Жарым өткөргүч процессине колдонулган вакуум насосу суу шакекчеси вакуумдук насостун коопсуздугуна байланыштууклапанфланец байланышы
Акыркы ондогон жылдар аралыгында жарым өткөргүч технологиясын тез өнүктүрүү менен жарым өткөргүч жабдуулар муундан муунга инновация жана өнүгүү болуп саналат. Бүгүнкү күндө жарым өткөргүч жабдууларды өндүрүү жана колдонуу ар кандай химиялык элементтерди жана күчтүү техникалык комплекстүү жогорку технологиянын башка көптөгөн аспектилерин камтыйт. Ушундай эле эмес, жарым өткөргүч жабдуулардын технологиясын иштеп чыгуу процесс технологиясын модулдаштырууну акырындык менен жабдууга интеграциялап, аны жогорку автоматташтырылган жана жогорку акылдуу кылып, жабдууларды жана процессти табигый бөлүү абалын акырындык менен өзгөртүп, ар дайым өнүгүүнүн алдыңкы сабында жүрөт. өзгөчө маанилүү ролду ойногон жарым өткөргүч системасын өндүрүү өнөр жайынын. Жарым өткөргүч жабдуулардын андан ары өнүгүшү менен анын колдонуу чөйрөсү барган сайын кеңири болуп жатат. Электрондук түзүлүштөрдү өндүрүүнүн башка тармактарында жарым өткөргүч жабдуулар же жарым өткөргүч жабдуулардан өнүккөн жабдуулар да жарым өткөргүч жабдууларды колдонуунун жаңы тармагына айланып, ар кандай деңгээлде кабыл алынат. Айрыкча микро/нано-электрондук аппараттар, микро/нано оптоэлектромеханикалык системалар жана башка продуктыларды өндүрүү тармагында өтө кичинекей жана жогорку тактыкта, ал электрондук компоненттерди өнүктүрүү үчүн өтө маанилүү мааниге ээ.
Жарым өткөргүч процесси вакуум негизинен буулантууда, чачыратууда, PECVD, вакуумдук кургак оюу, вакуумдук адсорбцияда, сыноо жабдууларында, вакуумдук тазалоодо жана башка байланыш процесстеринде колдонулат, жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү жана өндүрүш процессинде оңой күйүүчү, жарылуучу жана уулуу материал газын пайда кылат, өндүрүш жана кызматкерлердин коопсуздугу, ошондуктан, жарым өткөргүч вакуумдук насосту колдонууда бир нече коопсуздук маселелерине көңүл буруу керек:
1. Ашыкча басымды болтурбоо үчүн вакуумдук насосту жана башка аксессуарларды, чыпкаларды жана түтүктү график боюнча чыпкалаңыз жана тазалаңыз:
Жарым өткөргүчтүү вакуумдук насосту колдонууда реакция камерасы жана вакуумдук насос аркылуу алынган чөйрөнүн курамы өтө татаал болушу мүмкүн. Мисалы, SiH4 жана O2 насостун портунда SiO2, ал эми TiCl4 гидролизинде HCl пайда болот; мунай мөөр түрү механикалык насос деп ойлосок, бул газ заттар, ошондой эле насостук май менен тескери болушу мүмкүн. Бул өзгөртүүлөр бөлүкчөлөрдүн, коагуляциялык материалдын же эрозиялык чөйрөнүн пайда болушун болжолдойт, алар вакуумдук насосту же түтүк тутумун жабышы мүмкүн, вакуумдук насостун иштешине таасир этет, басымдын көтөрүлүшүнө же ашыкча басымга алып келиши мүмкүн жана экинчи пунктта айтылган коркунуч көбүрөөк. Андыктан өз убагында тазалап, керек учурда чыпкалоочу жабдууларды орнотуу зарыл.
2, зыяндуу газ концентрациясын натыйжалуу суюлтуу:
Жарым өткөргүч жогоруда айтылган күйүүчү жана жарылуучу, уулуу жана зыяндуу газдарды чыгарууга жакын. Ошондуктан, жарым өткөргүчтүү вакуумдук насосту колдонууда, бул чөйрөлөрдү бөлүп алууда, алардын вакуумдук насосто же соргуч процессинде башкарылбаган реакциялардын болушуна жол бербөө керек. Мындай SiH4, PH3, AsH3, B2H6 жана башка заттар, аба же кычкылтек менен байланышта, күйүү же ал тургай себеп болот; Суутек газы да абадагы аралашма катышы белгилүү бир температурага жеткенде күйөт. Мунун баары заттын көлөмүнө жана анын чөйрөнүн басымына жана температурасына болгон мамилесинен көз каранды. Ошондуктан, жарым өткөргүчтүү вакуумдук насос бул чөйрөлөрдү чыгарып жатканда, кысуу алдында бул газдарды коопсуз диапазонго суюлтуу үчүн азот сыяктуу инерттүү газды колдонуу керек.
