ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಪಂಪ್ ಅನ್ವಯಿಸಲಾಗಿದೆ ಸುರಕ್ಷತೆ ವಿಷಯಗಳು ನೀರಿನ ರಿಂಗ್ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ ಕವಾಟದ ಚಾಚುಪಟ್ಟಿ ಸಂಪರ್ಕ

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ಅನ್ವಯಿಸಲಾದ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ ಸುರಕ್ಷತೆಯ ವಿಷಯಗಳು ನೀರಿನ ರಿಂಗ್ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ಕವಾಟಚಾಚುಪಟ್ಟಿ ಸಂಪರ್ಕ

ಕಳೆದ ದಶಕಗಳಲ್ಲಿ, ಅರೆವಾಹಕ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಕ್ಷಿಪ್ರ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯೊಂದಿಗೆ, ಅರೆವಾಹಕ ಉಪಕರಣಗಳು ಪೀಳಿಗೆಯ ನಂತರದ ಆವಿಷ್ಕಾರ ಮತ್ತು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯಲ್ಲಿದೆ. ಇತ್ತೀಚಿನ ದಿನಗಳಲ್ಲಿ, ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉಪಕರಣಗಳ ತಯಾರಿಕೆ ಮತ್ತು ಬಳಕೆಯು ವಿವಿಧ ರಾಸಾಯನಿಕ ಅಂಶಗಳು ಮತ್ತು ಉನ್ನತ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಅನೇಕ ಇತರ ಅಂಶಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ, ಬಲವಾದ ತಾಂತ್ರಿಕ ಸಮಗ್ರತೆಯೊಂದಿಗೆ. ಅಷ್ಟೇ ಅಲ್ಲ, ಅರೆವಾಹಕ ಸಲಕರಣೆ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ ಮಾಡ್ಯುಲರೈಸೇಶನ್ ಅನ್ನು ಸಾಧನಕ್ಕೆ ಕ್ರಮೇಣವಾಗಿ ಸಂಯೋಜಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚು ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚು ಬುದ್ಧಿವಂತಿಕೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ, ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ನೈಸರ್ಗಿಕ ಪ್ರತ್ಯೇಕತೆಯ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಯನ್ನು ಕ್ರಮೇಣ ಬದಲಾಯಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಯಾವಾಗಲೂ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯಲ್ಲಿ ಮುಂಚೂಣಿಯಲ್ಲಿದೆ. ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಉದ್ಯಮ, ವಿಶೇಷ ಪ್ರಮುಖ ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತದೆ. ಅರೆವಾಹಕ ಉಪಕರಣಗಳ ಮತ್ತಷ್ಟು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯೊಂದಿಗೆ, ಅದರ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಕ್ಷೇತ್ರವು ಹೆಚ್ಚು ಹೆಚ್ಚು ವಿಸ್ತಾರವಾಗುತ್ತದೆ. ಇತರ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಸಾಧನ ತಯಾರಿಕಾ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಲ್ಲಿ, ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉಪಕರಣಗಳಿಂದ ವಿಕಸನಗೊಂಡ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉಪಕರಣಗಳು ಅಥವಾ ಉಪಕರಣಗಳನ್ನು ವಿವಿಧ ಹಂತಗಳಲ್ಲಿ ಅಳವಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ಅರೆವಾಹಕ ಉಪಕರಣಗಳ ಅನ್ವಯದ ಹೊಸ ಕ್ಷೇತ್ರವಾಗಿದೆ. ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಸೂಕ್ಷ್ಮ/ನ್ಯಾನೊ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಸಾಧನಗಳು, ಮೈಕ್ರೋ/ನ್ಯಾನೊ ಆಪ್ಟೊಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಮೆಕಾನಿಕಲ್ ಸಿಸ್ಟಮ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಅತ್ಯಂತ ಚಿಕ್ಕ ಗಾತ್ರದ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಇತರ ಉತ್ಪನ್ನಗಳ ಉತ್ಪಾದನಾ ಕ್ಷೇತ್ರದಲ್ಲಿ, ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಘಟಕಗಳ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಗೆ ಇದು ಅತ್ಯಂತ ಪ್ರಮುಖ ಪ್ರಾಮುಖ್ಯತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ನಿರ್ವಾತವನ್ನು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆ, ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್, ಪಿಇಸಿವಿಡಿ, ನಿರ್ವಾತ ಡ್ರೈ ಎಚ್ಚಣೆ, ನಿರ್ವಾತ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆ, ಪರೀಕ್ಷಾ ಉಪಕರಣಗಳು, ನಿರ್ವಾತ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಇತರ ಬಂಧದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಸುಲಭವಾಗಿ ಸುಡುವ, ಸ್ಫೋಟಕ ಮತ್ತು ವಿಷಕಾರಿ ವಸ್ತುವಿನ ಅನಿಲವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ. ಉತ್ಪಾದನೆ ಮತ್ತು ಸಿಬ್ಬಂದಿ ಸುರಕ್ಷತೆ, ಆದ್ದರಿಂದ, ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಪಂಪ್ನ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಹಲವಾರು ಸುರಕ್ಷತಾ ವಿಷಯಗಳಿಗೆ ಗಮನ ಕೊಡಬೇಕಾದ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ:

