Hoʻohana ʻia ka pāpaʻi ʻumeke i ka kaʻina semiconductor e pili ana i ka palekana o ke apo waikiwikāpili flange
I nā makahiki i hala iho nei, me ka hoʻomohala wikiwiki ʻana o ka ʻenehana semiconductor, aia nā lako semiconductor i ka hanauna ma hope o ka hana hou a me ka hoʻomohala ʻana. I kēia mau lā, ʻo ka hana ʻana a me ka hoʻohana ʻana i nā lako semiconductor e pili ana i nā ʻano mea kemika a me nā ʻano ʻē aʻe he nui o ka ʻenehana kiʻekiʻe, me kahi ʻenehana loea ikaika. ʻAʻole wale e like me ia, ʻo ka hoʻomohala ʻana o ka ʻenehana semiconductor lako e hoʻohui mālie i ke kaʻina ʻenehana modularization i loko o ka lako, e hana ana i ka automated loa a me ka naʻauao loa, e hoʻololi mālie i ke kūlana o ka hoʻokaʻawale maoli ʻana o nā lako a me ke kaʻina hana, a hele mau i ke alo o ka hoʻomohala. o ka ʻoihana hana semiconductor system, e pāʻani ana i kahi kuleana koʻikoʻi. Me ka hoʻomohala hou ʻana o nā lako semiconductor, ʻoi aku ka ākea o kāna kahua noi. Ma nā kahua hana ʻenehana uila, nā lako semiconductor a i ʻole nā mea hana i hoʻomohala ʻia mai nā lako semiconductor i lawe ʻia i nā pae like ʻole, e lilo i kahua hou o ka noi mea semiconductor. ʻOi loa i nā ʻenehana uila micro/nano, nā ʻōnaehana micro/nano optoelectromechanical a me nā huahana ʻē aʻe e hana ana i nā kahua liʻiliʻi liʻiliʻi a me ka pololei kiʻekiʻe, he koʻikoʻi koʻikoʻi no ka hoʻomohala ʻana i nā ʻāpana uila.
Hoʻohana nui ʻia ke kaʻina hana Semiconductor i ka evaporation, sputtering, PECVD, vacuum dry etching, vacuum adsorption, nā mea hoʻāʻo, hoʻomaʻemaʻe ʻana a me nā kaʻina hana hoʻopaʻa ʻē aʻe, ka hana semiconductor a me ka hana hana maʻalahi e hana i ke kinoea pahū, pahū a me nā mea ʻawaʻawa. ka hana a me ka palekana o nā limahana, no laila, pono e hoʻolohe i ka noi ʻana o ka semiconductor vacuum pump i nā mea palekana:
1. E kānana a hoʻomaʻemaʻe i ka pauma a me nā mea ʻē aʻe, kānana a me ka paipu ma ka papa manawa e pale aku ai i ka overpressure:
I ka hoʻohana ʻana i ka pauma semiconductor, hiki ke paʻakikī loa ke ʻano o ka mea i lawe ʻia ma o ke keʻena pane a me ka pauma. No ka laʻana, hana ʻo SiH4 a me O2 iā SiO2 ma ke awa pahū, a ʻo ka hydrolysis o TiCl4 e lilo i HCl; Ke manaʻo nei ʻo ke ʻano o ka ʻaila ʻaila pauma mechanical, hiki ke hoʻohuli ʻia kēia mau mea kinoea me ka ʻaila pauma. Manaʻo kēia mau hoʻololi i ka hoʻokumu ʻana o nā ʻāpana, mea coagulable, a i ʻole erosive media, i hiki ke hoʻopaʻa i ka ʻōpala a i ʻole ka ʻōnaehana paipu, e hoʻopilikia i ka hana ʻana o ka paila, e piʻi ai ka piʻi ʻana a i ʻole ka overpressure, a ʻoi aku ka nui o ka pilikia i ʻōlelo ʻia ma ka helu ʻelua. No laila, pono e hoʻomaʻemaʻe i ka manawa, a hoʻonohonoho i nā lako kānana inā pono.
2, hoʻoheheʻe maikaʻi i ka ʻike kinoea kino:
Hiki i ka Semiconductor ke hana i nā kinoea inflammable a pahū, ʻona a me nā mea ʻino. No laila, i ka hoʻohana ʻana i ka pauma semiconductor vacuum, i ka wā e huki ai i kēia mau media, pono ia e pale iā lākou mai ka loaʻa ʻana o kekahi mau hopena hiki ʻole ke hoʻopaʻa ʻia i loko o ka pauma a i ʻole ke kaʻina hana. E like me SiH4, PH3, AsH3, B2H6 a me nā mea ʻē aʻe, e pili ana i ka ea a i ʻole ka oxygen, e hoʻopau ai i ka puhi ahi a i ʻole; Puhi pū ke kinoea hydrogen i ka wā i hiki ai ka ratio hui ʻana i ka lewa i kahi mahana. Aia nā mea a pau i ka nui o ka mea a me kona pilina me ke kaomi a me ka mahana o ke kaiapuni. No laila, i ka wā e unuhi ai ka ʻumeke semiconductor i kēia mau media, pono ia e hoʻohana i ke kinoea inert, e like me ka nitrogen, e hoʻoheheʻe i kēia mau kinoea i kahi pae palekana ma mua o ke kaomi ʻana.
