Ponp vakyòm aplike nan semiconductor pwosesis sekirite zafè dlo bag bale ponpvalvkoneksyon bride
Pandan deseni ki sot pase yo, ak devlopman rapid nan teknoloji semi-conducteurs, ekipman semi-conducteurs tou se nan jenerasyon apre jenerasyon inovasyon ak devlopman. Sèjousi, fabrikasyon ak itilizasyon ekipman semi-conducteurs enplike yon varyete eleman chimik ak anpil lòt aspè nan teknoloji segondè, ak yon gwo teknik konplè. Se pa sèlman kòm sa yo, devlopman nan teknoloji ekipman semi-conducteurs piti piti entegre modularizasyon nan teknoloji pwosesis nan ekipman an, fè li trè otomatik ak trè entèlijan, piti piti chanje sitiyasyon an nan separasyon natirèl nan ekipman ak pwosesis, epi toujou ap mache nan forefront nan devlopman an. nan endistri manifakti sistèm semi-conducteurs, jwe yon wòl enpòtan espesyal. Avèk plis devlopman nan ekipman semi-conducteurs, jaden aplikasyon li yo vin pi plis ak plis lajè. Nan lòt jaden manifakti aparèy elektwonik, ekipman semi-conducteurs oswa ekipman evolye nan ekipman semi-conducteurs yo tou adopte nan divès degre, vin tounen yon nouvo jaden aplikasyon ekipman semi-conducteurs. Espesyalman nan aparèy elektwonik mikwo/nano yo, mikwo/nano sistèm optoelectromechanical ak lòt pwodwi jaden manifakti ki gen anpil ti gwosè ak gwo presizyon, li gen yon siyifikasyon trè enpòtan pou devlopman konpozan elektwonik.
Pwosesis semi-conducteurs vakyòm pwensipalman itilize nan evaporasyon, sputtering, PECVD, vakyòm sèk grave, vakyòm adsorption, ekipman tès, netwayaj vakyòm ak lòt pwosesis lyezon, pwodiksyon semi-conducteurs ak pwosesis fabrikasyon fasil pwodui gaz materyèl ki ka pran dife, eksplozif ak toksik, pral reprezante yon menas pou pwodiksyon ak sekirite anplwaye yo, se poutèt sa, aplikasyon ponp vakyòm semi-conducteurs bezwen peye atansyon sou plizyè pwoblèm sekirite:
1. Filtre ak pwòp ponp vakyòm ak lòt Pwodwi pou Telefòn, filtre ak tiyo sou orè pou evite twòp presyon:
Nan aplikasyon an nan ponp vakyòm semi-conducteurs, konpozisyon an nan mwayen an ekstrè nan chanm reyaksyon an ak ponp vakyòm ka trè konplèks. Pou egzanp, SiH4 ak O2 fòme SiO2 nan pò ponp lan, ak idroliz nan TiCl4 pral fòme HCl; Sipoze ke ponp mekanik kalite sele lwil oliv la, sibstans gaz sa yo ka ranvèse tou ak lwil ponp lan. Chanjman sa yo asime fòmasyon nan patikil, materyèl coagulable, oswa medya erozif, ki ka bouche ponp lan vakyòm oswa sistèm kanalizasyon, afekte fonksyon ponp vakyòm, lakòz ogmantasyon presyon oswa surpresyon, ak risk ki mansyone nan dezyèm pwen an pi gwo. Se poutèt sa, li nesesè netwaye nan tan, epi mete kanpe ekipman filtraj lè sa nesesè.
2, efikas dilution nan konsantrasyon gaz danjere:
Semiconductor gen tandans pou pwodwi pi wo a mansyone gaz enflamabl ak eksplozif, toksik ak danjere. Se poutèt sa, nan aplikasyon an nan ponp vakyòm semi-conducteurs, lè ekstrè medya sa yo, li nesesè yo anpeche yo gen kèk reyaksyon enkontwolab nan ponp lan vakyòm oswa nan pwosesis la echapman. Tankou SiH4, PH3, AsH3, B2H6 ak lòt sibstans, an kontak ak lè oswa oksijèn, pral lakòz combustion oswa menm; Gaz idwojèn tou boule lè rapò melanj nan lè a rive nan yon sèten tanperati. Tout depann sou kantite sibstans la ak relasyon li ak presyon ak tanperati anviwònman an. Se poutèt sa, lè ponp lan vakyòm semi-conducteurs ekstrè medya sa yo, li bezwen sèvi ak yon gaz inaktif, tankou nitwojèn, delye gaz sa yo nan yon seri san danje anvan konpresyon.
