Վակուումային պոմպը կիրառվում է կիսահաղորդչային պրոցեսի անվտանգության հետ կապված ջրի օղակի վակուումային պոմպի փականի եզրային միացում

Վակուումային պոմպը կիրառվում է կիսահաղորդչային պրոցեսի անվտանգության հետ կապված ջրի օղակաձև վակուումային պոմպի վրափականեզրային միացում

Անցած տասնամյակների ընթացքում, կիսահաղորդչային տեխնոլոգիայի արագ զարգացման հետ մեկտեղ, կիսահաղորդչային սարքավորումները նույնպես սերնդից սերունդ նորարարություն և զարգացում են ստանում: Մեր օրերում կիսահաղորդչային սարքավորումների արտադրությունն ու օգտագործումը ներառում է մի շարք քիմիական տարրեր և բարձր տեխնոլոգիաների շատ այլ ասպեկտներ՝ ուժեղ տեխնիկական համապարփակությամբ: Ոչ միայն որպես այդպիսին, կիսահաղորդչային սարքավորումների տեխնոլոգիայի զարգացումը աստիճանաբար ինտեգրում է գործընթացի տեխնոլոգիայի մոդուլյարացումը սարքավորումների մեջ՝ դարձնելով այն բարձր ավտոմատացված և բարձր խելացի, աստիճանաբար փոխելով սարքավորումների և գործընթացների բնական տարանջատման իրավիճակը և միշտ քայլելով զարգացման առաջնագծում: կիսահաղորդչային համակարգերի արտադրության արդյունաբերության մեջ, որը առանձնահատուկ կարևոր դեր է խաղում։ Կիսահաղորդչային սարքավորումների հետագա զարգացման հետ մեկտեղ դրա կիրառման ոլորտն ավելի ու ավելի լայն է դառնում: Էլեկտրոնային սարքերի արտադրության այլ ոլորտներում կիսահաղորդչային սարքավորումները կամ կիսահաղորդչային սարքավորումներից առաջացած սարքավորումները նույնպես ընդունված են տարբեր աստիճաններով՝ դառնալով կիսահաղորդչային սարքավորումների կիրառման նոր ոլորտ: Հատկապես միկրո/նանո էլեկտրոնային սարքերի, միկրո/նանո օպտոէլեկտրամեխանիկական համակարգերի և չափազանց փոքր չափերի և բարձր ճշգրտության այլ արտադրանքների արտադրության ոլորտում այն ​​չափազանց կարևոր նշանակություն ունի էլեկտրոնային բաղադրիչների զարգացման համար:

Կիսահաղորդչային գործընթացի վակուումը հիմնականում օգտագործվում է գոլորշիացման, ցրման, PECVD-ի, վակուումային չոր փորագրման, վակուումային կլանման, փորձարկման սարքավորումների, վակուումային մաքրման և կապման այլ գործընթացներում, կիսահաղորդիչների արտադրության և արտադրության գործընթացում հեշտությամբ արտադրվում է դյուրավառ, պայթուցիկ և թունավոր նյութ գազ, որը վտանգ է ներկայացնում արտադրության և անձնակազմի անվտանգությունը, հետևաբար, կիսահաղորդչային վակուումային պոմպի կիրառման ժամանակ անհրաժեշտ է ուշադրություն դարձնել անվտանգության մի քանի հարցերի.

1. Զտել և մաքրել վակուումային պոմպը և այլ պարագաներ, ֆիլտրը և խողովակը՝ գերճնշումից խուսափելու համար.

Կիսահաղորդչային վակուումային պոմպի կիրառման դեպքում ռեակցիայի պալատի և վակուումային պոմպի միջոցով արդյունահանվող միջավայրի բաղադրությունը կարող է չափազանց բարդ լինել: Օրինակ, SiH4-ը և O2-ը պոմպի նավահանգստում ձևավորում են SiO2, իսկ TiCl4-ի հիդրոլիզը կառաջացնի HCl; Ենթադրելով, որ նավթի կնիքի տիպի մեխանիկական պոմպը, այդ գազային նյութերը կարող են նաև հակադարձվել պոմպի յուղով: Այս փոփոխությունները ենթադրում են մասնիկների, մակարդվող նյութի կամ էրոզիվ միջավայրի ձևավորում, որոնք կարող են խցանել վակուումային պոմպը կամ խողովակաշարը, ազդել վակուումային պոմպի ֆունկցիայի վրա, առաջացնել ճնշման բարձրացում կամ գերճնշում, և երկրորդ կետում նշված ռիսկն ավելի մեծ է: Ուստի անհրաժեշտ է ժամանակին մաքրել և անհրաժեշտության դեպքում տեղադրել զտիչ սարքավորում:

2, վնասակար գազի կոնցենտրացիայի արդյունավետ նոսրացում.

