ម៉ាស៊ីនបូមធូលីបានអនុវត្តចំពោះសុវត្ថិភាពដំណើរការរបស់ semiconductor បញ្ហាម៉ាស៊ីនបូមធូលីសន្ទះបិទបើកការតភ្ជាប់ flange
ក្នុងរយៈពេលប៉ុន្មានទសវត្សរ៍កន្លងមកនេះ ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍន៍យ៉ាងឆាប់រហ័សនៃបច្ចេកវិទ្យា semiconductor ឧបករណ៍ semiconductor ក៏ស្ថិតនៅក្នុងការច្នៃប្រឌិត និងការអភិវឌ្ឍន៍ជាបន្តបន្ទាប់ផងដែរ។ សព្វថ្ងៃនេះ ការផលិត និងប្រើប្រាស់ឧបករណ៍ semiconductor ពាក់ព័ន្ធនឹងធាតុផ្សំគីមី និងទិដ្ឋភាពជាច្រើនទៀតនៃបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់ ជាមួយនឹងបច្ចេកទេសដ៏រឹងមាំ។ មិនត្រឹមតែប៉ុណ្ណឹងទេ ការអភិវឌ្ឍន៍បច្ចេកវិទ្យាឧបករណ៍ semiconductor រួមបញ្ចូលបណ្តើរៗនៃដំណើរការបច្ចេកវិជ្ជា modularization ទៅក្នុងឧបករណ៍ ធ្វើឱ្យវាមានភាពស្វ័យប្រវត្តិខ្ពស់ និងឆ្លាតវៃខ្ពស់ ផ្លាស់ប្តូរស្ថានភាពនៃការបំបែកដោយធម្មជាតិនៃឧបករណ៍ និងដំណើរការ ហើយតែងតែដើរនៅជួរមុខនៃការអភិវឌ្ឍន៍។ នៃឧស្សាហកម្មផលិតប្រព័ន្ធ semiconductor ដើរតួនាទីសំខាន់ពិសេស។ ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍន៍បន្ថែមទៀតនៃឧបករណ៍ semiconductor វិស័យកម្មវិធីរបស់វាកាន់តែធំទូលាយ។ នៅក្នុងវិស័យផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកផ្សេងទៀត ឧបករណ៍ semiconductor ឬឧបករណ៍ដែលវិវត្តពីឧបករណ៍ semiconductor ក៏ត្រូវបានអនុម័តទៅតាមកម្រិតផ្សេងៗគ្នាផងដែរ ដែលក្លាយជាវាលថ្មីមួយនៃកម្មវិធីឧបករណ៍ semiconductor ។ ជាពិសេសនៅក្នុងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកខ្នាតតូច/ណាណូ ប្រព័ន្ធមីក្រូ/ណាណូ optoelectromechanical និងកន្លែងផលិតផលិតផលផ្សេងទៀតដែលមានទំហំតូចបំផុត និងភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ វាមានសារៈសំខាន់ខ្លាំងណាស់សម្រាប់ការអភិវឌ្ឍន៍គ្រឿងបន្លាស់អេឡិចត្រូនិច។
ម៉ាស៊ីនបូមធូលីដំណើរការ semiconductor ត្រូវបានប្រើជាចម្បងក្នុងការហួត ហៀរសំបោរ PECVD ការបូមស្ងួត ការបូមធូលី ការបូមធូលី ឧបករណ៍សាកល្បង ការសម្អាតសុញ្ញកាស និងដំណើរការផ្សារភ្ជាប់ផ្សេងទៀត ការផលិត និងដំណើរការផលិត semiconductor ងាយស្រួលផលិតឧស្ម័នងាយឆេះ ផ្ទុះ និងសារធាតុពុល នឹងបង្កការគំរាមកំហែងដល់ ការផលិត និងសុវត្ថិភាពបុគ្គលិក ដូច្នេះការអនុវត្តម៉ាស៊ីនបូមធូលី semiconductor ត្រូវយកចិត្តទុកដាក់លើបញ្ហាសុវត្ថិភាពមួយចំនួន៖
1. ត្រង និងសម្អាតម៉ាស៊ីនបូមធូលី និងគ្រឿងបន្ថែមផ្សេងទៀត តម្រង និងបំពង់តាមកាលវិភាគ ដើម្បីជៀសវាងសម្ពាធលើស៖
