A félvezető folyamatokra alkalmazott vákuumszivattyú biztonsági szempontok vízgyűrűs vákuumszivattyúszelepkarimás csatlakozás
Az elmúlt évtizedekben a félvezető technológia gyors fejlődésével a félvezető berendezések is generációról generációra innovációban és fejlesztésben zajlanak. Napjainkban a félvezető berendezések gyártása és használata számos kémiai elemet és a csúcstechnológia számos más aspektusát foglalja magában, erős műszaki átfogósággal. A félvezető berendezések technológiájának fejlődése nem csak önmagában, hanem fokozatosan integrálja a folyamattechnológiai modularizációt a berendezésbe, így az magasan automatizált és rendkívül intelligens, fokozatosan változtatva a berendezés és a folyamat természetes szétválasztásának helyzetén, és mindig a fejlesztés élvonalában jár. a félvezetőrendszereket gyártó iparban, amely kiemelten fontos szerepet játszik. A félvezető berendezések továbbfejlesztésével alkalmazási területe egyre szélesebbé válik. Más elektronikai eszközök gyártási területein a félvezető berendezéseket vagy a félvezető berendezésekből kifejlesztett berendezéseket is eltérő mértékben alkalmazzák, és a félvezető berendezések alkalmazásának új területévé válnak. Különösen a mikro/nano elektronikai eszközök, mikro/nano optoelektromechanikai rendszerek és egyéb rendkívül kis méretű és nagy pontosságú termékek gyártási területén van rendkívül fontos jelentősége az elektronikai alkatrészek fejlesztése szempontjából.
A félvezető gyártási vákuumot főként párologtatásban, porlasztásban, PECVD-ben, vákuum-száraz maratásban, vákuum-adszorpcióban, vizsgálóberendezésekben, vákuumtisztításban és egyéb kötési folyamatokban használják, a félvezető-gyártási és gyártási folyamatok könnyen termelnek gyúlékony, robbanásveszélyes és mérgező gázokat, veszélyt jelentenek a a gyártás és a személyzet biztonsága, ezért a félvezető vákuumszivattyú alkalmazása során több biztonsági szempontra is figyelmet kell fordítani:
1. Szűrje le és tisztítsa meg a vákuumszivattyút és az egyéb tartozékokat, a szűrőt és a csövet ütemezetten a túlnyomás elkerülése érdekében:
A félvezető vákuumszivattyú alkalmazásakor a reakciókamrán és a vákuumszivattyún keresztül extrahált közeg összetétele rendkívül összetett lehet. Például a SiH4 és az O2 SiO2-t képez a szivattyúnyílásnál, és a TiCl4 hidrolízise HCl-t képez; Feltételezve, hogy az olajtömítés típusú mechanikus szivattyú, ezek a gázanyagok a szivattyúolajjal is megfordíthatók. Ezek a változások részecskék, koagulálható anyagok vagy eróziós közegek képződését feltételezik, amelyek eltömíthetik a vákuumszivattyút vagy csőrendszert, befolyásolhatják a vákuumszivattyú működését, nyomásemelkedést vagy túlnyomást okozhatnak, és nagyobb a második pontban említett kockázat. Ezért szükséges időben tisztítani, szükség esetén szűrőberendezést felállítani.
2, a káros gázkoncentráció hatékony hígítása:
A félvezető hajlamos a fent említett gyúlékony és robbanásveszélyes, mérgező és káros gázok előállítására. Ezért a félvezető vákuumszivattyú alkalmazásakor ezen közegek kivonásakor meg kell akadályozni, hogy a vákuumszivattyúban vagy a kipufogó folyamatban bizonyos ellenőrizhetetlen reakciók legyenek. Például a SiH4, PH3, AsH3, B2H6 és más anyagok levegővel vagy oxigénnel érintkezve égést vagy akár égést is okozhatnak; A hidrogéngáz akkor is ég, ha a levegő keverékaránya elér egy bizonyos hőmérsékletet. Minden az anyag mennyiségétől és a környezet nyomásához és hőmérsékletéhez való viszonyától függ. Ezért amikor a félvezető vákuumszivattyú kivonja ezeket a közegeket, inert gázt, például nitrogént kell használnia, hogy ezeket a gázokat biztonságos tartományra hígítsa a tömörítés előtt.
3. Ügyeljen az oxigén koncentrációjára:
Ha túl magas az oxigén a levegőben, akkor égés és veszély lép fel. Ezért bizonyos esetekben ügyelni kell az oxigén koncentrációjára, inert gázt használva a hígításhoz, hogy elkerüljük a túl magas koncentrációt; Feltételezve, hogy az olajtömítésű mechanikus szivattyúhoz szükség lehet némi inert és oxigénkompatibilis vákuumszivattyú-olaj használatára, valamint az olajszűrők és olajtermékek időben történő cseréjére.
4, megakadályozza a túl magas hőmérsékletet:
Ezt a pontot könnyű megérteni. A félvezető vákuumszivattyúban történő alkalmazásakor több káros gáz van. Függetlenül attól, hogy a száraz vákuumszivattyú továbbra is olajtömítésű mechanikus szivattyú, a szivattyúkamrában a hőmérséklet túl magas, és a gyúlékony és robbanásveszélyes, valamint a dugaszos gáz könnyen veszélyes magas hőmérsékleten.
A fenti 4 szempont a fő biztonsági szempont a félvezető vákuumszivattyú alkalmazása során. Általában az olajtömítésű mechanikus szivattyúknak több biztonsági részletre kell figyelniük, mint a száraz vákuumszivattyúknak, az ártalmatlanítás bonyolultabb. Amikor vákuumszivattyút használunk, ügyelnünk kell a vezető biztonsági óvintézkedéseire, és a későbbi használat során ügyelnünk kell a kezelési útmutatóban leírtakra. A működés, a teljesítmény, a hatékonyság és a biztonság apróbb problémái miatt meg kell hosszabbítani a vákuumszivattyú élettartamát, törekedni kell az egyensúly összehangolására, a hatékonyság és a biztonság biztosítására.
Vízgyűrűs vákuumszivattyú szelep karimás csatlakozási forma
Az ízületi felület alakja szerint a következő típusokra osztható:
1, O-gyűrű típus: ez egy új típusú vízgyűrűs vákuumszivattyú karimás csatlakozási forma, amelyet különféle gumi O-gyűrű fejlesztés követ, megbízhatóbb a tömítő hatásban, mint az általános lapos alátét
2, trapézhorony típus: vízgyűrűs vákuumszivattyú szelep karimás csatlakozás ovális fémgyűrűvel alátétként, 64 kg/cm2 üzemi nyomású szelephez vagy magas hőmérsékletű szelephez használható
3. Horony és horony típusa: A nagy képlékeny deformációjú tömítés korrozív közegben használható. A vízgyűrűs vákuumszivattyú tömítő hatása jobb
4. Konkáv és domború típus: a vízgyűrűs vákuumszivattyú üzemi nyomása magasabb, és a kemény alátét használható
5, lencse típusa: az alátét a lencse alakú, fémből készült. Nagynyomású szelepek vagy magas hőmérsékletű szelepek 100 kg/cm2 üzemi nyomással
6, sima típus: a nyomás nem magas szelep, a feldolgozás kényelmesebb
A vízgyűrűs vákuumszivattyú karimás csatlakozásának sokféle formája van, de különböző alkalmak vannak, használat közben figyelnünk kell az alkalom alkalmasságára, biztosítani kell a csatlakozás hatását, ne okozzon csatlakozási hibát, ami a víz károsodását eredményezi. gyűrűs vákuumszivattyú
Feladás időpontja: 2023-07-07