Կիսահաղորդիչը հակված է վերը նշված դյուրավառ և պայթուցիկ, թունավոր և վնասակար գազեր արտադրելուն: Հետևաբար, կիսահաղորդչային վակուումային պոմպի կիրառման ժամանակ այդ միջավայրերը հանելիս անհրաժեշտ է կանխել դրանց անվերահսկելի ռեակցիաները վակուումային պոմպի կամ արտանետման գործընթացում: Ինչպես, օրինակ, SiH4, PH3, AsH3, B2H6 և այլ նյութեր, օդի կամ թթվածնի հետ շփվելով, կառաջացնեն այրում կամ նույնիսկ. Ջրածին գազը նույնպես այրվում է, երբ օդում խառնուրդի հարաբերակցությունը հասնում է որոշակի ջերմաստիճանի: Ամեն ինչ կախված է նյութի քանակից և շրջակա միջավայրի ճնշման և ջերմաստիճանի հետ դրա փոխհարաբերությունից: Հետևաբար, երբ կիսահաղորդչային վակուումային պոմպը արդյունահանում է այս մեդիան, այն պետք է օգտագործի իներտ գազ, ինչպիսին է ազոտը, որպեսզի նոսրացնի այդ գազերը մինչև սեղմումը անվտանգ միջակայքում:

3. Ուշադրություն դարձրեք թթվածնի կոնցենտրացիային.

Եթե ​​օդում թթվածինը չափազանց բարձր է, այրումը և վտանգը տեղի կունենա: Հետևաբար, որոշ դեպքերում պետք է ուշադրություն դարձնել թթվածնի կոնցենտրացիայի վրա՝ օգտագործելով իներտ գազ՝ նոսրացնելու համար՝ կանխելու չափազանց բարձր կոնցենտրացիան. Ենթադրելով, որ նավթի կնիքի մեխանիկական պոմպը կարող է նաև օգտագործել իներտ և թթվածնային համատեղելի վակուումային պոմպի յուղ և նավթի ֆիլտրերի և նավթամթերքների ժամանակին փոխարինում:

4, կանխել չափազանց բարձր ջերմաստիճանը.

Հեշտ է հասկանալ այս կետը. Վակուումային պոմպում կիսահաղորդչի կիրառման դեպքում ավելի շատ վնասակար գազեր կան։ Անկախ նրանից, թե չոր վակուումային պոմպը դեռևս նավթի կնիքի մեխանիկական պոմպ է, պոմպի խցիկում ջերմաստիճանը չափազանց բարձր է, և դյուրավառ, պայթուցիկ և գազը հեշտությամբ վտանգավոր կլինի բարձր ջերմաստիճանում:

Վերոնշյալ 4 ասպեկտները անվտանգության հիմնական խնդիրներն են կիսահաղորդչային վակուումային պոմպի կիրառման ժամանակ: Ընդհանուր առմամբ, նավթի կնիքի մեխանիկական պոմպերը պետք է ուշադրություն դարձնեն ավելի շատ անվտանգության մանրամասներին, քան չոր վակուումային պոմպերը, հեռացումը ավելի բարդ է: Երբ մենք օգտագործում ենք վակուումային պոմպեր, մենք պետք է ուշադրություն դարձնենք հաղորդիչի անվտանգության նախազգուշական միջոցներին և լավ աշխատանք կատարենք շահագործման ձեռնարկում, երբ ավելի ուշ օգտագործել ենք: Քանի որ շահագործման, թողարկման, արդյունավետության և անվտանգության հետ կապված փոքր խնդիրները կապված են, մենք պետք է երկարացնենք վակուումային պոմպի ծառայության ժամկետը, ձգտենք համակարգել հավասարակշռությունը, ապահովել արդյունավետությունն ու անվտանգությունը:

Ջրի օղակաձև վակուումային պոմպի փականի եզրային միացման ձև

Ըստ հոդերի մակերեսի ձևի՝ այն կարելի է բաժանել հետևյալ տեսակների.

1, O-ring տեսակը. սա ջրի օղակաձև վակուումային պոմպի եզրային միացման նոր տեսակ է, որին հաջորդում է ռետինե O-ring-ի մի շարք մշակում, այն ավելի հուսալի է կնքման էֆեկտով, քան ընդհանուր հարթ լվացող սարքը:

2, trapezoidal ակոս տեսակը. ջրի օղակաձև վակուումային պոմպի փականի եզրային միացում օվալաձև մետաղական օղակով որպես լվացքի միջոց, օգտագործվում է աշխատանքային ճնշման 64 կգ/սմ2 փական կամ բարձր ջերմաստիճանի փական

3. Հավաքածու և ակոսային տեսակ. մեծ պլաստիկ դեֆորմացիայով միջադիրը կարող է օգտագործվել քայքայիչ միջավայրում: Ջրի օղակաձև վակուումային պոմպի կնքման ազդեցությունն ավելի լավն է

4. Գոգավոր և ուռուցիկ տեսակ. ջրի օղակաձև վակուումային պոմպի աշխատանքային ճնշումը ավելի բարձր է, և կարող է օգտագործվել կոշտ լվացող սարքը

5, ոսպնյակի տեսակը. լվացողը ոսպնյակի ձևն է՝ պատրաստված մետաղից։ Բարձր ճնշման փականներ կամ բարձր ջերմաստիճանի փականներ 100 կգ/սմ2 աշխատանքային ճնշմամբ

6, հարթ տիպ. ճնշման բարձր փականի համար, մշակումը ավելի հարմար է

Ջրի օղակաձև վակուումային պոմպի եզրային կապը շատ ձևեր ունի, բայց դրանք ունեն տարբեր առիթներ, օգտագործման ժամանակ պետք է ուշադրություն դարձնել առիթի համապատասխանությանը, ապահովել կապի ազդեցությունը, չառաջացնել միացման խափանում, ինչը հանգեցնում է ջրի վնասմանը: օղակաձև վակուումային պոմպ