A bomba de baleiro aplicada á seguridade do proceso de semicondutores importa a bomba de baleiro de anel de augaválvulaconexión de brida
Durante as últimas décadas, co rápido desenvolvemento da tecnoloxía de semicondutores, os equipos de semicondutores tamén están en innovación e desenvolvemento xeración tras xeración. Hoxe en día, a fabricación e uso de equipos de semicondutores implica unha variedade de elementos químicos e moitos outros aspectos de alta tecnoloxía, cunha forte comprensión técnica. Non só como tal, o desenvolvemento da tecnoloxía de equipos de semicondutores integra gradualmente a modularización da tecnoloxía do proceso no equipo, facéndoo altamente automatizado e altamente intelixente, cambiando gradualmente a situación de separación natural do equipo e do proceso, e sempre camiñando á vangarda do desenvolvemento. da industria de fabricación de sistemas de semicondutores, desempeñando un papel especial importante. Co desenvolvemento dos equipos de semicondutores, o seu campo de aplicación faise cada vez máis amplo. Noutros campos de fabricación de dispositivos electrónicos, os equipos de semicondutores ou os equipos evolucionados a partir de equipos de semicondutores tamén se adoptan en diferentes graos, converténdose nun novo campo de aplicación de equipos de semicondutores. Especialmente nos micro/nano dispositivos electrónicos, micro/nano sistemas optoelectromecánicos e outros produtos de fabricación de tamaño moi pequeno e alta precisión, ten unha importancia moi importante para o desenvolvemento de compoñentes electrónicos.
O baleiro do proceso de semicondutores utilízase principalmente na evaporación, pulverización catódica, PECVD, gravado en seco ao baleiro, adsorción ao baleiro, equipos de proba, limpeza ao baleiro e outros procesos de unión, procesos de produción e fabricación de semicondutores que producen facilmente gas material inflamable, explosivo e tóxico, que suporá unha ameaza para produción e seguridade do persoal, polo tanto, a aplicación da bomba de baleiro de semicondutores debe prestar atención a varias cuestións de seguridade:
1. Filtra e limpa a bomba de baleiro e outros accesorios, filtros e tubaxes segundo o horario previsto para evitar a sobrepresión:
Na aplicación da bomba de baleiro de semicondutores, a composición do medio extraído a través da cámara de reacción e da bomba de baleiro pode ser extremadamente complexa. Por exemplo, SiH4 e O2 forman SiO2 no porto da bomba, e a hidrólise de TiCl4 formará HCl; Asumindo que a bomba mecánica do tipo selo de aceite, estas substancias gaseosas tamén se poden invertir co aceite da bomba. Estes cambios asumen a formación de partículas, material coagulable ou medios erosivos, que poden obstruír a bomba de baleiro ou o sistema de tubaxes, afectar a función da bomba de baleiro, provocar un aumento da presión ou sobrepresión e o risco mencionado no segundo punto é maior. Polo tanto, é necesario limpar a tempo, e configurar equipos de filtrado cando sexa necesario.
2, dilución efectiva da concentración de gases nocivos:
O semicondutor é propenso a producir os mencionados gases inflamables e explosivos, tóxicos e nocivos. Polo tanto, na aplicación da bomba de baleiro de semicondutores, á hora de extraer estes medios, é necesario evitar que teñan algunhas reaccións incontrolables na bomba de baleiro ou no proceso de escape. Como SiH4, PH3, AsH3, B2H6 e outras substancias, en contacto co aire ou o osíxeno, provocarán combustión ou mesmo; O gas hidróxeno tamén arde cando a proporción de mestura no aire alcanza unha determinada temperatura. Todo depende da cantidade da substancia e da súa relación coa presión e a temperatura do ambiente. Polo tanto, cando a bomba de baleiro de semicondutores extrae estes medios, necesita utilizar un gas inerte, como o nitróxeno, para diluír estes gases ata un rango seguro antes da compresión.
3. Preste atención á concentración de osíxeno:
Se o osíxeno no aire é demasiado alto, producirase combustión e risco. Polo tanto, nalgúns casos, débese prestar atención á concentración de osíxeno, usando gas inerte para diluír, para evitar unha concentración demasiado alta; Asumindo que a bomba mecánica do selo de aceite tamén pode necesitar usar aceite de bomba de baleiro inerte e compatible con osíxeno e substituír a tempo os filtros de aceite e os produtos petrolíferos.
4, evita que a temperatura sexa demasiado alta:
É doado entender este punto. Na aplicación de semicondutores na bomba de baleiro, hai máis gases nocivos. Se a bomba de baleiro en seco aínda é unha bomba mecánica de selado de aceite, a temperatura na cámara da bomba é demasiado alta e o gas inflamable e explosivo será facilmente perigoso a altas temperaturas.
Os 4 aspectos anteriores son os principais asuntos de seguridade na aplicación da bomba de baleiro de semicondutores. En xeral, as bombas mecánicas de selado de aceite deben prestar atención a máis detalles de seguridade que as bombas de baleiro en seco, a eliminación é máis complexa. Cando usamos bombas de baleiro, debemos prestar atención ás precaucións de seguridade no condutor e facer un bo traballo no manual de operacións cando usemos máis tarde. Debido aos pequenos problemas de funcionamento, saída, eficiencia e seguridade están ligados, debemos prolongar a vida útil da bomba de baleiro, esforzarnos por coordinar o equilibrio, garantir a eficiencia e a seguridade.
Forma de conexión da brida da válvula da bomba de baleiro do anel de auga
Segundo a forma da superficie da articulación, pódese dividir nos seguintes tipos:
1, tipo de anel tórico: este é un novo tipo de forma de conexión de brida da bomba de baleiro de anel de auga, seguido por unha variedade de desenvolvemento de anel tórico de goma, é máis fiable no efecto de selado que a arandela plana xeral
2, tipo de ranura trapezoidal: conexión de brida da válvula da bomba de baleiro con anel de auga con anel metálico ovalado como arandela, usada para a válvula de presión de traballo 64 kg/cm2 ou válvula de alta temperatura
3. Tipo de embutido e ranura: a xunta con gran deformación plástica pódese usar no medio corrosivo. O efecto de selado da bomba de baleiro de anel de auga é mellor
4. Tipo cóncavo e convexo: a presión de traballo da bomba de baleiro de anel de auga é maior e pódese usar a lavadora dura
5, tipo de lente: a arandela é a forma da lente, feita de metal. Válvulas de alta presión ou válvulas de alta temperatura con presión de traballo de 100 kg/cm2
6, tipo liso: a presión non é alta chave, procesamento máis cómodo
A conexión da brida da bomba de baleiro do anel de auga hai moitas formas, pero teñen diferentes ocasións, en uso, debemos prestar atención á idoneidade da ocasión, garantir o efecto da conexión, non causar fallos de conexión, o que provoca danos na auga. bomba de baleiro de anel
Hora de publicación: Xaneiro-07-2023