នៅក្នុងការអនុវត្តនៃម៉ាស៊ីនបូមធូលី semiconductor សមាសភាពនៃឧបករណ៍ផ្ទុកដែលស្រង់ចេញតាមរយៈអង្គជំនុំជម្រះប្រតិកម្ម និងម៉ាស៊ីនបូមធូលីអាចស្មុគស្មាញបំផុត។ ឧទាហរណ៍ SiH4 និង O2 បង្កើត SiO2 នៅច្រកបូម ហើយ hydrolysis នៃ TiCl4 នឹងបង្កើត HCl ។ ដោយសន្មត់ថាប្រភេទស្នប់មេកានិក សារធាតុឧស្ម័នទាំងនេះអាចប្តូរជាមួយប្រេងបូមបានផងដែរ។ ការផ្លាស់ប្តូរទាំងនេះសន្មតថាការកកើតនៃភាគល្អិត សម្ភារៈ coagulable ឬ erosive media ដែលអាចស្ទះម៉ាស៊ីនបូមធូលី ឬប្រព័ន្ធបំពង់ ប៉ះពាល់ដល់មុខងារបូមធូលី បណ្តាលឱ្យសម្ពាធកើនឡើង ឬលើសសម្ពាធ ហើយហានិភ័យដែលបានរៀបរាប់នៅក្នុងចំណុចទីពីរគឺធំជាង។ ដូច្នេះត្រូវសម្អាតឱ្យទាន់ពេលវេលា និងរៀបចំឧបករណ៍ចម្រោះនៅពេលចាំបាច់ ។
2, ការរំលាយប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពនៃកំហាប់ឧស្ម័នដែលបង្កគ្រោះថ្នាក់៖
Semiconductor ងាយនឹងផលិតឧស្ម័នដែលអាចឆេះបាន និងផ្ទុះ ពុល និងគ្រោះថ្នាក់ដែលបានរៀបរាប់ខាងលើ។ ដូច្នេះនៅក្នុងការអនុវត្តនៃម៉ាស៊ីនបូមធូលី semiconductor នៅពេលទាញយកប្រព័ន្ធផ្សព្វផ្សាយទាំងនេះ វាចាំបាច់ក្នុងការការពារពួកវាពីការមានប្រតិកម្មដែលមិនអាចគ្រប់គ្រងបានមួយចំនួននៅក្នុងម៉ាស៊ីនបូមធូលី ឬនៅក្នុងដំណើរការផ្សង។ ដូចជា SiH4, PH3, AsH3, B2H6 និងសារធាតុផ្សេងទៀតដែលមានទំនាក់ទំនងជាមួយខ្យល់ឬអុកស៊ីសែននឹងបណ្តាលឱ្យឆេះឬសូម្បីតែ; ឧស្ម័នអ៊ីដ្រូសែនក៏ឆេះនៅពេលដែលសមាមាត្រល្បាយនៅក្នុងខ្យល់ឈានដល់សីតុណ្ហភាពជាក់លាក់មួយ។ វាទាំងអស់គឺអាស្រ័យលើបរិមាណនៃសារធាតុនិងទំនាក់ទំនងរបស់វាទៅនឹងសម្ពាធនិងសីតុណ្ហភាពនៃបរិស្ថាន។ ដូច្នេះ នៅពេលដែលម៉ាស៊ីនបូមធូលី semiconductor ទាញយកប្រព័ន្ធផ្សព្វផ្សាយទាំងនេះ វាចាំបាច់ត្រូវប្រើឧស្ម័នអសកម្ម ដូចជាអាសូត ដើម្បីពនឺឧស្ម័នទាំងនេះទៅកម្រិតសុវត្ថិភាពមុនពេលបង្ហាប់។
3. យកចិត្តទុកដាក់លើកំហាប់អុកស៊ីសែន៖
ប្រសិនបើអុកស៊ីសែននៅក្នុងខ្យល់មានកម្រិតខ្ពស់ពេក ការឆេះ និងហានិភ័យនឹងកើតឡើង។ ដូច្នេះក្នុងករណីខ្លះ គួរតែយកចិត្តទុកដាក់ចំពោះកំហាប់អុកស៊ីសែន ដោយប្រើឧស្ម័នអសកម្មដើម្បីពនរ ដើម្បីការពារកំហាប់ខ្ពស់ពេក។ ដោយសន្មត់ថាស្នប់មេកានិកត្រាប្រេងក៏អាចត្រូវការប្រើប្រេងម៉ាស៊ីនបូមធូលីដែលឆបគ្នានឹងអុកស៊ីហ្សែន និងអសកម្ម និងការជំនួសតម្រងប្រេង និងផលិតផលប្រេងទាន់ពេលវេលា។
៤, ការពារសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ពេក៖