1. ಅತಿಯಾದ ಒತ್ತಡವನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಲು ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ ಮತ್ತು ಇತರ ಪರಿಕರಗಳು, ಫಿಲ್ಟರ್ ಮತ್ತು ಪೈಪ್ ಅನ್ನು ವೇಳಾಪಟ್ಟಿಯಲ್ಲಿ ಫಿಲ್ಟರ್ ಮಾಡಿ ಮತ್ತು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಿ:

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಪಂಪ್‌ನ ಅನ್ವಯದಲ್ಲಿ, ರಿಯಾಕ್ಷನ್ ಚೇಂಬರ್ ಮತ್ತು ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಪಂಪ್ ಮೂಲಕ ಹೊರತೆಗೆಯಲಾದ ಮಾಧ್ಯಮದ ಸಂಯೋಜನೆಯು ಅತ್ಯಂತ ಸಂಕೀರ್ಣವಾಗಿರುತ್ತದೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, SiH4 ಮತ್ತು O2 ಪಂಪ್ ಪೋರ್ಟ್‌ನಲ್ಲಿ SiO2 ಅನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು TiCl4 ನ ಜಲವಿಚ್ಛೇದನವು HCl ಅನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತದೆ; ಆಯಿಲ್ ಸೀಲ್ ಪ್ರಕಾರದ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಪಂಪ್ ಎಂದು ಭಾವಿಸಿದರೆ, ಈ ಅನಿಲ ಪದಾರ್ಥಗಳನ್ನು ಪಂಪ್ ಎಣ್ಣೆಯೊಂದಿಗೆ ಹಿಮ್ಮುಖಗೊಳಿಸಬಹುದು. ಈ ಬದಲಾವಣೆಗಳು ಕಣಗಳು, ಹೆಪ್ಪುಗಟ್ಟಬಹುದಾದ ವಸ್ತು, ಅಥವಾ ಸವೆತ ಮಾಧ್ಯಮಗಳ ರಚನೆಯನ್ನು ಊಹಿಸುತ್ತವೆ, ಇದು ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ ಅಥವಾ ಪೈಪಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಮುಚ್ಚಿಹಾಕಬಹುದು, ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ ಕಾರ್ಯದ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ, ಒತ್ತಡದ ಏರಿಕೆ ಅಥವಾ ಅತಿಯಾದ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಎರಡನೇ ಹಂತದಲ್ಲಿ ಉಲ್ಲೇಖಿಸಲಾದ ಅಪಾಯವು ಹೆಚ್ಚಾಗಿರುತ್ತದೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಸಮಯಕ್ಕೆ ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲು ಅವಶ್ಯಕವಾಗಿದೆ, ಮತ್ತು ಅಗತ್ಯವಿದ್ದಾಗ ಫಿಲ್ಟರಿಂಗ್ ಉಪಕರಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿಸಿ.

