משאבת ואקום מיושמת על בטיחות בתהליך מוליכים למחצה, חיבור אוגן שסתום משאבת ואקום טבעת מים

משאבת ואקום מיושמת על בטיחות בתהליך מוליכים למחצה משאבת ואקום טבעת מיםשסתוםחיבור אוגן

במהלך העשורים האחרונים, עם ההתפתחות המהירה של טכנולוגיית המוליכים למחצה, ציוד מוליכים למחצה נמצא גם בחדשנות ופיתוח דור אחר דור. כיום, ייצור ושימוש בציוד מוליכים למחצה כרוך במגוון של יסודות כימיים והיבטים רבים אחרים של טכנולוגיה גבוהה, עם מקיף טכני חזק. לא רק ככזה, הפיתוח של טכנולוגיית ציוד מוליכים למחצה משלב בהדרגה את מודולריזציה של טכנולוגיית התהליך בציוד, מה שהופך אותו לאוטומטי ביותר וחכם ביותר, משנה בהדרגה את מצב ההפרדה הטבעית של ציוד ותהליך, ותמיד הולך בחזית הפיתוח של תעשיית ייצור מערכות מוליכים למחצה, ממלא תפקיד חשוב במיוחד. עם התפתחות נוספת של ציוד מוליכים למחצה, תחום היישום שלו הופך רחב יותר ויותר. בתחומים אחרים של ייצור מכשירים אלקטרוניים, ציוד מוליכים למחצה או ציוד שהתפתחו מציוד מוליכים למחצה מאומצים גם הם בדרגות שונות, והופכים לתחום חדש של יישומי ציוד מוליכים למחצה. במיוחד בתחום מכשירי המיקרו/ננו האלקטרוניים, מערכות מיקרו/ננו אופטו-אלקטרו-מכניות וייצור מוצרים אחרים בגודל קטן במיוחד ובדיוק גבוה, יש לו משמעות חשובה ביותר לפיתוח רכיבים אלקטרוניים.

ואקום תהליך של מוליכים למחצה משמש בעיקר באידוי, קיצוץ, PECVD, תחריט ואקום יבש, ספיחה ואקום, ציוד בדיקה, ניקוי ואקום ותהליכי מליטה אחרים, תהליך ייצור וייצור מוליכים למחצה מייצרים בקלות גז חומר דליק, נפיץ ורעיל, יהווה איום על בטיחות ייצור וצוות, לכן, היישום של משאבת ואקום מוליכים למחצה צריך לשים לב למספר ענייני בטיחות:

1. מסנן ונקה משאבת ואקום ואביזרים אחרים, מסנן וצינור לפי לוח הזמנים כדי למנוע לחץ יתר:

ביישום משאבת ואקום מוליכים למחצה, הרכב המדיום שחולץ דרך תא התגובה ומשאבת הוואקום עשוי להיות מורכב ביותר. לדוגמה, SiH4 ו-O2 יוצרים SiO2 ביציאת המשאבה, וההידרוליזה של TiCl4 תיצור HCl; בהנחה שהמשאבה המכנית מסוג אטם השמן, חומרי הגז הללו עשויים להתהפך גם עם שמן המשאבה. שינויים אלו מניחים היווצרות של חלקיקים, חומר מקריש או חומרים שוחקים, העלולים לסתום את משאבת הוואקום או את מערכת הצנרת, להשפיע על תפקוד משאבת הוואקום, לגרום לעליית לחץ או לחץ יתר, והסיכון המוזכר בנקודה השנייה גדול יותר. לכן יש צורך לנקות בזמן, ולהקים ציוד סינון בעת ​​הצורך.

