Pumpa falamh air a chuir an sàs ann am pròiseas semiconductor cùisean sàbhailteachd pumpa falamh fàinne uisgecomhlaceangal flange
Thairis air na deicheadan mu dheireadh, le leasachadh luath semiconductor teicneòlas, semiconductor uidheam cuideachd ann an ginealach an dèidh ginealach ùr-ghnàthachadh agus leasachadh. An-diugh, tha saothrachadh agus cleachdadh uidheamachd semiconductor a’ toirt a-steach grunn eileamaidean ceimigeach agus mòran thaobhan eile de theicneòlas àrd, le coileanta teicnigeach làidir. Chan e a-mhàin mar sin, tha leasachadh teicneòlas uidheamachd semiconductor mean air mhean a ’fighe a-steach modaladh teicneòlas pròiseas a-steach don uidheamachd, ga dhèanamh gu math fèin-ghluasadach agus gu math tùrail, ag atharrachadh suidheachadh sgaradh nàdarra uidheamachd agus pròiseas mean air mhean, agus an-còmhnaidh a’ coiseachd aig fìor thoiseach an leasachaidh. de ghnìomhachas saothrachaidh siostam semiconductor, a’ cluich pàirt chudromach sònraichte. Le tuilleadh leasachaidh air uidheamachd semiconductor, bidh an raon tagraidh aige a ’fàs barrachd is barrachd. Ann an raointean saothrachaidh innealan dealanach eile, thathas cuideachd a’ gabhail ri uidheamachd no uidheamachd semiconductor a thàinig gu bith bho uidheamachd semiconductor gu diofar ìrean, gu bhith na raon ùr de thagradh uidheamachd semiconductor. Gu sònraichte anns na h-innealan dealanach micro / nano, siostaman optoelectromechanical micro / nano agus raon saothrachaidh thoraidhean eile de mheud glè bheag agus mionaideachd àrd, tha e air leth cudromach airson leasachadh co-phàirtean dealanach.
Bidh falamh pròiseas semiconductor air a chleachdadh sa mhòr-chuid ann an falmhachadh, sputtering, PECVD, sgudal tioram falamh, sùghadh falamh, uidheamachd deuchainn, glanadh falamh agus pròiseasan ceangail eile, bidh pròiseas cinneasachaidh agus saothrachadh semiconductor gu furasta a ’toirt a-mach gas stuthan lasanta, spreadhaidh agus puinnseanta, na chunnart do cinneasachadh agus sàbhailteachd luchd-obrach, mar sin, feumaidh cleachdadh pumpa falamh semiconductor aire a thoirt do ghrunn chùisean sàbhailteachd:
1. Criathraich agus glan pumpa falamh agus goireasan eile, sìoltachan agus pìoban a rèir clàr-ama gus cus cuideam a sheachnadh:
Ann a bhith a ’cur a-steach pumpa falamh semiconductor, faodaidh co-dhèanamh a’ mheadhan a chaidh a thoirt a-mach tron t-seòmar ath-bhualadh agus am pumpa falamh a bhith gu math toinnte. Mar eisimpleir, bidh SiH4 agus O2 a’ dèanamh SiO2 aig a’ phort pumpa, agus bidh hydrolysis TiCl4 a’ cruthachadh HCl; A 'gabhail ris gu bheil am pumpa meacanaigeach seòrsa ròn ola, faodaidh na stuthan gas sin a bhith air an tionndadh air ais leis a' phumpa ola. Tha na h-atharrachaidhean sin a’ gabhail ris gu bheilear a’ cruthachadh mìrean, stuth coagulable, no meadhanan bleith, a dh’ fhaodadh am pumpa falamh no an siostam pìobaireachd a shlaodadh, buaidh a thoirt air gnìomh pumpa falamh, àrdachadh cuideam no cus cuideam adhbhrachadh, agus tha an cunnart a tha air ainmeachadh san dàrna puing nas àirde. Mar sin, feumar glanadh ann an àm, agus uidheamachd sìoltachaidh a stèidheachadh nuair a bhios feum air.
2, èifeachdach lagachadh de cronail gas dùmhlachd:
Tha semiconductor dualtach na gasaichean lasanta is spreadhaidh, puinnseanta is cronail a thoirt gu buil. Mar sin, ann a bhith a’ cur a-steach pumpa falamh semiconductor, nuair a thathar a’ toirt a-mach na meadhanan sin, feumar casg a chuir orra bho bhith a’ faighinn beagan ath-bheachdan neo-riaghlaidh anns a’ phump falamh no anns a’ phròiseas sgaoilidh. Bidh leithid SiH4, PH3, AsH3, B2H6 agus stuthan eile, ann an conaltradh le èadhar no ocsaidean, ag adhbhrachadh losgadh no eadhon; Bidh gas hydrogen cuideachd a 'losgadh nuair a ruigeas an co-mheas measgachadh san adhar teòthachd sònraichte. Tha e uile an urra ri meud an stuth agus an dàimh a th’ aige ri cuideam agus teòthachd na h-àrainneachd. Mar sin, nuair a bhios am pumpa falamh semiconductor a’ toirt a-mach na meadhanan sin, feumaidh e gas inert, leithid nitrogen, a chleachdadh gus na gasaichean sin a chaolachadh gu raon sàbhailte mus tèid an teannachadh.
