Tómarúmdæla beitt á hálfleiðara ferli öryggismál vatnshringur tómarúm dælalokiflans tengingu
Undanfarna áratugi, með örri þróun hálfleiðaratækni, er hálfleiðarabúnaður einnig í kynslóð eftir kynslóð nýsköpun og þróun. Nú á dögum felur framleiðsla og notkun hálfleiðarabúnaðar í sér margs konar efnafræðilega þætti og marga aðra þætti hátækni, með sterka tæknilega alhliða. Ekki aðeins sem slík, samþættir þróun hálfleiðarabúnaðartækni smám saman einingu vinnslutækninnar í búnaðinn, sem gerir hann mjög sjálfvirkan og mjög greindan, breytir smám saman aðstæðum náttúrulegrar aðskilnaðar búnaðar og ferlis og gengur alltaf í fararbroddi þróunarinnar. af hálfleiðarakerfi framleiðsluiðnaði, gegna sérstöku mikilvægu hlutverki. Með frekari þróun hálfleiðarabúnaðar verður notkunarsvið þess sífellt breiðari. Á öðrum sviðum rafeindatækjaframleiðslu er hálfleiðarabúnaður eða búnaður sem þróaður er úr hálfleiðarabúnaði einnig tekinn upp í mismiklum mæli og verður nýtt svið notkunar á hálfleiðarabúnaði. Sérstaklega á sviði ör / nanó rafeindatækja, ör / nanó rafeindatæknikerfa og annarra varaframleiðslusviðs af mjög litlum stærð og mikilli nákvæmni, hefur það afar mikilvæga þýðingu fyrir þróun rafeindaíhluta.
Hálfleiðara ferli tómarúm er aðallega notað í uppgufun, sputtering, PECVD, lofttæmi þurr ætingu, lofttæmi aðsog, prófunarbúnað, ryksugu og önnur tengiferli, hálfleiðara framleiðslu og framleiðsluferli framleiða auðveldlega eldfimt, sprengifimt og eitrað efni gas, mun skapa ógn við framleiðslu og öryggi starfsfólks, því þarf notkun hálfleiðara tómarúmdælu að borga eftirtekt til nokkurra öryggismála:
1. Sía og hreinsaðu lofttæmisdælu og annan fylgihlut, sía og pípa samkvæmt áætlun til að forðast ofþrýsting:
Við beitingu hálfleiðara lofttæmisdælu getur samsetning miðilsins sem dregin er út í gegnum hvarfhólfið og lofttæmdæluna verið mjög flókin. Til dæmis mynda SiH4 og O2 SiO2 við dæluportið og vatnsrof TiCl4 myndar HCl; Að því gefnu að vélræn dæla af gerð olíuþéttisins er hægt að snúa þessum gasefnum við með dæluolíu. Þessar breytingar gera ráð fyrir myndun agna, storknanlegs efnis eða veðrandi miðla, sem geta stíflað lofttæmdæluna eða lagnakerfið, haft áhrif á lofttæmisdæluna, valdið þrýstingshækkun eða yfirþrýstingi og hættan sem nefnd er í öðrum lið er meiri. Þess vegna er nauðsynlegt að þrífa tímanlega og setja upp síunarbúnað þegar þörf krefur.
2, áhrifarík þynning skaðlegs gasstyrks:
Hálfleiðari er hætt við að framleiða ofangreindar eldfimar og sprengifimar, eitraðar og skaðlegar lofttegundir. Þess vegna, við notkun hálfleiðara lofttæmisdælu, þegar þessi miðlar eru teknir út, er nauðsynlegt að koma í veg fyrir að þeir hafi einhver óviðráðanleg viðbrögð í lofttæmisdælunni eða í útblástursferlinu. Svo sem eins og SiH4, PH3, AsH3, B2H6 og önnur efni, í snertingu við loft eða súrefni, mun valda bruna eða jafnvel; Vetnisgas brennur líka þegar blöndunarhlutfallið í loftinu nær ákveðnu hitastigi. Það fer allt eftir magni efnisins og tengslum þess við þrýsting og hitastig umhverfisins. Þess vegna, þegar hálfleiðara lofttæmisdælan dregur út þessa miðla, þarf hún að nota óvirkt gas, eins og köfnunarefni, til að þynna þessar lofttegundir í öruggt svið fyrir þjöppun.
3. Gefðu gaum að styrk súrefnis:
Ef súrefni í loftinu er of hátt verður bruni og hætta á. Þess vegna, í sumum tilfellum, ætti að huga að styrk súrefnis, nota óvirkt gas til að þynna, til að koma í veg fyrir of háan styrk; Að því gefnu að vélræn dæla olíuþéttisins gæti einnig þurft að nota óvirka og súrefnissamhæfða lofttæmisdæluolíu og tímanlega skipta um olíusíur og olíuvörur.
4, komdu í veg fyrir of hátt hitastig:
Það er auðvelt að skilja þetta atriði. Í notkun hálfleiðara í lofttæmdælu eru skaðlegar lofttegundir. Hvort þurr lofttæmisdæla er enn vélræn dæla með olíuþéttingu, þá er hitastigið í dæluhólfinu of hátt og eldfimt og sprengifimt og duft gas verður auðveldlega hættulegt við háan hita.
Ofangreindir 4 þættir eru helstu öryggisatriði við notkun hálfleiðara tómarúmdælu. Almennt þurfa vélrænar dælur með olíuþétti að borga eftirtekt til fleiri öryggisupplýsinga en þurrt tómarúmdælur, förgun er flóknari. Þegar við notum lofttæmdælur þurfum við að huga að öryggisráðstöfunum í leiðaranum og gera vel í notkunarhandbókinni þegar við notum síðar. Vegna lítilla vandamála í rekstri, framleiðsla, skilvirkni og öryggi eru tengd, ættum við að lengja endingartíma tómarúmsdælunnar, leitast við að samræma jafnvægi, tryggja skilvirkni og öryggi.
Vatnshringur tómarúmdæla loki flans tengiform
Samkvæmt lögun samskeytaflatarins er hægt að skipta því í eftirfarandi gerðir:
1, O-hringur tegund: þetta er ný tegund af vatnshringur tómarúmdælu flans tengiformi, fylgt eftir með margs konar gúmmí O-hring þróun, það er áreiðanlegra í þéttingaráhrifum en almenn flatþvottavél
2, trapisulaga gróp gerð: vatnshringur tómarúmdæla loki flanstenging með sporöskjulaga málmhring sem þvottavél, notað fyrir vinnuþrýsting 64 kg/cm2 loki eða háhitaventill
3. Mortise og Groove tegund: Hægt er að nota pakkninguna með mikilli plastaflögun í ætandi miðli. Þéttingaráhrif vatnshringa tómarúmdælunnar eru betri
4. Íhvolfur og kúpt gerð: vinnuþrýstingur vatnshringa lofttæmisdælunnar er hærri og hægt er að nota hörðu þvottavélina
5, linsugerð: þvottavélin er í lögun linsunnar, úr málmi. Háþrýstilokar eða háhitaventlar með vinnuþrýstingi 100kg/cm2
6, slétt gerð: fyrir þrýstinginn er ekki hár loki, vinnsla þægilegri
Vatnshringur tómarúmdæla flans tenging er það eru margar gerðir, en þeir hafa mismunandi tilefni, í notkun, ættum við að borga eftirtekt til hæfis tilefnisins, tryggja áhrif tengingarinnar, valda ekki tengingarbilun, sem leiðir til skemmda á vatni hringtæmisdæla
Pósttími: Jan-07-2023
