半導体プロセスの安全性を考慮した真空ポンプ 水封式真空ポンプバルブフランジ接続
過去数十年にわたる半導体技術の急速な発展に伴い、半導体装置も次々と革新と開発を行っています。 今日、半導体装置の製造と使用には、さまざまな化学元素やその他多くの高度な技術が関与しており、高度な技術総合力が必要です。 それだけでなく、半導体装置技術の発展はプロセス技術のモジュール化を徐々に装置に統合し、高度に自動化および高度にインテリジェント化し、装置とプロセスが自然に分離されている状況を徐々に変え、常に開発の最前線を歩いています。半導体システム製造業において特に重要な役割を果たしています。 半導体装置のさらなる発展に伴い、その応用分野はますます広がっています。 他の電子機器製造分野でも、半導体装置や半導体装置を発展させた装置が程度の差はあれ採用されており、新たな半導体装置の応用分野となっています。 特に、マイクロ・ナノ電子デバイス、マイクロ・ナノ光電気機械システムなどの極小・高精度の製品製造分野においては、電子部品の開発にとって極めて重要な意味を持っています。
半導体プロセスの真空は、主に蒸着、スパッタリング、PECVD、真空ドライエッチング、真空吸着、試験装置、真空洗浄およびその他の接合プロセスで使用されます。半導体の生産および製造プロセスでは、可燃性、爆発性、有毒な材料ガスが容易に生成され、有害な物質ガスが発生します。したがって、半導体真空ポンプのアプリケーションでは、生産とスタッフの安全を確保するために、いくつかの安全事項に注意を払う必要があります。
1. 過圧を避けるために、真空ポンプやその他の付属品、フィルター、パイプをスケジュールどおりにフィルターおよび洗浄します。
半導体真空ポンプの応用では、反応チャンバーと真空ポンプを通して抽出される媒体の組成は非常に複雑になる場合があります。 たとえば、SiH4 と O2 はポンプポートで SiO2 を形成し、TiCl4 の加水分解により HCl が形成されます。 オイルシール式メカニカルポンプの場合、これらのガス物質もポンプオイルと逆流する可能性があります。 これらの変更は、粒子、凝固性物質、または侵食性媒体の形成を想定しており、それらが真空ポンプまたは配管システムを詰まらせ、真空ポンプの機能に影響を与え、圧力上昇または過圧を引き起こす可能性があり、2 番目の点で述べたリスクがより大きくなります。 したがって、適時に清掃し、必要に応じて濾過装置を設置する必要があります。
2、有害ガス濃度の効果的な希釈:
半導体は、上記の可燃性、爆発性、有毒で有害なガスを発生する傾向があります。 したがって、半導体真空ポンプの応用においては、これらの媒体を抽出する際に、真空ポンプ内や排気過程で制御不能な反応が起こらないようにする必要があります。 SiH4、PH3、AsH3、B2H6 およびその他の物質は、空気または酸素と接触すると、燃焼または燃焼を引き起こします。 水素ガスも空気中の混合比が一定の温度に達すると燃焼します。 それはすべて、物質の量と、環境の圧力や温度との関係によって決まります。 したがって、半導体真空ポンプがこれらの媒体を抽出するときは、圧縮前に窒素などの不活性ガスを使用してこれらのガスを安全な範囲まで希釈する必要があります。
3. 酸素濃度に注意してください。
空気中の酸素が多すぎると、発火や危険が発生します。 したがって、場合によっては、酸素濃度が高くなりすぎないように、不活性ガスを使用して希釈するなど、酸素濃度に注意を払う必要があります。 オイルシールメカニカルポンプも不活性で酸素と互換性のある真空ポンプオイルを使用し、オイルフィルターとオイル製品を適時に交換する必要があると仮定します。
4、温度が高くなりすぎないようにします。
この点は理解しやすいです。 半導体を真空ポンプに応用する場合、さらに有害なガスが発生します。 ドライ真空ポンプがオイルシールメカニカルポンプであっても、ポンプ室内の温度が高くなりすぎ、高温では可燃性、爆発性、デュガスが発生し危険になりやすくなります。
上記の 4 つの側面は、半導体真空ポンプのアプリケーションにおける主要な安全事項です。 一般に、オイルシールメカニカルポンプはドライ真空ポンプよりも安全性の詳細に注意を払う必要があり、廃棄はより複雑です。 真空ポンプを使用するときは、導体の安全上の注意事項に注意を払い、後で使用するときは取扱説明書をしっかりと行う必要があります。 動作、出力、効率、安全性には小さな問題があるため、真空ポンプの耐用年数を延ばし、バランスを調整し、効率と安全性を確保するよう努める必要があります。
水封式真空ポンプバルブフランジ接続形態
接合面の形状により以下の種類に分けられます。
1、Oリングタイプ：これは新しいタイプの水封式真空ポンプフランジ接続形式であり、さまざまなゴム製Oリングが開発されており、一般的な平ワッシャーよりもシール効果の信頼性が高くなります。
2、台形溝タイプ: ワッシャーとして楕円形の金属リングを備えたウォーターリング真空ポンプバルブフランジ接続、作動圧力 64 kg/cm2 バルブまたは高温バルブに使用
3. ほぞ穴形：塑性変形の大きいガスケットで腐食性雰囲気中での使用が可能です。 水封式真空ポンプのシール効果が優れています
4.凹凸タイプ：水封式真空ポンプの作動圧力が高く、ハードワッシャーを使用できます。
5、レンズタイプ：ワッシャーはレンズの形状で、金属製です。 使用圧力100kg/cm2の高圧バルブまたは高温バルブ
6、スムーズなタイプ: 圧力が高くないバルブのため、処理がより便利です
水封式真空ポンプのフランジ接続にはさまざまな形式がありますが、さまざまな機会があります。使用時には、その機会の適合性に注意を払い、接続の効果を確保し、接続不良を引き起こして水の損傷を引き起こさないようにする必要がありますリング真空ポンプ
投稿時刻: 2023 年 1 月 7 日