3. Thoir aire don dùmhlachd de ocsaidean:
Ma tha ocsaidean san adhar ro àrd, thig losgadh agus cunnart. Mar sin, ann an cuid de chùisean, bu chòir aire a thoirt don dùmhlachd de ocsaidean, a 'cleachdadh inert gas a lagachadh, gus casg a chur ro àrd dùmhlachd; A’ gabhail ris gur dòcha gum feum am pumpa meacanaigeach ròn ola cuid de ola pumpa falamh inert agus co-chosmhail ri ocsaidean a chleachdadh, agus sìoltachain ola agus toraidhean ola a chuir nan àite ann an deagh àm.
4, cuir casg air an teòthachd ro àrd:
Tha e furasta a 'phuing seo a thuigsinn. Ann a bhith a’ cleachdadh semiconductor ann am pumpa falamh, tha gasaichean nas cronail ann. Co-dhiù a tha pumpa falamh tioram fhathast na phump meacanaigeach ròn ola, tha an teòthachd anns an t-seòmar pumpaidh ro àrd, agus bidh e furasta do lasadh agus spreadhaidh agus du gas a bhith cunnartach aig teòthachd àrd.
Is e na 4 taobhan gu h-àrd na prìomh chùisean sàbhailteachd ann an cleachdadh pumpa falamh semiconductor. San fharsaingeachd, feumaidh pumpaichean meacanaigeach ròin ola aire a thoirt do mhion-fhiosrachadh sàbhailteachd na pumpaichean falamh tioram, tha faighinn cuidhteas nas iom-fhillte. Nuair a bhios sinn a’ cleachdadh pumpaichean falamh, feumaidh sinn aire a thoirt do na ceumannan sàbhailteachd anns an stiùiriche, agus obair mhath a dhèanamh anns an leabhar-làimhe obrachaidh nuair a bhios sinn ga chleachdadh nas fhaide air adhart. Air sgàth nan duilgheadasan beaga a thaobh obrachadh, tha toradh, èifeachdas agus sàbhailteachd ceangailte, bu chòir dhuinn beatha seirbheis a ’phumpa falamh a leudachadh, feuchainn ri cothromachadh a cho-òrdanachadh, dèanamh cinnteach à èifeachdas agus sàbhailteachd.
Foirm ceangail flange pumpa falamh fàinne uisge
A rèir cumadh an uachdar còmhla, faodar a roinn anns na seòrsaichean a leanas:
1, seòrsa O-ring: is e seòrsa ùr de fhoirm ceangail flange pumpa falamh fàinne uisge a tha seo, air a leantainn le measgachadh de leasachadh rubair O-ring, tha e nas earbsaiche ann am buaidh seulachaidh na an nigheadair còmhnard coitcheann
2, seòrsa groove trapezoidal: ceangal flange bhalbhaichean pumpa falamh fàinne uisge le fàinne meatailt ugh-chruthach mar inneal-nigheadaireachd, air a chleachdadh airson cuideam obrach 64 kg / cm2 bhalbhaichean no bhalbhaichean teòthachd àrd
3. Seòrsa mortise agus groove: Faodar an gasket le deformation mòr plastaig a chleachdadh anns a ’mheadhan creimneach. Tha buaidh seulachaidh pumpa falamh fàinne uisge nas fheàrr
4. Seòrsa concave agus convex: tha cuideam obrach pumpa falamh fàinne uisge nas àirde, agus faodar an inneal-nigheadaireachd cruaidh a chleachdadh
5, seòrsa lionsa: is e an inneal-nigheadaireachd cumadh an lens, air a dhèanamh de mheatailt. Bhalbhaichean bruthadh àrd no bhalbhaichean teòthachd àrd le cuideam obrach de 100kg / cm2
6, seòrsa rèidh: oir chan eil an cuideam àrd bhalbhaichean, giollachd nas goireasaiche
Ceangal flange pumpa falamh fàinne uisge tha mòran chruthan ann, ach tha amannan eadar-dhealaichte aca, ann an cleachdadh, bu chòir dhuinn aire a thoirt do fhreagarrachd an tachartais, dèanamh cinnteach à buaidh ceangail, na bi ag adhbhrachadh fàiligeadh ceangail, a ’leantainn gu milleadh air an uisge pumpa falamh fàinne
Ùine puist: Jan-07-2023