2, ಹಾನಿಕಾರಕ ಅನಿಲ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ದುರ್ಬಲಗೊಳಿಸುವಿಕೆ:

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಮೇಲೆ ತಿಳಿಸಲಾದ ದಹಿಸುವ ಮತ್ತು ಸ್ಫೋಟಕ, ವಿಷಕಾರಿ ಮತ್ತು ಹಾನಿಕಾರಕ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುವ ಸಾಧ್ಯತೆಯಿದೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಅರೆವಾಹಕ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ನ ಅನ್ವಯದಲ್ಲಿ, ಈ ಮಾಧ್ಯಮವನ್ನು ಹೊರತೆಗೆಯುವಾಗ, ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ನಲ್ಲಿ ಅಥವಾ ನಿಷ್ಕಾಸ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಕೆಲವು ಅನಿಯಂತ್ರಿತ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದುವುದನ್ನು ತಡೆಯುವುದು ಅವಶ್ಯಕ. SiH4, PH3, AsH3, B2H6 ಮತ್ತು ಇತರ ವಸ್ತುಗಳು, ಗಾಳಿ ಅಥವಾ ಆಮ್ಲಜನಕದ ಸಂಪರ್ಕದಲ್ಲಿ, ದಹನ ಅಥವಾ ಸಹ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ; ಗಾಳಿಯಲ್ಲಿನ ಮಿಶ್ರಣದ ಅನುಪಾತವು ಒಂದು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ತಾಪಮಾನವನ್ನು ತಲುಪಿದಾಗ ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಅನಿಲವೂ ಉರಿಯುತ್ತದೆ. ಇದು ಎಲ್ಲಾ ವಸ್ತುವಿನ ಪ್ರಮಾಣ ಮತ್ತು ಪರಿಸರದ ಒತ್ತಡ ಮತ್ತು ತಾಪಮಾನಕ್ಕೆ ಅದರ ಸಂಬಂಧವನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿರುತ್ತದೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ ಈ ಮಾಧ್ಯಮವನ್ನು ಹೊರತೆಗೆಯುವಾಗ, ಸಂಕೋಚನದ ಮೊದಲು ಈ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಸುರಕ್ಷಿತ ಶ್ರೇಣಿಗೆ ದುರ್ಬಲಗೊಳಿಸಲು ಸಾರಜನಕದಂತಹ ಜಡ ಅನಿಲವನ್ನು ಬಳಸಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ.

3. ಆಮ್ಲಜನಕದ ಸಾಂದ್ರತೆಗೆ ಗಮನ ಕೊಡಿ:

ಗಾಳಿಯಲ್ಲಿ ಆಮ್ಲಜನಕವು ತುಂಬಾ ಹೆಚ್ಚಿದ್ದರೆ, ದಹನ ಮತ್ತು ಅಪಾಯ ಸಂಭವಿಸುತ್ತದೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಕೆಲವು ಸಂದರ್ಭಗಳಲ್ಲಿ, ಆಮ್ಲಜನಕದ ಸಾಂದ್ರತೆಗೆ ಗಮನ ನೀಡಬೇಕು, ದುರ್ಬಲಗೊಳಿಸಲು ಜಡ ಅನಿಲವನ್ನು ಬಳಸಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು; ಆಯಿಲ್ ಸೀಲ್ ಮೆಕ್ಯಾನಿಕಲ್ ಪಂಪ್ ಕೆಲವು ಜಡ ಮತ್ತು ಆಮ್ಲಜನಕದ ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ ಎಣ್ಣೆಯನ್ನು ಬಳಸಬೇಕಾಗಬಹುದು ಮತ್ತು ತೈಲ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ತೈಲ ಉತ್ಪನ್ನಗಳ ಸಕಾಲಿಕ ಬದಲಿಯನ್ನು ಬಳಸಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ ಎಂದು ಊಹಿಸಲಾಗಿದೆ.

4, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನವನ್ನು ತಡೆಯಿರಿ:

ಈ ಅಂಶವನ್ನು ಅರ್ಥಮಾಡಿಕೊಳ್ಳುವುದು ಸುಲಭ. ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ನಲ್ಲಿ ಅರೆವಾಹಕದ ಅನ್ವಯದಲ್ಲಿ, ಹೆಚ್ಚು ಹಾನಿಕಾರಕ ಅನಿಲಗಳಿವೆ. ಡ್ರೈ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಪಂಪ್ ಇನ್ನೂ ಆಯಿಲ್ ಸೀಲ್ ಮೆಕ್ಯಾನಿಕಲ್ ಪಂಪ್ ಆಗಿರಲಿ, ಪಂಪ್ ಚೇಂಬರ್‌ನಲ್ಲಿನ ತಾಪಮಾನವು ತುಂಬಾ ಹೆಚ್ಚಾಗಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸುಡುವ ಮತ್ತು ಸ್ಫೋಟಕ ಮತ್ತು ಡು ಅನಿಲವು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಸುಲಭವಾಗಿ ಅಪಾಯಕಾರಿಯಾಗಿದೆ.

ಮೇಲಿನ 4 ಅಂಶಗಳು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಪಂಪ್‌ನ ಅನ್ವಯದಲ್ಲಿ ಮುಖ್ಯ ಸುರಕ್ಷತಾ ವಿಷಯಗಳಾಗಿವೆ. ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ, ಆಯಿಲ್ ಸೀಲ್ ಮೆಕ್ಯಾನಿಕಲ್ ಪಂಪ್‌ಗಳು ಡ್ರೈ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್‌ಗಳಿಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸುರಕ್ಷತೆಯ ವಿವರಗಳಿಗೆ ಗಮನ ಕೊಡಬೇಕು, ವಿಲೇವಾರಿ ಹೆಚ್ಚು ಸಂಕೀರ್ಣವಾಗಿದೆ. ನಾವು ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್‌ಗಳನ್ನು ಬಳಸುವಾಗ, ಕಂಡಕ್ಟರ್‌ನಲ್ಲಿನ ಸುರಕ್ಷತಾ ಮುನ್ನೆಚ್ಚರಿಕೆಗಳಿಗೆ ನಾವು ಗಮನ ಹರಿಸಬೇಕು ಮತ್ತು ನಂತರ ಬಳಸುವಾಗ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಕೈಪಿಡಿಯಲ್ಲಿ ಉತ್ತಮ ಕೆಲಸವನ್ನು ಮಾಡಬೇಕು. ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯಲ್ಲಿನ ಸಣ್ಣ ಸಮಸ್ಯೆಗಳ ಕಾರಣ, ಔಟ್ಪುಟ್, ದಕ್ಷತೆ ಮತ್ತು ಸುರಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಲಿಂಕ್ ಮಾಡಲಾಗಿದೆ, ನಾವು ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ನ ಸೇವಾ ಜೀವನವನ್ನು ವಿಸ್ತರಿಸಬೇಕು, ಸಮತೋಲನವನ್ನು ಸಂಘಟಿಸಲು ಶ್ರಮಿಸಬೇಕು, ದಕ್ಷತೆ ಮತ್ತು ಸುರಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಬೇಕು.

ವಾಟರ್ ರಿಂಗ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಪಂಪ್ ವಾಲ್ವ್ ಫ್ಲೇಂಜ್ ಸಂಪರ್ಕ ರೂಪ

ಜಂಟಿ ಮೇಲ್ಮೈಯ ಆಕಾರದ ಪ್ರಕಾರ, ಇದನ್ನು ಈ ಕೆಳಗಿನ ಪ್ರಕಾರಗಳಾಗಿ ವಿಂಗಡಿಸಬಹುದು:

