Vacuum pump tapast op semiconductor proses feiligens saken wetter ring vacuum pumpklepflange ferbining
Yn 'e ôfrûne desennia, mei de rappe ûntwikkeling fan semiconductortechnology, is semiconductor-apparatuer ek yn generaasje nei generaasje ynnovaasje en ûntwikkeling. Tsjintwurdich omfettet de fabrikaazje en gebrûk fan semiconductor-apparatuer in ferskaat oan gemyske eleminten en in protte oare aspekten fan hege technology, mei in sterke technyske wiidweidich. Net allinnich as sadanich, de ûntwikkeling fan semiconductor apparatuer technology stadichoan yntegreart de proses technology modularization yn 'e apparatuer, wêrtroch't it tige automatisearre en tige yntelligint, stadichoan feroarjen de situaasje fan natuerlike skieding fan apparatuer en proses, en altyd rinne yn 'e foarop fan' e ûntwikkeling fan semiconductor systeem manufacturing yndustry, spylje in spesjale wichtige rol. Mei de fierdere ûntwikkeling fan semiconductor apparatuer, syn tapassing fjild wurdt mear en breder. Yn oare fjilden foar produksje fan elektroanyske apparaten wurde semiconductor-apparatuer as apparatuer evoluearre út semiconductor-apparatuer ek oannommen yn ferskate graden, en wurde in nij fjild fan tapassing fan semiconductor-apparatuer. Benammen yn 'e mikro / nano elektroanyske apparaten, mikro / nano optoelectromechanical systemen en oare produkten manufacturing fjild fan ekstreem lytse grutte en hege presyzje, it hat ekstreem wichtige betsjutting foar de ûntwikkeling fan elektroanyske komponinten.
Semiconductor proses fakuüm wurdt benammen brûkt yn ferdamping, sputtering, PECVD, fakuüm droech etsen, fakuüm adsorpsje, test apparatuer, fakuüm skjinmeitsjen en oare bonding prosessen, semiconductor produksje en manufacturing proses maklik produsearje flammable, eksplosive en giftige materiaal gas, sil posearje in bedriging foar produksje en personiel feiligens, dêrom, de tapassing fan semiconductor fakuüm pomp moatte betelje omtinken oan ferskate feiligens saken:
1. Filter en skjin fakuümpomp en oare accessoires, filter en piip op skema om oerdruk te foarkommen:
By de tapassing fan semiconductor fakuüm pomp, de gearstalling fan it medium wûn troch de reaksje keamer en fakuüm pomp kin wêze ekstreem kompleks. Bygelyks, SiH4 en O2 foarmje SiO2 by de pomp haven, en de hydrolyse fan TiCl4 sil foarmje HCl; Oannommen dat de oalje seal type meganyske pomp, dizze gas stoffen kinne ek wurde omkeard mei de pomp oalje. Dizze wizigingen geane oan fan de foarming fan dieltsjes, koagulabel materiaal, of erosive media, dy't de fakuümpomp of pipingsysteem kinne ferstoppe, ynfloed op 'e fakuümpompfunksje, drukferheging of oerdruk feroarsaakje, en it risiko neamd yn it twadde punt is grutter. Dêrom is it nedich om op 'e tiid skjin te meitsjen en filterapparatuer yn te stellen as it nedich is.
2, effektive ferwettering fan skealike gas konsintraasje:
Semiconductor is gefoelich foar it produsearjen fan de hjirboppe neamde ontvlambare en eksplosive, giftige en skealike gassen. Dêrom, yn 'e tapassing fan semiconductor fakuümpomp, by it ekstrahearjen fan dizze media, is it needsaaklik om te foarkommen dat se wat ûnkontrolearbere reaksjes hawwe yn' e fakuümpomp as yn it útlaatproses. Sa as SiH4, PH3, AsH3, B2H6 en oare stoffen, yn kontakt mei lucht of soerstof, sil feroarsaakje ferbaarning of sels; Wetterstofgas baarnt ek as de mingferhâlding yn 'e loft in bepaalde temperatuer berikt. It hinget allegear ôf fan it bedrach fan 'e stof en har relaasje mei de druk en temperatuer fan' e omjouwing. Dêrom, as de semiconductor fakuümpomp dizze media ekstrahearret, moat it in inert gas brûke, lykas stikstof, om dizze gassen te ferwiderjen oant in feilich berik foar kompresje.
