Vakuumska pumpa primijenjena na vakuumsku pumpu s vodenim prstenom za sigurnost procesa poluvodičaventilprirubnički spoj
Tijekom proteklih desetljeća, s brzim razvojem tehnologije poluvodiča, poluvodička oprema također je generacija za generacijom inovacija i razvoja. U današnje vrijeme proizvodnja i uporaba poluvodičke opreme uključuje niz kemijskih elemenata i mnoge druge aspekte visoke tehnologije, s jakim tehničkim sadržajem. Ne samo kao takav, razvoj tehnologije poluvodičke opreme postupno integrira modularizaciju procesne tehnologije u opremu, čineći je visoko automatiziranom i visoko inteligentnom, postupno mijenjajući situaciju prirodnog odvajanja opreme i procesa i uvijek hodajući u prvim redovima razvoja. industrije proizvodnje poluvodičkih sustava, igrajući posebnu važnu ulogu. Daljnjim razvojem poluvodičke opreme područje njezine primjene postaje sve šire. U drugim područjima proizvodnje elektroničkih uređaja, poluvodička oprema ili oprema koja se razvila iz poluvodičke opreme također se usvaja u različitim stupnjevima, postajući novo polje primjene poluvodičke opreme. Posebno u području proizvodnje mikro/nano elektroničkih uređaja, mikro/nano optoelektromehaničkih sustava i drugih proizvoda iznimno male veličine i visoke preciznosti, to ima iznimno važno značenje za razvoj elektroničkih komponenti.
Poluvodički procesni vakuum uglavnom se koristi u isparavanju, raspršivanju, PECVD-u, vakuumskom suhom jetkanju, vakuumskoj adsorpciji, opremi za testiranje, vakuumskom čišćenju i drugim procesima spajanja, proizvodnja poluvodiča i proizvodni proces koji lako proizvodi zapaljive, eksplozivne i otrovne materijale plin, predstavljat će prijetnju za proizvodnja i sigurnost osoblja, stoga primjena poluvodičke vakuumske pumpe treba obratiti pozornost na nekoliko sigurnosnih pitanja:
1. Filtrirajte i očistite vakuumsku pumpu i ostale dodatke, filter i cijev prema rasporedu kako biste izbjegli nadtlak:
U primjeni poluvodičke vakuumske pumpe, sastav medija ekstrahiranog kroz reakcijsku komoru i vakuumsku pumpu može biti izuzetno složen. Na primjer, SiH4 i O2 tvore SiO2 na ulazu pumpe, a hidroliza TiCl4 će stvoriti HCl; Pod pretpostavkom da je mehanička pumpa tipa uljne brtve, te se plinovite tvari također mogu preokrenuti s uljem pumpe. Ove promjene pretpostavljaju stvaranje čestica, materijala koji se može zgrušati ili erozivnih medija, koji mogu začepiti vakuumsku pumpu ili sustav cjevovoda, utjecati na funkciju vakuumske pumpe, uzrokovati porast tlaka ili pretlak, a rizik naveden u drugoj točki je veći. Stoga je potrebno na vrijeme očistiti, a po potrebi postaviti opremu za filtriranje.
2, učinkovito razrjeđivanje koncentracije štetnih plinova:
Poluvodič je sklon stvaranju gore navedenih zapaljivih i eksplozivnih, otrovnih i štetnih plinova. Stoga je u primjeni poluvodičke vakuumske pumpe, prilikom ekstrakcije ovih medija, potrebno spriječiti da dođu do nekih nekontroliranih reakcija u vakuum pumpi ili u procesu ispuha. Kao što su SiH4, PH3, AsH3, B2H6 i druge tvari, u dodiru sa zrakom ili kisikom, uzrokovat će izgaranje ili čak; Plinoviti vodik također gori kada omjer smjese u zraku dosegne određenu temperaturu. Sve ovisi o količini tvari i njenom odnosu prema tlaku i temperaturi okoline. Stoga, kada poluvodička vakuumska pumpa izvlači te medije, treba upotrijebiti inertni plin, poput dušika, da razrijedi te plinove do sigurnog raspona prije kompresije.
3. Obratite pozornost na koncentraciju kisika:
Ako je kisika u zraku previsoko, doći će do izgaranja i opasnosti. Stoga, u nekim slučajevima, treba obratiti pozornost na koncentraciju kisika, koristeći inertni plin za razrjeđivanje, kako bi se spriječila previsoka koncentracija; Pod pretpostavkom da mehanička pumpa brtve ulja može također trebati koristiti neko inertno ulje za vakuumsku pumpu kompatibilno s kisikom i pravovremenu zamjenu filtera ulja i naftnih proizvoda.
4, spriječite previsoku temperaturu:
Lako je razumjeti ovu točku. U primjeni poluvodiča u vakuumskoj pumpi ima više štetnih plinova. Bilo da je suha vakuumska pumpa još uvijek mehanička pumpa s uljnom brtvom, temperatura u komori pumpe je previsoka, a zapaljivi i eksplozivni plinovi lako će biti opasni na visokoj temperaturi.
Gornja 4 aspekta glavna su sigurnosna pitanja u primjeni poluvodičke vakuumske pumpe. Općenito, mehaničke pumpe s uljnom brtvom moraju obratiti pozornost na više sigurnosnih detalja nego suhe vakuumske pumpe, zbrinjavanje je složenije. Kada koristimo vakuumske pumpe, trebamo obratiti pozornost na sigurnosne mjere opreza u vodiču i dobro obaviti posao u priručniku za uporabu kada ih kasnije koristimo. Zbog malih problema u radu, izlaz, učinkovitost i sigurnost su povezani, trebali bismo produžiti radni vijek vakuumske pumpe, nastojati uskladiti ravnotežu, osigurati učinkovitost i sigurnost.
Obrazac spoja prirubnice ventila vakuumske pumpe vodenog prstena
Prema obliku spojne površine dijeli se na sljedeće vrste:
1, tip O-prstena: ovo je nova vrsta oblika spoja prirubnice vakuumske pumpe s vodenim prstenom, nakon čega slijedi niz razvoja gumenih O-prstena, pouzdaniji je u učinku brtvljenja od općeg ravnog perilice
2, tip trapezoidnog utora: prirubnica ventila vakuumske pumpe s vodenim prstenom s ovalnim metalnim prstenom kao podloškom, koristi se za radni tlak od 64 kg/cm2 ventil ili ventil visoke temperature
3. Vrsta utora i utora: brtva s velikom plastičnom deformacijom može se koristiti u korozivnom mediju. Učinak brtvljenja vakuumske pumpe s vodenim prstenom je bolji
4. Konkavni i konveksni tip: radni tlak vakuumske pumpe s vodenim prstenom je veći, a može se koristiti tvrda perilica
5, vrsta leće: podloška je oblik leće, izrađena od metala. Visokotlačni ventili ili visokotemperaturni ventili s radnim tlakom od 100 kg/cm2
6, glatki tip: jer tlak nije visok ventil, obrada je praktičnija
Prirubnički priključak vakuumske pumpe s vodenim prstenom ima mnogo oblika, ali imaju različite prilike, u uporabi trebamo obratiti pozornost na prikladnost prilike, osigurati učinak veze, ne uzrokovati kvar veze, što rezultira oštećenjem vode prstenasta vakuum pumpa
Vrijeme objave: 7. siječnja 2023
