La pompa per vuoto applicata alla sicurezza del processo dei semiconduttori è importante per la pompa per vuoto ad anello d'acquavalvolacollegamento a flangia
Negli ultimi decenni, con il rapido sviluppo della tecnologia dei semiconduttori, anche le apparecchiature a semiconduttore sono state oggetto di innovazione e sviluppo generazione dopo generazione. Al giorno d'oggi, la produzione e l'utilizzo di apparecchiature a semiconduttore coinvolgono una varietà di elementi chimici e molti altri aspetti dell'alta tecnologia, con una forte componente tecnica. Non solo in quanto tale, lo sviluppo della tecnologia delle apparecchiature a semiconduttore integra gradualmente la modularizzazione della tecnologia di processo nelle apparecchiature, rendendole altamente automatizzate e altamente intelligenti, modificando gradualmente la situazione di separazione naturale delle apparecchiature e del processo e camminando sempre in prima linea nello sviluppo dell’industria manifatturiera di sistemi a semiconduttori, che svolgono un ruolo particolarmente importante. Con l'ulteriore sviluppo delle apparecchiature a semiconduttore, il loro campo di applicazione diventa sempre più ampio. In altri campi di produzione di dispositivi elettronici, vengono adottate a vari livelli anche apparecchiature a semiconduttore o apparecchiature evolute da apparecchiature a semiconduttore, diventando un nuovo campo di applicazione delle apparecchiature a semiconduttore. Soprattutto nel settore dei dispositivi micro/nano elettronici, dei sistemi micro/nano optoelettromeccanici e di altri prodotti di dimensioni estremamente ridotte e di alta precisione, ha un significato estremamente importante per lo sviluppo di componenti elettronici.
Il vuoto del processo a semiconduttore viene utilizzato principalmente nell'evaporazione, nello sputtering, nel PECVD, nell'incisione a secco sotto vuoto, nell'adsorbimento sotto vuoto, nelle apparecchiature di prova, nella pulizia con il vuoto e in altri processi di incollaggio, la produzione di semiconduttori e il processo di fabbricazione producono facilmente gas di materiali infiammabili, esplosivi e tossici, rappresenteranno una minaccia per produzione e sicurezza del personale, pertanto, l'applicazione della pompa per vuoto a semiconduttore deve prestare attenzione a diversi aspetti della sicurezza:
1. Filtrare e pulire la pompa per vuoto e gli altri accessori, il filtro e il tubo nei tempi previsti per evitare la sovrapressione:
Nell'applicazione della pompa a vuoto a semiconduttore, la composizione del mezzo estratto attraverso la camera di reazione e la pompa a vuoto può essere estremamente complessa. Ad esempio, SiH4 e O2 formano SiO2 all'attacco della pompa e l'idrolisi di TiCl4 formerà HCl; Supponendo che la pompa meccanica sia del tipo con paraolio, queste sostanze gassose possono anche essere invertite con l'olio della pompa. Questi cambiamenti presuppongono la formazione di particelle, materiale coagulabile o mezzi erosivi, che potrebbero intasare la pompa per vuoto o il sistema di tubazioni, influenzare il funzionamento della pompa per vuoto, causare aumento o sovrapressione della pressione e il rischio menzionato nel secondo punto è maggiore. Pertanto, è necessario pulire in tempo e installare apparecchiature di filtraggio quando necessario.
2, diluizione efficace della concentrazione di gas nocivi:
Il semiconduttore è incline a produrre i gas infiammabili ed esplosivi, tossici e nocivi sopra menzionati. Pertanto, nell'applicazione della pompa per vuoto a semiconduttore, quando si estraggono questi mezzi, è necessario evitare che abbiano reazioni incontrollabili nella pompa per vuoto o nel processo di scarico. Come SiH4, PH3, AsH3, B2H6 e altre sostanze, a contatto con l'aria o l'ossigeno, causeranno combustione o addirittura; Il gas idrogeno brucia anche quando il rapporto di miscelazione nell'aria raggiunge una certa temperatura. Tutto dipende dalla quantità della sostanza e dalla sua relazione con la pressione e la temperatura dell'ambiente. Pertanto, quando la pompa per vuoto a semiconduttore estrae questi mezzi, deve utilizzare un gas inerte, come l'azoto, per diluire questi gas fino a un intervallo di sicurezza prima della compressione.
