ვაკუუმური ტუმბო გამოიყენება ნახევარგამტარული პროცესის უსაფრთხოების საკითხებზე წყლის რგოლის ვაკუუმ ტუმბოს სარქვლის ფლანგური კავშირი

ვაკუუმური ტუმბო გამოიყენება ნახევარგამტარული პროცესის უსაფრთხოების საკითხებზე წყლის რგოლის ვაკუუმ ტუმბოზესარქველიფლანგური კავშირი

გასული ათწლეულების განმავლობაში, ნახევარგამტარული ტექნოლოგიის სწრაფი განვითარებით, ნახევარგამტარული აღჭურვილობა ასევე თაობიდან თაობის ინოვაცია და განვითარებაა. დღესდღეობით, ნახევარგამტარული აღჭურვილობის წარმოება და გამოყენება მოიცავს სხვადასხვა ქიმიურ ელემენტებს და მაღალი ტექნოლოგიების ბევრ სხვა ასპექტს, ძლიერი ტექნიკური ყოვლისმომცველით. არა მხოლოდ როგორც ასეთი, ნახევარგამტარული აღჭურვილობის ტექნოლოგიის განვითარება თანდათან აერთიანებს პროცესის ტექნოლოგიის მოდულარიზაციას აღჭურვილობაში, ხდის მას უაღრესად ავტომატიზირებულ და უაღრესად ინტელექტუალურს, თანდათან ცვლის აღჭურვილობისა და პროცესის ბუნებრივი განცალკევების ვითარებას და ყოველთვის განვითარების წინა ხაზზე. ნახევარგამტარული სისტემების წარმოების ინდუსტრია, რომელიც განსაკუთრებულ როლს ასრულებს. ნახევარგამტარული აღჭურვილობის შემდგომი განვითარებით, მისი გამოყენების სფერო უფრო და უფრო ფართო ხდება. ელექტრონული მოწყობილობების წარმოების სხვა სფეროებში, ნახევარგამტარული მოწყობილობა ან ნახევარგამტარული აღჭურვილობისგან წარმოქმნილი მოწყობილობა ასევე გამოიყენება სხვადასხვა ხარისხით, რაც ხდება ნახევარგამტარული აღჭურვილობის გამოყენების ახალი სფერო. განსაკუთრებით მცირე/ნანო ელექტრონული მოწყობილობების, მიკრო/ნანო ოპტოელექტრომექანიკური სისტემების და სხვა პროდუქტების წარმოების სფეროში უკიდურესად მცირე ზომის და მაღალი სიზუსტით, მას აქვს უაღრესად მნიშვნელოვანი მნიშვნელობა ელექტრონული კომპონენტების განვითარებისთვის.

ნახევარგამტარული პროცესის ვაკუუმი ძირითადად გამოიყენება აორთქლებაში, დაღვრაში, PECVD-ში, ვაკუუმ-მშრალი აკრეფის, ვაკუუმური ადსორბციის, სატესტო მოწყობილობების, ვაკუუმის გაწმენდისა და სხვა შემაკავშირებელ პროცესებში. წარმოებისა და პერსონალის უსაფრთხოება, ამიტომ ნახევარგამტარული ვაკუუმური ტუმბოს გამოყენებისას ყურადღება უნდა მიექცეს უსაფრთხოების რამდენიმე საკითხს:

1. გაფილტრეთ და გაასუფთავეთ ვაკუუმური ტუმბო და სხვა აქსესუარები, ფილტრი და მილი გრაფიკით, რათა თავიდან აიცილოთ ზედმეტი წნევა:

ნახევარგამტარული ვაკუუმ ტუმბოს გამოყენებისას რეაქციის კამერისა და ვაკუუმური ტუმბოს მეშვეობით ამოღებული საშუალების შემადგენლობა შეიძლება იყოს უკიდურესად რთული. მაგალითად, SiH4 და O2 ქმნიან SiO2-ს ტუმბოს პორტში, ხოლო TiCl4-ის ჰიდროლიზი წარმოქმნის HCl-ს; თუ ვივარაუდებთ, რომ ზეთის დალუქვის ტიპის მექანიკური ტუმბოა, ეს გაზის ნივთიერებები ასევე შეიძლება შეიცვალოს ტუმბოს ზეთით. ეს ცვლილებები ითვალისწინებს ნაწილაკების, შედედებული მასალის ან ეროზიული მედიის წარმოქმნას, რამაც შეიძლება დაბლოკოს ვაკუუმური ტუმბო ან მილსადენი, იმოქმედოს ვაკუუმური ტუმბოს ფუნქციაზე, გამოიწვიოს წნევის მომატება ან ზედმეტი წნევა და მეორე პუნქტში აღნიშნული რისკი უფრო დიდია. ამიტომ საჭიროა დროულად გაწმენდა და საჭიროების შემთხვევაში ფილტრაციის აღჭურვილობის დაყენება.

2, მავნე აირის კონცენტრაციის ეფექტური განზავება:

ნახევარგამტარი მიდრეკილია ზემოაღნიშნული აალებადი და ფეთქებადი, ტოქსიკური და მავნე გაზების წარმოქმნისკენ. ამიტომ, ნახევარგამტარული ვაკუუმ ტუმბოს გამოყენებისას, ამ მედიის ამოღებისას, აუცილებელია, რომ თავიდან აიცილოთ მათ რაიმე უკონტროლო რეაქცია ვაკუუმ ტუმბოში ან გამონაბოლქვის პროცესში. როგორიცაა SiH4, PH3, AsH3, B2H6 და სხვა ნივთიერებები ჰაერთან ან ჟანგბადთან კონტაქტისას გამოიწვევს წვას ან თუნდაც; წყალბადის გაზი ასევე იწვის, როდესაც ჰაერში ნარევის თანაფარდობა გარკვეულ ტემპერატურას მიაღწევს. ეს ყველაფერი დამოკიდებულია ნივთიერების რაოდენობაზე და მის დამოკიდებულებაზე გარემოს წნევასა და ტემპერატურაზე. ამიტომ, როდესაც ნახევარგამტარული ვაკუუმური ტუმბო ამოიღებს ამ მედიას, მას სჭირდება ინერტული გაზის გამოყენება, როგორიცაა აზოტი, რათა ეს აირები შეკუმშამდე უსაფრთხო დიაპაზონში განზავდეს.