2, דילול יעיל של ריכוז גז מזיק:

מוליכים למחצה נוטים לייצר את הגזים הדליקים והנפיצים, הרעילים והמזיקים שהוזכרו לעיל. לכן, ביישום משאבת ואקום מוליכים למחצה, בעת חילוץ מדיה אלה, יש צורך למנוע מהם תגובות בלתי נשלטות במשאבת הוואקום או בתהליך הפליטה. כגון SiH4, PH3, AsH3, B2H6 וחומרים אחרים, במגע עם אוויר או חמצן, יגרמו לבעירה או אפילו; גז מימן נשרף גם כאשר יחס התערובת באוויר מגיע לטמפרטורה מסוימת. הכל תלוי בכמות החומר וביחס שלו ללחץ ולטמפרטורה של הסביבה. לכן, כאשר משאבת הוואקום המוליכה למחצה מחלצת את החומרים הללו, היא צריכה להשתמש בגז אינרטי, כגון חנקן, כדי לדלל את הגזים הללו לטווח בטוח לפני הדחיסה.

3. שימו לב לריכוז החמצן:

אם החמצן באוויר גבוה מדי, יתרחשו בעירה וסיכון. לכן, במקרים מסוימים, יש לשים לב לריכוז החמצן, באמצעות גז אינרטי לדילול, כדי למנוע ריכוז גבוה מדי; בהנחה שהמשאבה המכנית של אטם השמן תצטרך להשתמש גם בשמן משאבת ואקום אינרטי ותואם חמצן, ובהחלפה בזמן של מסנני שמן ומוצרי שמן.

4, למנוע את הטמפרטורה גבוהה מדי:

קל להבין את הנקודה הזו. ביישום של מוליכים למחצה במשאבת ואקום, ישנם גזים מזיקים יותר. בין אם משאבת ואקום יבשה היא עדיין משאבה מכנית לאטם שמן, הטמפרטורה בתא המשאבה גבוהה מדי, ודליק ונפיץ וגז יהיה מסוכן בקלות בטמפרטורה גבוהה.

4 ההיבטים לעיל הם ענייני הבטיחות העיקריים ביישום משאבת ואקום מוליכים למחצה. באופן כללי, משאבות מכניות לאטם שמן צריכות לשים לב לפרטי בטיחות רבים יותר מאשר משאבות ואקום יבשות, השלכה מורכבת יותר. כאשר אנו משתמשים במשאבות ואקום, עלינו לשים לב לאמצעי הבטיחות במוליך, ולעשות עבודה טובה במדריך התפעול בעת שימוש מאוחר יותר. בגלל הבעיות הקטנות בתפעול, תפוקה, יעילות ובטיחות קשורות, עלינו להאריך את חיי השירות של משאבת הוואקום, לשאוף לתאם איזון, להבטיח יעילות ובטיחות.

טופס חיבור אוגן שסתום משאבת ואקום טבעת מים

על פי צורת משטח המפרק, ניתן לחלק אותו לסוגים הבאים:

1, סוג O-ring: זהו סוג חדש של צורת חיבור אוגן משאבת ואקום טבעת מים, ואחריו מגוון רחב של פיתוח טבעות גומי, זה אמין יותר באפקט האיטום מאשר מכונת הכביסה השטוחה הכללית

2, סוג חריץ טרפז: חיבור אוגן שסתום משאבת ואקום טבעת מים עם טבעת מתכת אובלית כמכונת כביסה, משמש לשסתום לחץ עבודה 64 ק"ג/ס"מ או שסתום בטמפרטורה גבוהה

3. סוג שקע וחריץ: ניתן להשתמש באטם בעל עיוות פלסטי גדול במדיום המאכל. אפקט האיטום של משאבת ואקום טבעת מים טובה יותר

4. סוג קעור וקמור: לחץ העבודה של משאבת ואקום טבעת מים גבוה יותר, וניתן להשתמש במכונת הכביסה הקשה

5, סוג עדשה: מכונת הכביסה היא צורת העדשה, עשויה מתכת. שסתומי לחץ גבוה או שסתומים בטמפרטורה גבוהה עם לחץ עבודה של 100 ק"ג/סמ"ר

6, סוג חלק: עבור הלחץ אינו שסתום גבוה, עיבוד נוח יותר

חיבור אוגן משאבת ואקום טבעת מים ישנן צורות רבות, אך יש להן הזדמנויות שונות, בשימוש, עלינו לשים לב להתאמת האירוע, להבטיח את השפעת החיבור, לא לגרום לכשל בחיבור, וכתוצאה מכך נזק למים משאבת ואקום טבעת