1, ಒ-ರಿಂಗ್ ಪ್ರಕಾರ: ಇದು ಹೊಸ ರೀತಿಯ ವಾಟರ್ ರಿಂಗ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಪಂಪ್ ಫ್ಲೇಂಜ್ ಸಂಪರ್ಕ ರೂಪವಾಗಿದೆ, ಇದನ್ನು ವಿವಿಧ ರಬ್ಬರ್ ಒ-ರಿಂಗ್ ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಅನುಸರಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಸಾಮಾನ್ಯ ಫ್ಲಾಟ್ ವಾಷರ್‌ಗಿಂತ ಸೀಲಿಂಗ್ ಪರಿಣಾಮದಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹವಾಗಿದೆ

2, ಟ್ರೆಪೆಜಾಯಿಡಲ್ ಗ್ರೂವ್ ಪ್ರಕಾರ: ವಾಟರ್ ರಿಂಗ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಪಂಪ್ ವಾಲ್ವ್ ಫ್ಲೇಂಜ್ ಸಂಪರ್ಕವನ್ನು ಅಂಡಾಕಾರದ ಲೋಹದ ಉಂಗುರವನ್ನು ತೊಳೆಯುವ ಸಾಧನವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, 64 ಕೆಜಿ / ಸೆಂ 2 ಕವಾಟ ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಕವಾಟವನ್ನು ಕೆಲಸ ಮಾಡಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ

3. ಮೋರ್ಟೈಸ್ ಮತ್ತು ಗ್ರೂವ್ ಪ್ರಕಾರ: ದೊಡ್ಡ ಪ್ಲಾಸ್ಟಿಕ್ ವಿರೂಪದೊಂದಿಗೆ ಗ್ಯಾಸ್ಕೆಟ್ ಅನ್ನು ನಾಶಕಾರಿ ಮಾಧ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಬಳಸಬಹುದು. ವಾಟರ್ ರಿಂಗ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಪಂಪ್‌ನ ಸೀಲಿಂಗ್ ಪರಿಣಾಮವು ಉತ್ತಮವಾಗಿದೆ

4. ಕಾನ್ಕೇವ್ ಮತ್ತು ಪೀನ ಪ್ರಕಾರ: ವಾಟರ್ ರಿಂಗ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಪಂಪ್‌ನ ಕೆಲಸದ ಒತ್ತಡ ಹೆಚ್ಚಾಗಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಹಾರ್ಡ್ ವಾಷರ್ ಅನ್ನು ಬಳಸಬಹುದು

5, ಲೆನ್ಸ್ ಪ್ರಕಾರ: ವಾಷರ್ ಲೋಹದಿಂದ ಮಾಡಿದ ಮಸೂರದ ಆಕಾರವಾಗಿದೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ಒತ್ತಡದ ಕವಾಟಗಳು ಅಥವಾ 100kg/cm2 ಕೆಲಸದ ಒತ್ತಡದೊಂದಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಕವಾಟಗಳು

6, ನಯವಾದ ಪ್ರಕಾರ: ಒತ್ತಡವು ಹೆಚ್ಚಿನ ಕವಾಟವಲ್ಲ, ಸಂಸ್ಕರಣೆ ಹೆಚ್ಚು ಅನುಕೂಲಕರವಾಗಿದೆ

ವಾಟರ್ ರಿಂಗ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಪಂಪ್ ಫ್ಲೇಂಜ್ ಸಂಪರ್ಕವು ಹಲವು ರೂಪಗಳಿವೆ, ಆದರೆ ಅವು ವಿಭಿನ್ನ ಸಂದರ್ಭಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ, ಬಳಕೆಯಲ್ಲಿ, ನಾವು ಸಂದರ್ಭದ ಸೂಕ್ತತೆಗೆ ಗಮನ ಕೊಡಬೇಕು, ಸಂಪರ್ಕದ ಪರಿಣಾಮವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಬೇಕು, ಸಂಪರ್ಕ ವೈಫಲ್ಯಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗುವುದಿಲ್ಲ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ನೀರಿನ ಹಾನಿ ಉಂಟಾಗುತ್ತದೆ ರಿಂಗ್ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್