반도체 공정 안전 문제에 적용되는 진공펌프 수봉식 진공펌프판막플랜지 연결
지난 수십 년 동안 반도체 기술의 급속한 발전과 함께 반도체 장비도 세대를 거듭하며 혁신과 발전을 거듭하고 있습니다. 오늘날 반도체 장비의 제조 및 사용에는 다양한 화학 원소와 첨단 기술의 여러 측면이 포함되며 강력한 기술적 종합성이 있습니다. 이뿐만 아니라, 반도체 장비 기술의 발전은 점차 공정기술의 모듈화를 장비에 접목시켜 고도로 자동화, 고도의 지능화를 이루고, 장비와 공정이 자연스럽게 분리되는 상황을 점차 변화시키며 항상 발전의 선두에 나서고 있다. 반도체 시스템 제조 산업의 특히 중요한 역할을 담당합니다. 반도체 장비의 발전으로 인해 그 응용 분야가 점점 더 넓어지고 있습니다. 다른 전자기기 제조 분야에서도 반도체 장비나 반도체 장비에서 진화한 장비가 다양한 수준으로 채택되어 반도체 장비 응용의 새로운 분야로 자리잡고 있다. 특히 마이크로/나노 전자 장치, 마이크로/나노 광전자 기계 시스템 및 기타 초소형 및 고정밀 제품 제조 분야에서는 전자 부품 개발에 매우 중요한 의미를 갖습니다.
반도체 공정 진공은 주로 증발, 스퍼터링, PECVD, 진공 건식 에칭, 진공 흡착, 테스트 장비, 진공 청소 및 기타 접합 공정에 사용되며, 반도체 생산 및 제조 공정에서는 가연성, 폭발성 및 독성 물질 가스가 쉽게 생성되어 다음과 같은 위협이 됩니다. 생산 및 직원 안전을 위해서는 반도체 진공 펌프를 적용할 때 다음과 같은 몇 가지 안전 문제에 주의를 기울여야 합니다.
1. 과압을 방지하기 위해 일정에 따라 진공 펌프 및 기타 액세서리, 필터 및 파이프를 필터링하고 청소합니다.
반도체 진공펌프를 적용할 경우, 반응챔버와 진공펌프를 통해 추출되는 매질의 구성은 매우 복잡할 수 있습니다. 예를 들어, SiH4와 O2는 펌프 포트에서 SiO2를 형성하고 TiCl4의 가수분해는 HCl을 형성합니다. 오일 시일 방식의 기계식 펌프를 가정하면 이러한 가스 물질도 펌프 오일과 함께 역전될 수 있습니다. 이러한 변화는 진공 펌프나 배관 시스템을 막을 수 있는 입자, 응고성 물질 또는 침식성 매체의 형성을 가정하고, 진공 펌프 기능에 영향을 미치고, 압력 상승 또는 과압을 유발하며, 두 번째 항목에서 언급한 위험이 더 큽니다. 그러므로 제때에 청소를 하고, 필요하다면 여과설비를 설치하는 것이 필요하다.
2, 유해 가스 농도의 효과적인 희석:
반도체는 위에서 언급한 인화성, 폭발성, 독성 및 유해 가스를 생성하기 쉽습니다. 따라서 반도체 진공 펌프를 적용할 때 이러한 매체를 추출할 때 진공 펌프나 배기 공정에서 제어할 수 없는 반응이 발생하는 것을 방지해야 합니다. SiH4, PH3, AsH3, B2H6 및 기타 물질은 공기 또는 산소와 접촉하여 연소 또는 심지어 발생합니다. 수소가스는 공기 중의 혼합비율이 일정 온도에 도달하면 연소되기도 합니다. 그것은 모두 물질의 양과 환경의 압력 및 온도와의 관계에 따라 달라집니다. 따라서 반도체 진공 펌프가 이러한 매체를 추출할 때 질소와 같은 불활성 가스를 사용하여 압축 전에 이러한 가스를 안전한 범위로 희석해야 합니다.
3. 산소 농도에 주의하세요.
공기 중의 산소 농도가 너무 높으면 연소 및 위험이 발생합니다. 따라서 어떤 경우에는 너무 높은 농도를 방지하기 위해 불활성 가스를 사용하여 희석하여 산소 농도에 주의를 기울여야 합니다. 오일 씰 기계식 펌프는 불활성 및 산소 호환 진공 펌프 오일을 사용해야 하고 오일 필터 및 오일 제품을 적시에 교체해야 할 수도 있다고 가정합니다.
4, 온도가 너무 높아지는 것을 방지하십시오.
이 점을 이해하는 것은 쉽습니다. 진공펌프에 반도체를 적용하면 유해한 가스가 더 많아집니다. 건식 진공 펌프가 여전히 오일 씰 기계식 펌프인지 여부에 관계없이 펌프 챔버의 온도가 너무 높고 가연성 및 폭발성 및 듀 가스는 고온에서 쉽게 위험합니다.
위의 4가지 측면은 반도체 진공펌프 적용에 있어 주요 안전사항입니다. 일반적으로 오일 씰 기계식 펌프는 건식 진공 펌프보다 안전 세부 사항에 더 많은 주의를 기울여야 하며 폐기가 더 복잡합니다. 진공 펌프를 사용할 때는 도체의 안전 예방 조치에 주의해야 하며 나중에 사용할 때는 사용 설명서를 잘 따르십시오. 작동, 출력, 효율성 및 안전에 대한 작은 문제가 연결되어 있기 때문에 진공 펌프의 수명을 연장하고 균형을 조정하고 효율성과 안전을 보장하기 위해 노력해야 합니다.
수봉식 진공펌프 밸브 플랜지 연결 형태
관절면의 모양에 따라 다음과 같은 유형으로 나눌 수 있습니다.
1, O-링 유형: 이것은 새로운 유형의 수봉식 진공 펌프 플랜지 연결 형태이며 다양한 고무 O-링이 개발되어 일반 평와셔보다 밀봉 효과가 더 안정적입니다.
2, 사다리꼴 홈 유형: 워터 링 진공 펌프 밸브 플랜지 연결, 타원형 금속 링을 와셔로 사용, 작동 압력 64 kg/cm2 밸브 또는 고온 밸브에 사용
3. 장붓 구멍 및 홈 유형 : 소성 변형이 큰 개스킷은 부식성 매체에 사용할 수 있습니다. 수봉식 진공 펌프의 밀봉 효과가 더 좋습니다.
4. 오목형 및 볼록형: 수봉식 진공 펌프의 작동 압력이 더 높으며 하드 와셔를 사용할 수 있습니다.
5, 렌즈 유형: 와셔는 금속으로 만들어진 렌즈의 모양입니다. 작동 압력이 100kg/cm2인 고압 밸브 또는 고온 밸브
6, 부드러운 유형: 압력이 높지 않은 밸브이므로 처리가 더 편리합니다.
수봉식 진공 펌프 플랜지 연결에는 다양한 형태가 있지만 상황이 다르므로 사용 시 상황의 적합성에 주의를 기울여야 하며 연결 효과를 확인하고 연결 실패를 유발하여 물이 손상되지 않도록 해야 합니다. 링 진공 펌프
게시 시간: 2023년 1월 7일
