Жартылай өткізгіш процеске қолданылатын вакуумдық сорғы су сақиналы вакуумдық сорғы қауіпсіздік мәселелеріне қатыстыклапанфланецті қосылым
Соңғы онжылдықтарда жартылай өткізгіштік технологияның қарқынды дамуымен жартылай өткізгіш жабдықтар да ұрпақтан-ұрпаққа инновациялар мен дамуда. Қазіргі уақытта жартылай өткізгішті жабдықтарды өндіру және пайдалану әртүрлі химиялық элементтерді және күшті техникалық кешенді жоғары технологияның көптеген басқа аспектілерін қамтиды. Тек осылай ғана емес, жартылай өткізгіш жабдықтар технологиясының дамуы процесс технологиясын модульизациялауды жабдыққа бірте-бірте біріктіреді, оны жоғары автоматтандырылған және жоғары интеллектуалды етеді, жабдық пен процестің табиғи бөліну жағдайын біртіндеп өзгертеді және әрқашан дамудың алдыңғы қатарында жүреді. жартылай өткізгіш жүйені өндіру өнеркәсібінде ерекше маңызды рөл атқарады. Жартылай өткізгіш аппаратураның одан әрі дамуымен оның қолдану аясы барған сайын кеңейе түсуде. Электрондық құрылғыларды өндірудің басқа салаларында жартылай өткізгішті жабдықтар немесе жартылай өткізгіш жабдықтардан жасалған жабдық әртүрлі дәрежеде қабылданып, жартылай өткізгіш жабдықты қолданудың жаңа саласына айналады. Әсіресе микро/наноэлектрондық құрылғыларда, микро/нанооптоэлектромеханикалық жүйелерде және өте шағын өлшемді және жоғары дәлдіктегі басқа өнімдерді өндіру саласында электрондық компоненттерді дамыту үшін өте маңызды мәнге ие.
Жартылай өткізгішті технологиялық вакуум негізінен булану, шашырату, PECVD, вакуумды құрғақ ою, вакуумды адсорбция, сынақ жабдықтары, вакуумды тазалау және басқа байланыстыру процестерінде қолданылады, жартылай өткізгіштерді өндіру және өндіру процесінде оңай тұтанғыш, жарылғыш және улы материал газын шығарады, қауіп төндіреді. өндіріс пен қызметкерлердің қауіпсіздігі, сондықтан жартылай өткізгіш вакуумдық сорғыны қолдану бірнеше қауіпсіздік мәселелеріне назар аудару керек:
1. Шамадан тыс қысымды болдырмау үшін вакуумдық сорғыны және басқа керек-жарақтарды, сүзгіні және құбырды кесте бойынша сүзіп, тазалаңыз:
Жартылай өткізгішті вакуумдық сорғыны қолдану кезінде реакция камерасы мен вакуумдық сорғы арқылы алынған ортаның құрамы өте күрделі болуы мүмкін. Мысалы, SiH4 және O2 сорғы портында SiO2 түзеді, ал TiCl4 гидролизі HCl түзеді; Майлы тығыздағыш типті механикалық сорғы деп есептесек, бұл газ заттары да сорғы майымен кері айналуы мүмкін. Бұл өзгерістер бөлшектердің, коагуляциялық материалдың немесе эрозиялық ортаның пайда болуын болжайды, олар вакуумдық сорғыны немесе құбыр жүйесін бітеп тастауы, вакуумдық сорғы функциясына әсер етуі, қысымның жоғарылауы немесе артық қысымды тудыруы мүмкін және екінші тармақта айтылған қауіп үлкенірек. Сондықтан уақытында тазалап, қажет болған жағдайда сүзгі қондырғысын орнату қажет.
2, зиянды газ концентрациясын тиімді сұйылту:
Жартылай өткізгіш жоғарыда аталған жанғыш және жарылғыш, улы және зиянды газдарды шығаруға бейім. Сондықтан жартылай өткізгішті вакуумдық сорғыны қолдану кезінде бұл орталарды алу кезінде олардың вакуумдық сорғыда немесе шығару процесінде кейбір бақыланбайтын реакциялардың болуын болдырмау керек. SiH4, PH3, AsH3, B2H6 және басқа заттар ауамен немесе оттегімен байланыста болса, жануды немесе тіпті тудыруы мүмкін; Ауадағы қоспа қатынасы белгілі бір температураға жеткенде сутегі газы да жанады. Мұның бәрі заттың мөлшеріне және оның қоршаған ортаның қысымы мен температурасына қатынасына байланысты. Сондықтан, жартылай өткізгішті вакуумдық сорғы осы ортаны шығарғанда, қысу алдында осы газдарды қауіпсіз диапазонға дейін сұйылту үшін азот сияқты инертті газды пайдалану керек.