វាងាយយល់ចំណុចនេះ។ នៅក្នុងការអនុវត្តនៃ semiconductor នៅក្នុងម៉ាស៊ីនបូមធូលីមានឧស្ម័នដែលបង្កគ្រោះថ្នាក់បន្ថែមទៀត។ មិនថាម៉ាស៊ីនបូមធូលីស្ងួតនៅតែជាស្នប់មេកានិកបិទជិតប្រេងទេ សីតុណ្ហភាពនៅក្នុងបន្ទប់បូមគឺខ្ពស់ពេក ហើយឧស្ម័នដែលងាយឆេះ និងផ្ទុះ និងងាយនឹងមានគ្រោះថ្នាក់នៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
ទិដ្ឋភាពទាំង 4 ខាងលើគឺជាបញ្ហាសុវត្ថិភាពចម្បងនៅក្នុងការអនុវត្តម៉ាស៊ីនបូមធូលី semiconductor ។ ជាទូទៅ ស្នប់មេកានិកត្រាប្រេងត្រូវយកចិត្តទុកដាក់លើព័ត៌មានលម្អិតសុវត្ថិភាពច្រើនជាងម៉ាស៊ីនបូមធូលីស្ងួត ការចោលគឺស្មុគស្មាញជាង។ នៅពេលយើងប្រើម៉ាស៊ីនបូមធូលី យើងត្រូវយកចិត្តទុកដាក់លើការប្រុងប្រយ័ត្នសុវត្ថិភាពនៅក្នុង conductor ហើយធ្វើការងារបានល្អនៅក្នុងសៀវភៅណែនាំប្រតិបត្តិការនៅពេលប្រើនៅពេលក្រោយ។ ដោយសារបញ្ហាតូចតាចលើប្រតិបត្តិការ ទិន្នផល ប្រសិទ្ធភាព និងសុវត្ថិភាពត្រូវបានផ្សារភ្ជាប់គ្នា យើងគួរតែពន្យារអាយុសេវាកម្មរបស់ម៉ាស៊ីនបូមធូលី ខិតខំសម្របសម្រួលតុល្យភាព ធានាប្រសិទ្ធភាព និងសុវត្ថិភាព។
ទម្រង់ការតភ្ជាប់សន្ទះបូមទឹកបូមធូលីរង្វង់ទឹក
យោងតាមរូបរាងនៃផ្ទៃសន្លាក់វាអាចបែងចែកជាប្រភេទដូចខាងក្រោមៈ
1, ប្រភេទ O-ring: នេះគឺជាប្រភេទថ្មីនៃទម្រង់ការតភ្ជាប់បំពង់បូមធូលី ring ring water ដែលត្រូវបានបន្តដោយការអភិវឌ្ឍន៍ O-ring កៅស៊ូជាច្រើនប្រភេទ វាមានភាពជឿជាក់ក្នុងការផ្សាភ្ជាប់ជាងឧបករណ៍លាងសំប៉ែតទូទៅ។
2, ប្រភេទ groove trapezoidal: សន្ទះបិទបើកបូមទឹក ring សន្ទះបិទបើកការតភ្ជាប់ជាមួយចិញ្ចៀនដែករាងពងក្រពើជា washer ប្រើសម្រាប់សម្ពាធការងារ 64 គីឡូក្រាម / cm2 សន្ទះបិទបើកឬសន្ទះសីតុណ្ហភាពខ្ពស់
3. ប្រភេទ Mortise and groove: gasket with large plastic deformation can be used in corrosive medium. ប្រសិទ្ធភាពនៃការផ្សាភ្ជាប់នៃម៉ាស៊ីនបូមធូលី ring ring គឺល្អជាង
4. ប្រភេទ concave និង convex: សម្ពាធការងាររបស់ water vacuum pump គឺខ្ពស់ជាង ហើយ hard washer អាចប្រើបាន
5, ប្រភេទកញ្ចក់៖ washer មានរាងដូចកញ្ចក់ ធ្វើពីលោហធាតុ។ វ៉ាល់សម្ពាធខ្ពស់ ឬសន្ទះសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ដែលមានសម្ពាធការងារ 100kg/cm2
6, ប្រភេទរលោង: សម្រាប់សម្ពាធគឺមិនខ្ពស់សន្ទះបិទបើកដំណើរការកាន់តែងាយស្រួល
ការតភ្ជាប់បំពង់បូមធូលី ចិញ្ចៀនវង់ទឹក មានច្រើនទម្រង់ ប៉ុន្តែមានច្រើនប្រភេទ ក្នុងការប្រើប្រាស់ យើងគួរយកចិត្តទុកដាក់លើភាពស័ក្តិសមនៃឱកាសនេះ ធានាប្រសិទ្ធភាពនៃការតភ្ជាប់ មិនបណ្តាលឱ្យមានការបរាជ័យក្នុងការតភ្ជាប់ នាំឱ្យខូចទឹក ring ម៉ាស៊ីនបូមធូលី
ពេលវេលាផ្សាយ៖ មករា-០៧-២០២៣