3. Prestare attenzione alla concentrazione di ossigeno:
Se l'ossigeno nell'aria è troppo alto, si verificheranno combustione e rischi. Pertanto, in alcuni casi, occorre prestare attenzione alla concentrazione dell'ossigeno, utilizzando gas inerte per diluirlo, per evitare concentrazioni troppo elevate; Supponendo che la pompa meccanica del paraolio potrebbe dover utilizzare anche olio per pompe per vuoto inerte e compatibile con l'ossigeno e la sostituzione tempestiva dei filtri dell'olio e dei prodotti petroliferi.
4, evitare che la temperatura sia troppo alta:
È facile comprendere questo punto. Nell'applicazione dei semiconduttori nelle pompe per vuoto sono presenti più gas nocivi. Se la pompa per vuoto a secco è ancora una pompa meccanica con paraolio, la temperatura nella camera della pompa è troppo alta e i gas infiammabili, esplosivi e du gas saranno facilmente pericolosi ad alta temperatura.
I 4 aspetti di cui sopra sono le principali questioni di sicurezza nell'applicazione della pompa per vuoto a semiconduttore. In generale, le pompe meccaniche con paraolio devono prestare attenzione a maggiori dettagli di sicurezza rispetto alle pompe per vuoto a secco, lo smaltimento è più complesso. Quando utilizziamo le pompe per vuoto, dobbiamo prestare attenzione alle precauzioni di sicurezza nel conduttore e fare un buon lavoro nel manuale operativo quando lo utilizziamo in seguito. Poiché i piccoli problemi di funzionamento, rendimento, efficienza e sicurezza sono collegati, dovremmo prolungare la durata della pompa per vuoto, sforzarci di coordinare l'equilibrio, garantire efficienza e sicurezza.
Forma di collegamento della flangia della valvola della pompa per vuoto ad anello d'acqua
In base alla forma della superficie articolare si può suddividere nelle seguenti tipologie:
1, tipo O-ring: questo è un nuovo tipo di forma di collegamento della flangia della pompa per vuoto ad anello d'acqua, è seguito da una varietà di sviluppo di O-ring in gomma, è più affidabile nell'effetto di tenuta rispetto alla rondella piatta generale
2, tipo con scanalatura trapezoidale: collegamento a flangia della valvola della pompa per vuoto ad anello d'acqua con anello metallico ovale come rondella, utilizzato per la pressione di esercizio della valvola da 64 kg/cm2 o per la valvola ad alta temperatura
3. Tipo con mortasa e scanalatura: la guarnizione con grande deformazione plastica può essere utilizzata in un mezzo corrosivo. L'effetto di tenuta della pompa per vuoto ad anello d'acqua è migliore
4. Tipo concavo e convesso: la pressione di esercizio della pompa per vuoto ad anello d'acqua è maggiore ed è possibile utilizzare la rondella dura
5, tipo di lente: la rondella è la forma della lente, in metallo. Valvole ad alta pressione o valvole ad alta temperatura con pressione di esercizio di 100 kg/cm2
6, tipo liscio: poiché la pressione non è alta valvola, elaborazione più conveniente
Il collegamento della flangia della pompa per vuoto ad anello d'acqua è disponibile in molte forme, ma ha diverse occasioni, durante l'uso, dovremmo prestare attenzione all'idoneità dell'occasione, garantire l'effetto della connessione, non causare guasti alla connessione, con conseguenti danni all'acqua pompa per vuoto ad anello
Orario di pubblicazione: 07 gennaio 2023
