: vesirenkaan tyhjiöpumpun työpaine on korkeampi ja kovaa pesuria voidaan käyttää
5, linssin tyyppi: aluslevy on linssin muotoinen, valmistettu metallista. Korkeapaineventtiilit tai korkean lämpötilan venttiilit, joiden käyttöpaine on 100 kg/cm2
6, sileä tyyppi: paine ei ole korkea venttiili, käsittely helpompaa
Vesirenkaan tyhjiöpumpun laippaliitäntää on monia muotoja, mutta niillä on erilaisia tilanteita, käytössä, meidän tulee kiinnittää huomiota tilaisuuden soveltuvuuteen, varmistaa liitoksen vaikutus, älä aiheuta liitäntähäiriötä, mikä voi vahingoittaa vettä rengas tyhjiöpumppu
Postitusaika: 07.01.2023