3. ყურადღება მიაქციეთ ჟანგბადის კონცენტრაციას:

თუ ჰაერში ჟანგბადი ძალიან მაღალია, მოხდება წვა და რისკი. ამიტომ, ზოგიერთ შემთხვევაში, ყურადღება უნდა მიექცეს ჟანგბადის კონცენტრაციას, ინერტული აირის გამოყენებით განზავების მიზნით, რათა თავიდან იქნას აცილებული ძალიან მაღალი კონცენტრაცია; თუ ვივარაუდებთ, რომ ზეთის დალუქვის მექანიკურ ტუმბოს შეიძლება ასევე დასჭირდეს გარკვეული ინერტული და ჟანგბადთან თავსებადი ვაკუუმური ტუმბოს ზეთის გამოყენება და ზეთის ფილტრების და ნავთობპროდუქტების დროული შეცვლა.

4, თავიდან აიცილეთ ძალიან მაღალი ტემპერატურა:

ამ პუნქტის გაგება ადვილია. ვაკუუმურ ტუმბოში ნახევარგამტარის გამოყენებისას უფრო მავნე გაზებია. მშრალი ვაკუუმური ტუმბო არის თუ არა ზეთის მექანიკური ტუმბო, ტუმბოს პალატაში ტემპერატურა ძალიან მაღალია და აალებადი და ფეთქებადი და გაზი ადვილად საშიში იქნება მაღალ ტემპერატურაზე.

ზემოაღნიშნული 4 ასპექტი წარმოადგენს უსაფრთხოების ძირითად საკითხებს ნახევარგამტარული ვაკუუმური ტუმბოს გამოყენებისას. ზოგადად, ზეთის დალუქვის მექანიკურმა ტუმბოებმა ყურადღება უნდა მიაქციონ უფრო მეტ უსაფრთხოების დეტალებს, ვიდრე მშრალი ვაკუუმის ტუმბოები, განადგურება უფრო რთულია. როდესაც ვიყენებთ ვაკუუმურ ტუმბოებს, ყურადღება უნდა მივაქციოთ გამტარში არსებულ უსაფრთხოების ზომებს და შემდგომში გამოყენებისას კარგად გავაკეთოთ მუშაობის სახელმძღვანელოში. მუშაობის, გამომუშავების, ეფექტურობისა და უსაფრთხოების შესახებ მცირე პრობლემების გამო, ჩვენ უნდა გავაგრძელოთ ვაკუუმური ტუმბოს მომსახურების ვადა, ვცდილობთ კოორდინირება მოვახდინოთ ბალანსი, უზრუნველვყოთ ეფექტურობა და უსაფრთხოება.

წყლის რგოლი ვაკუუმური ტუმბოს სარქველის ფლანგის შეერთების ფორმა

სახსრების ზედაპირის ფორმის მიხედვით, იგი შეიძლება დაიყოს შემდეგ ტიპებად:

1, O-ring ტიპი: ეს არის ახალი ტიპის წყლის რგოლის ვაკუუმური ტუმბოს ფლანგის შეერთების ფორმა, რასაც მოჰყვება სხვადასხვა რეზინის O-ring განვითარება, უფრო საიმედოა დალუქვის ეფექტში, ვიდრე ზოგადი ბრტყელი გამრეცხი.

2, ტრაპეციული ღარის ტიპი: წყლის რგოლი ვაკუუმური ტუმბოს სარქველის სარქველი ოვალური ლითონის რგოლით, როგორც გამრეცხი, გამოიყენება სამუშაო წნევით 64 კგ/სმ2 სარქველი ან მაღალი ტემპერატურის სარქველი

3. ღარი და ღარი ტიპი: დიდი პლასტიკური დეფორმაციის მქონე შუასადებები შეიძლება გამოყენებულ იქნას კოროზიულ გარემოში. წყლის რგოლი ვაკუუმური ტუმბოს დალუქვის ეფექტი უკეთესია

4. ჩაზნექილი და ამოზნექილი ტიპი: წყლის რგოლის ვაკუუმ ტუმბოს სამუშაო წნევა უფრო მაღალია და შესაძლებელია მძიმე გამრეცხის გამოყენება.

5, ლინზის ტიპი: გამრეცხი არის ლინზის ფორმა, დამზადებული ლითონისგან. მაღალი წნევის სარქველები ან მაღალი ტემპერატურის სარქველები სამუშაო წნევით 100 კგ/სმ2

6, გლუვი ტიპი: წნევის არ არის მაღალი სარქველი, დამუშავება უფრო მოსახერხებელია

წყლის რგოლი ვაკუუმური ტუმბოს ფლანგური კავშირი არის მრავალი ფორმა, მაგრამ მათ აქვთ სხვადასხვა შემთხვევები, გამოყენებისას ყურადღება უნდა მივაქციოთ შემთხვევის ვარგისიანობას, უზრუნველვყოთ კავშირის ეფექტი, არ გამოიწვიოს კავშირის უკმარისობა, რაც გამოიწვევს წყლის დაზიანებას. რგოლი ვაკუუმის ტუმბო