Pompa vakum yang diterapkan pada keselamatan proses semikonduktor penting dalam pompa vakum cincin airkatupkoneksi flensa
Selama beberapa dekade terakhir, dengan pesatnya perkembangan teknologi semikonduktor, peralatan semikonduktor juga mengalami inovasi dan pengembangan dari generasi ke generasi. Saat ini, pembuatan dan penggunaan peralatan semikonduktor melibatkan berbagai unsur kimia dan banyak aspek teknologi tinggi lainnya, dengan teknis yang komprehensif dan kuat. Tidak hanya itu, perkembangan teknologi peralatan semikonduktor secara bertahap mengintegrasikan modularisasi teknologi proses ke dalam peralatan, menjadikannya sangat otomatis dan sangat cerdas, secara bertahap mengubah situasi pemisahan alami peralatan dan proses, dan selalu menjadi yang terdepan dalam pengembangan. industri manufaktur sistem semikonduktor, memainkan peran penting khusus. Dengan semakin berkembangnya peralatan semikonduktor, bidang penerapannya menjadi semakin luas. Di bidang manufaktur perangkat elektronik lainnya, peralatan semikonduktor atau peralatan yang berevolusi dari peralatan semikonduktor juga diadopsi dalam berbagai tingkat, menjadi bidang baru penerapan peralatan semikonduktor. Khususnya di bidang perangkat elektronik mikro/nano, sistem optoelektromekanis mikro/nano, dan bidang manufaktur produk lainnya yang berukuran sangat kecil dan presisi tinggi, hal ini memiliki arti yang sangat penting bagi pengembangan komponen elektronik.
Proses vakum semikonduktor terutama digunakan dalam penguapan, sputtering, PECVD, etsa kering vakum, adsorpsi vakum, peralatan uji, pembersihan vakum dan proses pengikatan lainnya, produksi semikonduktor dan proses manufaktur dengan mudah menghasilkan bahan gas yang mudah terbakar, meledak dan beracun, akan menimbulkan ancaman bagi keselamatan produksi dan staf, oleh karena itu penerapan pompa vakum semikonduktor perlu memperhatikan beberapa hal keselamatan:
1. Saring dan bersihkan pompa vakum dan aksesori lainnya, filter dan pipa sesuai jadwal untuk menghindari tekanan berlebih:
Dalam penerapan pompa vakum semikonduktor, komposisi media yang diekstraksi melalui ruang reaksi dan pompa vakum mungkin sangat kompleks. Misalnya, SiH4 dan O2 membentuk SiO2 di port pompa, dan hidrolisis TiCl4 akan membentuk HCl; Dengan asumsi pompa mekanis tipe segel oli, zat gas ini juga dapat dibalik dengan oli pompa. Perubahan tersebut mengasumsikan terbentuknya partikel, bahan yang dapat menggumpal, atau media erosif, yang dapat menyumbat pompa vakum atau sistem perpipaan, mempengaruhi fungsi pompa vakum, menyebabkan kenaikan tekanan atau tekanan berlebih, dan risiko yang disebutkan pada poin kedua lebih besar. Oleh karena itu, perlu dilakukan pembersihan tepat waktu, dan menyiapkan peralatan penyaringan bila diperlukan.
2, pengenceran efektif konsentrasi gas berbahaya:
Semikonduktor rentan menghasilkan gas yang mudah terbakar dan meledak, beracun dan berbahaya. Oleh karena itu, dalam penerapan pompa vakum semikonduktor, saat mengekstraksi media ini, perlu untuk mencegah terjadinya reaksi yang tidak terkendali di dalam pompa vakum atau dalam proses pembuangan. Seperti SiH4, PH3, AsH3, B2H6 dan zat lainnya, jika bersentuhan dengan udara atau oksigen, akan menyebabkan pembakaran atau bahkan; Gas hidrogen juga terbakar ketika perbandingan campuran di udara mencapai suhu tertentu. Itu semua tergantung pada jumlah zat dan hubungannya dengan tekanan dan suhu lingkungan. Oleh karena itu, ketika pompa vakum semikonduktor mengekstraksi media ini, ia perlu menggunakan gas inert, seperti nitrogen, untuk mengencerkan gas-gas tersebut hingga kisaran yang aman sebelum dikompresi.
3. Perhatikan konsentrasi oksigen:
Jika oksigen di udara terlalu tinggi, pembakaran dan risiko akan terjadi. Oleh karena itu, dalam beberapa kasus, perhatian harus diberikan pada konsentrasi oksigen, menggunakan gas inert untuk mengencerkan, untuk mencegah konsentrasi terlalu tinggi; Dengan asumsi bahwa pompa mekanis segel oli mungkin juga perlu menggunakan oli pompa vakum yang inert dan kompatibel dengan oksigen, serta penggantian filter oli dan produk oli tepat waktu.
4, cegah suhu terlalu tinggi:
Sangat mudah untuk memahami hal ini. Dalam penerapan semikonduktor pada pompa vakum, terdapat lebih banyak gas berbahaya. Apakah pompa vakum kering masih merupakan pompa mekanis segel minyak, suhu di ruang pompa terlalu tinggi, dan gas yang mudah terbakar dan meledak serta du akan mudah berbahaya pada suhu tinggi.
Keempat aspek di atas merupakan hal keselamatan utama dalam penerapan pompa vakum semikonduktor. Secara umum, pompa mekanis segel oli perlu lebih memperhatikan detail keselamatan dibandingkan pompa vakum kering, pembuangannya lebih rumit. Saat kita menggunakan pompa vakum, kita perlu memperhatikan tindakan pencegahan keselamatan pada konduktor, dan melakukan pekerjaan dengan baik dalam manual pengoperasian saat menggunakannya nanti. Karena masalah kecil pada operasi, output, efisiensi dan keselamatan saling terkait, kita harus memperpanjang masa pakai pompa vakum, berusaha untuk mengoordinasikan keseimbangan, memastikan efisiensi dan keamanan.
Bentuk sambungan flensa katup pompa vakum cincin air
Menurut bentuk permukaan sambungannya, dapat dibagi menjadi beberapa jenis berikut:
1, jenis cincin-O: ini adalah jenis baru bentuk sambungan flensa pompa vakum cincin air, diikuti oleh berbagai pengembangan cincin-O karet, lebih dapat diandalkan dalam efek penyegelan daripada mesin cuci datar umum
2, jenis alur trapesium: sambungan flensa katup pompa vakum cincin air dengan cincin logam oval sebagai mesin cuci, digunakan untuk tekanan kerja katup 64 kg/cm2 atau katup suhu tinggi
3. Tipe tanggam dan alur: Gasket dengan deformasi plastik besar dapat digunakan dalam media korosif. Efek penyegelan pompa vakum cincin air lebih baik
4. Tipe cekung dan cembung: tekanan kerja pompa vakum cincin air lebih tinggi, dan mesin cuci keras dapat digunakan
5, jenis lensa: mesin cuci adalah bentuk lensa, terbuat dari logam. Katup bertekanan tinggi atau katup suhu tinggi dengan tekanan kerja 100kg/cm2
6, tipe halus: untuk tekanan katup tidak tinggi, pemrosesan lebih nyaman
Sambungan flensa pompa vakum cincin air ada banyak bentuknya, namun mempunyai kesempatan yang berbeda-beda, dalam penggunaannya kita harus memperhatikan kesesuaian kesempatan tersebut, pastikan efek penyambungan, jangan menyebabkan kegagalan sambungan, sehingga mengakibatkan kerusakan pada air. pompa vakum cincin
Waktu posting: 07 Januari 2023