3. E noʻonoʻo i ka neʻe ʻana o ka oxygen:
Inā kiʻekiʻe loa ka oxygen i ka lewa, hiki mai ka puhi ahi a me ka pilikia. No laila, i kekahi mau hihia, pono e uku ʻia i ka neʻe ʻana o ka oxygen, me ka hoʻohana ʻana i ke kinoea inert e hoʻoheheʻe, e pale aku i ka ʻike kiʻekiʻe; Ke manaʻo nei ʻo ka ʻaila ʻaila mechanical pump e pono ai e hoʻohana i ka ʻaila ʻaila ʻaila inert a me ka oxygen kūpono, a me ka hoʻololi ʻana i nā kānana aila a me nā huahana aila.
4, pale i ka wela kiʻekiʻe loa:
He maʻalahi ke hoʻomaopopo i kēia wahi. I ka hoʻohana ʻana i ka semiconductor i loko o ka ʻumeke wai, ʻoi aku ka nui o nā kinoea ʻino. ʻO ka pauma maloʻo maloʻo he ʻaila pauma mechanical sila, ʻoi aku ka kiʻekiʻe o ka mahana o ke keʻena pamu, a ʻo ka lapalapa a me ka pahū a me ke kinoea e maʻalahi i ka pōʻino i ka wela kiʻekiʻe.
ʻO nā hiʻohiʻona 4 ma luna nei nā mea palekana nui i ka noi ʻana o ka semiconductor vacuum pump. Ma keʻano holoʻokoʻa, pono e hoʻolohe nā ʻaila ʻaila mechanical pumps i nā kikoʻī palekana ʻoi aku ma mua o nā pamu maloʻo maloʻo, ʻoi aku ka paʻakikī o ka hoʻokuʻu ʻana. Ke hoʻohana nei mākou i nā ʻōpala ʻōpala, pono mākou e hoʻolohe i ka mālama palekana i ka conductor, a hana maikaʻi i ka manual hana i ka wā e hoʻohana ai ma hope. Ma muli o nā pilikia liʻiliʻi e pili ana i ka hana, hoʻopili ʻia ka hopena, ka maikaʻi a me ka palekana, pono mākou e hoʻolōʻihi i ke ola lawelawe o ka pauma wai, e hoʻoikaika e hoʻonohonoho i ke kaulike, e hōʻoia i ka pono a me ka palekana.
ʻO ke apo hoʻoheheʻe wai hoʻoheheʻe ʻia i ka pahu hoʻohui flange
E like me ke ʻano o ka ʻili hui, hiki ke hoʻokaʻawale ʻia i kēia mau ʻano:
1, ʻO-ring type: he ʻano hou kēia o ka hoʻopili ʻana i ka wai hoʻoheheʻe wai hoʻoheheʻe ʻia, a ukali ʻia e nā ʻano o ka hoʻomohala ʻana o ke apo O-ring, ʻoi aku ka hilinaʻi o ka hopena hoʻopaʻa ʻana ma mua o ka mea holoi maʻamau.
2, ʻano ʻano trapezoidal groove: ke apo wai ʻauʻau pāpaʻi pahu pahu pili flange me ke apo metala oval ma ke ʻano he mea holoi, hoʻohana ʻia no ke kaomi hana 64 kg/cm2 valve a i ʻole kiʻekiʻe wela wela.
3. Mortise a me groove 'ano: Hiki ke hoʻohana 'ia ka gasket me ka plastic deformation nui i loko o ka corrosive medium. ʻOi aku ka maikaʻi o ka hopena o ka hoʻopaʻa ʻana o ke apo wai
4. Concave a convex ʻano: ʻoi aku ka kiʻekiʻe o ke kaomi hana o ke apo wai wai, a hiki ke hoʻohana ʻia ka mea holoi paʻa.
5, ʻano lens: ʻo ka mea holoi ke ʻano o ka lens, i hana ʻia me ka metala. Kiʻekiʻe puʻe kiʻekiʻe kiʻekiʻe kiʻekiʻe kiʻekiʻe wela kiwikā me ka hana kaomi o 100kg/cm2
6, ʻano maʻalahi: no ka mea ʻaʻole kiʻekiʻe ke kaomi, ʻoi aku ka maʻalahi o ka hana
He nui nā ʻano, akā he mau manawa like ʻole lākou, i ka hoʻohana ʻana, pono mākou e hoʻolohe i ke kūpono o ka manawa, e hōʻoia i ka hopena o ka pilina, ʻaʻole e hoʻopōʻino i ka wai. apo pulu pulu
Ka manawa hoʻouna: Jan-07-2023