3. Оттегінің концентрациясына назар аударыңыз:
Ауадағы оттегі тым жоғары болса, жану және қауіп пайда болады. Сондықтан кейбір жағдайларда тым жоғары концентрацияны болдырмау үшін сұйылту үшін инертті газды пайдаланып, оттегінің концентрациясына назар аудару керек; Мұнай тығыздағыш механикалық сорғы, сондай-ақ кейбір инертті және оттегі үйлесімді вакуумдық сорғы майын пайдалану қажет болуы мүмкін деп есептей отырып, май сүзгілері мен мұнай өнімдерін уақтылы ауыстыру.
4, температураның тым жоғары болуын болдырмаңыз:
Бұл тармақты түсіну оңай. Жартылай өткізгішті вакуумдық сорғыда қолданғанда зиянды газдар көбірек болады. Құрғақ вакуумдық сорғы әлі де май тығыздағыш механикалық сорғы болып табыла ма, сорғы камерасындағы температура тым жоғары, жанғыш және жарылғыш және газ жоғары температурада оңай қауіпті болады.
Жоғарыда аталған 4 аспект жартылай өткізгіш вакуумдық сорғыны қолданудағы негізгі қауіпсіздік мәселелері болып табылады. Тұтастай алғанда, май тығыздағыш механикалық сорғылар құрғақ вакуумдық сорғыларға қарағанда көбірек қауіпсіздік бөлшектеріне назар аударуы керек, кәдеге жарату күрделірек. Вакуумдық сорғыларды пайдаланған кезде біз өткізгіштегі қауіпсіздік шараларына назар аударуымыз керек және кейінірек пайдалану кезінде пайдалану нұсқаулығында жақсы жұмыс істеуіміз керек. Жұмысқа, өнімділікке, тиімділікке және қауіпсіздікке байланысты шағын мәселелерге байланысты біз вакуумдық сорғының қызмет ету мерзімін ұзартуға, тепе-теңдікті үйлестіруге, тиімділік пен қауіпсіздікті қамтамасыз етуге тырысуымыз керек.
Су сақинасы вакуумдық сорғы клапанының фланецті қосу формасы
Буын бетінің пішіні бойынша оны келесі түрлерге бөлуге болады:
1, O-сақина түрі: бұл су сақинасының вакуумдық сорғы фланецті қосылым формасының жаңа түрі, одан кейін резеңке сақинаның әртүрлі дамуы жүреді, ол жалпы жалпақ шайбаға қарағанда тығыздау әсерінен сенімдірек.
2, трапеция тәрізді ойық түрі: шайба ретінде сопақ металл сақинасы бар су сақинасы вакуумдық сорғы клапанының фланецті қосылымы, жұмыс қысымы 64 кг/см2 клапан немесе жоғары температура клапаны үшін қолданылады
3. Ойық және ойық түрі: Үлкен пластикалық деформациясы бар тығыздағышты коррозиялық ортада қолдануға болады. Су сақиналы вакуумдық сорғының тығыздау әсері жақсырақ
4. Ойыс және дөңес түрі: су сақиналы вакуумдық сорғының жұмыс қысымы жоғары, ал қатты шайбаны пайдалануға болады
5, линза түрі: шайба - металдан жасалған линзаның пішіні. Жұмыс қысымы 100кг/см2 жоғары қысымды клапандар немесе жоғары температуралық клапандар
6, тегіс түрі: қысым жоғары емес клапан үшін, өңдеу ыңғайлы
Су сақиналы вакуумдық сорғы фланецті қосылымның көптеген формалары бар, бірақ олардың әртүрлі жағдайлары бар, пайдалану кезінде біз жағдайдың жарамдылығына назар аударуымыз керек, қосылымның әсерін қамтамасыз етуіміз керек, қосылымның бұзылуына әкелмеуі керек, нәтижесінде судың зақымдалуы мүмкін. сақиналы вакуумдық сорғы
Жіберу уақыты: 07 қаңтар 2023 ж
