सेमीकंडक्टर प्रक्रिया के लिए लागू वैक्यूम पंप सुरक्षा मायने रखता है पानी की अंगूठी वैक्यूम पंप वाल्व निकला हुआ किनारा कनेक्शन

अर्धचालक प्रक्रिया सुरक्षा के लिए लागू वैक्यूम पंप पानी की अंगूठी वैक्यूम पंपवाल्वनिकला हुआ किनारा कनेक्शन

पिछले दशकों में, सेमीकंडक्टर प्रौद्योगिकी के तेजी से विकास के साथ, सेमीकंडक्टर उपकरण भी पीढ़ी दर पीढ़ी नवाचार और विकास में हैं। आजकल, सेमीकंडक्टर उपकरणों के निर्माण और उपयोग में एक मजबूत तकनीकी व्यापकता के साथ विभिन्न प्रकार के रासायनिक तत्व और उच्च प्रौद्योगिकी के कई अन्य पहलू शामिल हैं। इतना ही नहीं, सेमीकंडक्टर उपकरण प्रौद्योगिकी का विकास धीरे-धीरे प्रक्रिया प्रौद्योगिकी मॉड्यूलराइजेशन को उपकरण में एकीकृत करता है, जिससे यह अत्यधिक स्वचालित और अत्यधिक बुद्धिमान हो जाता है, उपकरण और प्रक्रिया के प्राकृतिक पृथक्करण की स्थिति धीरे-धीरे बदल जाती है, और हमेशा विकास में सबसे आगे चलती है। सेमीकंडक्टर सिस्टम विनिर्माण उद्योग एक विशेष महत्वपूर्ण भूमिका निभा रहा है। सेमीकंडक्टर उपकरण के आगे विकास के साथ, इसका अनुप्रयोग क्षेत्र अधिक से अधिक व्यापक होता जा रहा है। अन्य इलेक्ट्रॉनिक उपकरण निर्माण क्षेत्रों में, सेमीकंडक्टर उपकरण या सेमीकंडक्टर उपकरण से विकसित उपकरण को भी अलग-अलग डिग्री तक अपनाया जाता है, जो सेमीकंडक्टर उपकरण अनुप्रयोग का एक नया क्षेत्र बन जाता है। विशेष रूप से सूक्ष्म/नैनो इलेक्ट्रॉनिक उपकरणों, सूक्ष्म/नैनो ऑप्टोइलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम और अत्यंत छोटे आकार और उच्च परिशुद्धता के अन्य उत्पाद विनिर्माण क्षेत्र में, इलेक्ट्रॉनिक घटकों के विकास के लिए इसका अत्यंत महत्वपूर्ण महत्व है।

सेमीकंडक्टर प्रक्रिया वैक्यूम का उपयोग मुख्य रूप से वाष्पीकरण, स्पटरिंग, पीईसीवीडी, वैक्यूम ड्राई नक़्क़ाशी, वैक्यूम सोखना, परीक्षण उपकरण, वैक्यूम सफाई और अन्य बॉन्डिंग प्रक्रियाओं में किया जाता है, सेमीकंडक्टर उत्पादन और विनिर्माण प्रक्रिया आसानी से ज्वलनशील, विस्फोटक और जहरीली सामग्री गैस का उत्पादन करती है, जिससे खतरा पैदा हो जाएगा। उत्पादन और कर्मचारी सुरक्षा, इसलिए, सेमीकंडक्टर वैक्यूम पंप के अनुप्रयोग को कई सुरक्षा मामलों पर ध्यान देने की आवश्यकता है:

1. अधिक दबाव से बचने के लिए वैक्यूम पंप और अन्य सहायक उपकरण, फिल्टर और पाइप को समय पर फिल्टर और साफ करें:

सेमीकंडक्टर वैक्यूम पंप के अनुप्रयोग में, प्रतिक्रिया कक्ष और वैक्यूम पंप के माध्यम से निकाले गए माध्यम की संरचना बेहद जटिल हो सकती है। उदाहरण के लिए, SiH4 और O2 पंप पोर्ट पर SiO2 बनाते हैं, और TiCl4 के हाइड्रोलिसिस से HCl बनेगा; यह मानते हुए कि तेल सील प्रकार का यांत्रिक पंप, इन गैस पदार्थों को पंप तेल के साथ उलटा भी किया जा सकता है। ये परिवर्तन कणों, जमने योग्य सामग्री, या क्षरणकारी मीडिया के गठन को मानते हैं, जो वैक्यूम पंप या पाइपिंग सिस्टम को अवरुद्ध कर सकते हैं, वैक्यूम पंप फ़ंक्शन को प्रभावित कर सकते हैं, दबाव बढ़ने या अधिक दबाव का कारण बन सकते हैं, और दूसरे बिंदु में उल्लिखित जोखिम अधिक है। इसलिए, समय पर सफाई करना और आवश्यक होने पर फ़िल्टरिंग उपकरण स्थापित करना आवश्यक है।

2, हानिकारक गैस सांद्रता का प्रभावी कमजोर पड़ना:

सेमीकंडक्टर उपरोक्त ज्वलनशील और विस्फोटक, जहरीली और हानिकारक गैसों का उत्पादन करने के लिए प्रवृत्त होता है। इसलिए, सेमीकंडक्टर वैक्यूम पंप के अनुप्रयोग में, इन मीडिया को निकालते समय, उन्हें वैक्यूम पंप या निकास प्रक्रिया में कुछ अनियंत्रित प्रतिक्रियाओं से रोकना आवश्यक है। जैसे SiH4, PH3, AsH3, B2H6 और अन्य पदार्थ, हवा या ऑक्सीजन के संपर्क में आने पर दहन या यहां तक ​​​​कि दहन का कारण बनेंगे; जब हवा में मिश्रण का अनुपात एक निश्चित तापमान तक पहुँच जाता है तो हाइड्रोजन गैस भी जलती है। यह सब पदार्थ की मात्रा और पर्यावरण के दबाव और तापमान से उसके संबंध पर निर्भर करता है। इसलिए, जब सेमीकंडक्टर वैक्यूम पंप इन मीडिया को निकालता है, तो उसे संपीड़न से पहले इन गैसों को एक सुरक्षित सीमा तक पतला करने के लिए नाइट्रोजन जैसी अक्रिय गैस का उपयोग करने की आवश्यकता होती है।

3. ऑक्सीजन की सांद्रता पर ध्यान दें:

यदि हवा में ऑक्सीजन बहुत अधिक है, तो दहन और जोखिम होगा। इसलिए, कुछ मामलों में, बहुत अधिक सांद्रता को रोकने के लिए, निष्क्रिय गैस को पतला करने के लिए, ऑक्सीजन की सांद्रता पर ध्यान दिया जाना चाहिए; यह मानते हुए कि तेल सील यांत्रिक पंप को कुछ निष्क्रिय और ऑक्सीजन संगत वैक्यूम पंप तेल का उपयोग करने और तेल फिल्टर और तेल उत्पादों के समय पर प्रतिस्थापन की भी आवश्यकता हो सकती है।

4, तापमान को बहुत अधिक होने से रोकें:

इस बात को समझना आसान है. वैक्यूम पंप में सेमीकंडक्टर के अनुप्रयोग में अधिक हानिकारक गैसें होती हैं। क्या ड्राई वैक्यूम पंप अभी भी एक तेल सील यांत्रिक पंप है, पंप कक्ष में तापमान बहुत अधिक है, और ज्वलनशील और विस्फोटक और डीयू गैस आसानी से उच्च तापमान पर खतरनाक होगी।

सेमीकंडक्टर वैक्यूम पंप के अनुप्रयोग में उपरोक्त 4 पहलू मुख्य सुरक्षा मामले हैं। सामान्य तौर पर, तेल सील यांत्रिक पंपों को शुष्क वैक्यूम पंपों की तुलना में अधिक सुरक्षा विवरणों पर ध्यान देने की आवश्यकता होती है, निपटान अधिक जटिल होता है। जब हम वैक्यूम पंप का उपयोग करते हैं, तो हमें कंडक्टर में सुरक्षा सावधानियों पर ध्यान देने की आवश्यकता होती है, और बाद में उपयोग करते समय ऑपरेशन मैनुअल में अच्छा काम करना होता है। चूंकि संचालन, आउटपुट, दक्षता और सुरक्षा पर छोटी-छोटी समस्याएं जुड़ी हुई हैं, इसलिए हमें वैक्यूम पंप की सेवा जीवन का विस्तार करना चाहिए, संतुलन का समन्वय करने का प्रयास करना चाहिए, दक्षता और सुरक्षा सुनिश्चित करनी चाहिए।

जल रिंग वैक्यूम पंप वाल्व निकला हुआ किनारा कनेक्शन फॉर्म

जोड़ की सतह के आकार के अनुसार इसे निम्नलिखित प्रकारों में विभाजित किया जा सकता है:

1, ओ-रिंग प्रकार: यह एक नए प्रकार का वॉटर रिंग वैक्यूम पंप फ्लैंज कनेक्शन फॉर्म है, इसके बाद विभिन्न प्रकार के रबर ओ-रिंग का विकास होता है, यह सामान्य फ्लैट वॉशर की तुलना में सीलिंग प्रभाव में अधिक विश्वसनीय है।

2, ट्रैपेज़ॉइडल ग्रूव प्रकार: वॉशर के रूप में अंडाकार धातु की अंगूठी के साथ पानी की अंगूठी वैक्यूम पंप वाल्व निकला हुआ किनारा कनेक्शन, काम के दबाव 64 किलो / सेमी 2 वाल्व या उच्च तापमान वाल्व के लिए उपयोग किया जाता है

3. मोर्टिज़ और ग्रूव प्रकार: बड़े प्लास्टिक विरूपण वाले गैसकेट का उपयोग संक्षारक माध्यम में किया जा सकता है। वॉटर रिंग वैक्यूम पंप का सीलिंग प्रभाव बेहतर है

4. अवतल और उत्तल प्रकार: वॉटर रिंग वैक्यूम पंप का कार्य दबाव अधिक होता है, और हार्ड वॉशर का उपयोग किया जा सकता है

5, लेंस प्रकार: वॉशर लेंस का आकार है, जो धातु से बना है। 100 किग्रा/सेमी2 के कार्यशील दबाव वाले उच्च दबाव वाले वाल्व या उच्च तापमान वाले वाल्व

6, चिकनी प्रकार: दबाव के लिए उच्च वाल्व नहीं है, प्रसंस्करण अधिक सुविधाजनक है

जल रिंग वैक्यूम पंप निकला हुआ किनारा कनेक्शन के कई रूप हैं, लेकिन उनके अलग-अलग अवसर हैं, उपयोग में, हमें अवसर की उपयुक्तता पर ध्यान देना चाहिए, कनेक्शन के प्रभाव को सुनिश्चित करना चाहिए, कनेक्शन विफलता का कारण नहीं बनना चाहिए, जिसके परिणामस्वरूप पानी को नुकसान होगा रिंग वैक्यूम पंप