3. Кычкылтектин концентрациясына көңүл буруңуз:
Абада кычкылтек өтө жогору болсо, күйүү жана коркунуч пайда болот. Ошондуктан, кээ бир учурларда, кычкылтектин концентрациясына көңүл буруу керек, суюлтуу үчүн инерттүү газды колдонуу, өтө жогорку концентрацияга жол бербөө үчүн; мунай мөөр механикалык насос, ошондой эле кээ бир инерттүү жана кычкылтек шайкеш вакуумдук насостун майын колдонуу керек болушу мүмкүн деп ойлосок, мунай чыпкалары жана мунай продуктыларын өз убагында алмаштыруу.
4, өтө жогору температуранын алдын алуу:
Бул пунктту түшүнүү оңой. Вакуумдук насосто жарым өткөргүчтү колдонууда зыяндуу газдар көбүрөөк болот. кургак вакуумдук насос дагы бир мунай мөөр механикалык насос болобу, насостук камеранын температурасы өтө жогору, жана күйүүчү жана жарылуучу жана ду газ жонокой жогорку температурада коркунучтуу болот.
Жогорудагы 4 аспект жарым өткөргүчтүү вакуумдук насосту колдонуудагы негизги коопсуздук маселелери болуп саналат. Жалпысынан алганда, мунай мөөр механикалык насостор кургак боштук насосторуна караганда көбүрөөк коопсуздук деталдарына көңүл буруу керек, утилдештирүү татаалыраак. Биз вакуумдук насосторду колдонгондо, өткөргүчтөгү коопсуздук чараларына көңүл бурушубуз керек жана кийинчерээк колдонууда эксплуатация боюнча колдонмодо жакшы иш кылышыбыз керек. Иштетүү, чыгаруу, натыйжалуулук жана коопсуздук боюнча кичинекей көйгөйлөрдөн улам, биз вакуумдук насостун кызмат мөөнөтүн узартып, балансты координациялоого, натыйжалуулукту жана коопсуздукту камсыз кылууга умтулушубуз керек.
Суу шакек боштук насос клапан фланец байланыш түрү
Муун бетинин формасы боюнча, ал төмөнкүдөй түрлөргө бөлүнөт:
1, O-шакек түрү: бул суу шакек вакуумдук насостун фланецти туташтыруу формасынын жаңы түрү, андан кийин ар кандай резина O-шакекчеси иштеп чыгат, ал жалпы жалпак шайбага караганда мөөр басуу эффектинде ишенимдүү
2, trapezoidal оюгу түрү: жуугуч катары сүйрү металл шакек менен суу шакек вакуум насос клапан фланец байланыш, жумушчу басымы 64 кг / см2 клапан же жогорку температура клапан үчүн колдонулат
3. Mortise жана Groove түрү: ири пластикалык деформация менен прокладка дат чөйрөдө колдонулушу мүмкүн. Суу шакек боштук насостун мөөр таасири жакшыраак
4. Ойгон жана томпок түрү: суу шакек боштук насостун жумушчу басымы жогору, жана катуу шайба колдонсо болот
5, линзанын түрү: шайба металлдан жасалган линзанын формасы. Жогорку басымдагы клапандар же 100кг/см2 жумушчу басымы бар жогорку температурадагы клапандар
6, жылмакай түрү: басым үчүн жогорку клапан эмес, кайра иштетүү ыңгайлуураак
Суу шакекчесинин вакуумдук насостун фланецинин туташтырылышынын көптөгөн формалары бар, бирок алар ар кандай учурларга ээ, колдонууда биз учурдун ылайыктуулугуна көңүл бурушубуз керек, туташуунун эффективдүүлүгүн камсыз кылуу, туташуу үзгүлтүккө учурабашы керек, натыйжада суу бузулат. шакекче вакуумдук насос
Посттун убактысы: 07-январь 2023-ж