3. Peye atansyon sou konsantrasyon oksijèn:
Si oksijèn nan lè a twò wo, combustion ak risk ap fèt. Se poutèt sa, nan kèk ka, yo ta dwe peye atansyon sou konsantrasyon nan oksijèn, lè l sèvi avèk gaz inaktif pou delye, pou anpeche konsantrasyon twò wo; Sipoze ke ponp mekanik sele lwil oliv la ka bezwen tou sèvi ak kèk lwil oliv ponp vakyòm inaktif ak konpatib oksijèn, ak ranplasman alè nan filtè lwil oliv ak pwodwi lwil oliv.
4, anpeche tanperati a twò wo:
Li fasil pou konprann pwen sa a. Nan aplikasyon an nan semi-conducteurs nan ponp vakyòm, gen plis gaz danjere. Kit vakyòm sèk ponp se toujou yon lwil oliv sele ponp mekanik, tanperati a nan chanm ponp lan twò wo, ak ki ka pran dife ak eksplozif ak du gaz fasil pral danjere nan tanperati ki wo.
4 aspè ki pi wo yo se pwoblèm sekirite prensipal yo nan aplikasyon ponp vakyòm semi-conducteurs. An jeneral, ponp mekanik sele lwil oliv bezwen peye atansyon sou plis detay sekirite pase ponp vakyòm sèk, jete se pi konplèks. Lè nou itilize ponp vakyòm, nou bezwen peye atansyon sou prekosyon sekirite yo nan kondiktè a, epi fè yon bon travay nan manyèl operasyon an lè w ap itilize pita. Paske nan ti pwoblèm yo sou operasyon, pwodiksyon, efikasite ak sekirite yo lye, nou ta dwe pwolonje lavi sa a ki sèvis nan ponp lan vakyòm, fè efò kowòdone balans, asire efikasite ak sekirite.
Dlo bag ponp vakyòm valv bride koneksyon fòm
Dapre fòm nan sifas jwenti a, li ka divize an kalite sa yo:
1, O-bag kalite: sa a se yon nouvo kalite bag dlo vakyòm ponp bride koneksyon fòm, ki te swiv pa yon varyete kawotchou O-bag devlopman, li pi serye nan efè sele pase machin pou lave jeneral plat la
2, kalite groove trapezoidal: bag dlo vakyòm ponp tiyo bride koneksyon ak bag metal oval kòm yon machin pou lave, yo itilize pou travay presyon 64 kg / cm2 valv oswa tiyo tanperati ki wo.
3. Mortise ak Groove kalite: Ka gasket la ak gwo deformation plastik dwe itilize nan mwayen an korozivite. Efè a sele nan ponp vakyòm bag dlo se pi bon
4. Kalite konkav ak konvèks: presyon k ap travay nan ponp vakyòm bag dlo a pi wo, epi yo ka itilize machin pou lave a difisil.
5, kalite lantiy: machin pou lave a se fòm nan lantiy la, te fè nan metal. Tiyo presyon ki wo oswa tiyo tanperati ki wo ak presyon k ap travay nan 100kg / cm2
6, kalite lis: pou presyon an se pa tiyo segondè, pwosesis pi pratik
Dlo bag vakyòm ponp bride koneksyon se gen anpil fòm, men yo gen diferan okazyon, nan itilize, nou ta dwe peye atansyon sou konvnab nan okazyon an, asire efè a nan koneksyon, pa lakòz echèk koneksyon, sa ki lakòz domaj nan dlo a. ponp vakyòm bag
Lè poste: Jan-07-2023