3. Soarch omtinken foar de konsintraasje fan soerstof:
As soerstof yn 'e loft te heech is, sil ferbaarning en risiko foarkomme. Dêrom, yn guon gefallen, oandacht moat wurde betelle oan 'e konsintraasje fan soerstof, mei help fan inert gas te verdunnen, foar te kommen te hege konsintraasje; Oannommen dat de oalje seal meganyske pomp kin ek moatte brûke wat inerte en soerstof kompatibel fakuüm pomp oalje, en op 'e tiid ferfanging fan oalje filters en oalje produkten.
4, foarkomme de temperatuer te heech:
It is maklik om dit punt te begripen. By it tapassen fan semiconductor yn fakuümpomp binne d'r mear skealike gassen. Oft droege fakuümpomp is noch in oalje seal meganyske pomp, de temperatuer yn 'e pomp keamer is te heech, en flammable en eksplosive en du gas sil maklik wêze gefaarlik by hege temperatuer.
De boppesteande 4 aspekten binne de wichtichste feiligens saken yn de tapassing fan semiconductor fakuüm pomp. Yn 't algemien moatte meganyske pompen foar oaljedichtingen omtinken jaan oan mear feiligensdetails as droege fakuümpompen, ôffier is komplekser. As wy brûke fakuüm pompen, wy moatte betelje omtinken oan de feiligens foarsoarchsmaatregels yn 'e dirigint, en dogge in goede baan yn' e operaasje hânboek by it brûken letter. Fanwege de lytse problemen op operaasje, útfier, effisjinsje en feiligens binne keppele, wy moatte útwreidzje de tsjinst libben fan de fakuüm pomp, stribje te koördinearjen lykwicht, soargje effisjinsje en feiligens.
Wetterring fakuümpomp fentyl flange ferbining foarm
Ofhinklik fan 'e foarm fan' e mienskiplike oerflak kin it wurde ferdield yn 'e folgjende soarten:
1, O-ring type: dit is in nij soarte fan wetter ring fakuüm pomp flange ferbining foarm, wurdt folge troch in ferskaat oan rubberen O-ring ûntwikkeling, it is mear betrouber yn sealing effekt dan de algemiene platte waskmasine
2, trapezoidal groove type: wetter ring fakuüm pomp fentyl flange ferbining mei ovale metalen ring as waskmasine, brûkt foar wurkdruk 64 kg / cm2 fentyl of hege temperatuer fentyl
3. Mortise en groove type: De pakking mei grutte plastyske deformation kin brûkt wurde yn it korrosive medium. De sealing effekt fan wetter ring fakuüm pomp is better
4. Konkave en konvex type: de wurkdruk fan wetterring fakuümpomp is heger, en de hurde waskmasine kin brûkt wurde
5, lens type: de waskmasine is de foarm fan de lens, makke fan metaal. Hege druk kleppen of hege temperatuer kleppen mei wurk druk fan 100kg / cm2
6, glêd type: foar de druk is net hege fentyl, ferwurkjen handiger
Wetter ring fakuüm pomp flange ferbining is der binne in protte foarmen, mar se hawwe ferskillende gelegenheden, yn gebrûk, wy moatte betelje omtinken oan de geskiktheid fan 'e gelegenheid, soargje foar it effekt fan ferbining, net feroarsaakje ferbining mislearring, resultearret yn skea oan it wetter ring fakuüm pomp
Post tiid: Jan-07-2023
