Vakuum Pompel applizéiert semiconductor Prozess Sécherheet Saache Waasser Ring Vakuum Pompelventilflens Verbindung
An de leschte Joerzéngte, mat der rapider Entwécklung vun der Halbleitertechnologie, ass Halbleiterausrüstung och a Generatioun no Generatioun Innovatioun an Entwécklung. Hautdesdaags beinhalt d'Fabrikatioun an d'Benotzung vun Halbleiterausrüstung eng Vielfalt vu chemeschen Elementer a vill aner Aspekter vun der High-Technologie, mat engem staarken techneschen Ëmfang. Net nëmmen als solch, integréiert d'Entwécklung vun der Halbleiterausrüstungstechnologie lues a lues d'Prozesstechnologie Modulariséierung an d'Ausrüstung, sou datt et héich automatiséiert an héich intelligent ass, lues a lues d'Situatioun vun der natierlecher Trennung vun Ausrüstung a Prozess verännert, an ëmmer an der Spëtzt vun der Entwécklung geet. vun der semiconductor System Fabrikatioun Industrie, spillt eng besonnesch wichteg Roll. Mat der Weiderentwécklung vun Halbleiterausrüstung gëtt säin Uwendungsfeld ëmmer méi breet. An aneren elektronesche Geräter Fabrikatiounsfelder, Halbleiterausrüstung oder Ausrüstung evoluéiert aus Halbleiterausrüstung ginn och a verschiddene Grad ugeholl, an en neit Feld vun der Halbleiterausrüstungsapplikatioun ginn. Besonnesch am Mikro / Nano elektronesch Apparater, Mikro / Nano optoelektromechanesch Systemer an aner Produkter Fabrikatioun Beräich vun extrem kleng Gréisst an héich Präzisioun, huet et extrem wichteg Bedeitung fir d'Entwécklung vun elektronesche Komponente.
Semiconductor Prozess Vakuum gëtt haaptsächlech an Verdampfung benotzt, Sputtering, PECVD, Vakuum Trocken Ässung, Vakuum Adsorptioun, Testausrüstung, Staubsauger an aner Bindungsprozesser, Hallefleitproduktioun a Fabrikatiounsprozess liicht brennbar, explosiv an gëfteg Materialgas produzéieren, wäert eng Gefor stellen fir Produktioun a Personal Sécherheet, dofir, der Applikatioun vun semiconductor Vakuum Pompel muss Opmierksamkeet op verschidde Sécherheet Themen bezuelen:
1. Filter a propper Vakuumpompel an aner Accessoiren, Filter a Päif op Zäitplang fir Iwwerdrock ze vermeiden:
Bei der Uwendung vun der Halbleiter Vakuumpompel kann d'Zesummesetzung vum Medium, dat duerch d'Reaktiounskammer an d'Vakuumpompel extrahéiert gëtt, extrem komplex sinn. Zum Beispill bilden SiH4 an O2 SiO2 am Pompelhafen, an d'Hydrolyse vun TiCl4 wäert HCl bilden; Unzehuelen, datt d'Ueleg Sigel Typ mechanesch Pompel, dës Gas Substanzen kann och mat der Pompel Ueleg ëmgedréint ginn. Dës Ännerungen iwwerhuelen d'Bildung vu Partikelen, koaguléierbar Material oder erosive Medien, déi d'Vakuumpompel oder d'Päifsystem verstoppen kënnen, d'Vakuumpompelfunktioun beaflossen, Drockerhéijung oder Iwwerdrock verursaachen, an de Risiko ernimmt am zweete Punkt ass méi grouss. Dofir ass et néideg Zäit ze botzen, a Filterausrüstung opzestellen wann néideg.
2, effektiv Verdünnung vu schiedleche Gaskonzentratioun:
Semiconductor ass ufälleg fir déi uewe genannte brennbar an explosiv, gëfteg a schiedlech Gase ze produzéieren. Dofir, bei der Uwendung vun der Halbleiter Vakuumpompel, wann Dir dës Medien extrahéiert, ass et néideg ze verhënneren datt se e puer onkontrolléierbar Reaktiounen an der Vakuumpompel oder am Auspuffprozess hunn. Wéi SiH4, PH3, AsH3, B2H6 an aner Substanzen, a Kontakt mat Loft oder Sauerstoff, verursaache Verbrennung oder souguer; Waasserstoffgas verbrennt och wann d'Mëschungsverhältnis an der Loft eng gewëssen Temperatur erreecht. Et hänkt alles vun der Quantitéit vun der Substanz a senger Relatioun zum Drock an der Temperatur vun der Ëmwelt of. Dofir, wann d'Halbleiter Vakuumpompel dës Medien extrahéiert, muss se en Inertgas benotzen, wéi Stickstoff, fir dës Gase bis zu engem séchere Beräich virum Kompressioun ze verdënnen.
3. Opgepasst op d'Konzentratioun vu Sauerstoff:
Wann Sauerstoff an der Loft ze héich ass, entsteet Verbrennung a Risiko. Dofir, an e puer Fäll, Opmierksamkeet sollt op d'Konzentratioun vu Sauerstoff bezuelt ginn, benotzt Inertgas fir ze verdënnen, fir ze héich Konzentratioun ze vermeiden; Unzehuelen, datt d'Ueleg Sigel mechanesch Pompel kann och e puer inert a Sauerstoff kompatibel Vakuum Pompel Ueleg ze benotzen brauchen, an rechtzäiteg Ersatz vun Ueleg Filtere an Ueleg Produiten.
4, verhënneren d'Temperatur ze héich:
Et ass einfach dëse Punkt ze verstoen. Bei der Applikatioun vum Halbleiter an der Vakuumpompel ginn et méi schiedlech Gase. Ob dréchen Vakuum Pompel nach eng Ueleg Sigel mechanesch Pompel ass, ass d'Temperatur an der Pompel Chamber ze héich, an flammable an explosive an du Gas liicht geféierlech bei héich Temperatur.
Déi uewe 4 Aspekter sinn d'Haaptsécherheetsfroen an der Uwendung vun der Halbleiter Vakuumpompel. Am Allgemengen, Ueleg Sigel mechanesch Pompelen brauchen Opmierksamkeet op méi Sécherheet Detailer ze bezuelen wéi dréchen Vakuum Pompelen, Entsuergung ass méi komplex. Wann mir Vakuum Pompelen benotzen, musse mir oppassen op d'Sécherheetsmesuren am Dirigent, a maachen eng gutt Aarbecht am Operatiounshandbuch wann Dir spéider benotzt. Wéinst de klenge Probleemer op der Operatioun, d'Ausgab, d'Effizienz a d'Sécherheet verbonne sinn, solle mir d'Liewensdauer vun der Vakuumpompel verlängeren, ustriewen fir d'Gläichgewiicht ze koordinéieren, d'Effizienz a Sécherheet ze garantéieren.
Waasser Ring Vakuum Pompel Krunn Flange Verbindung Form
No der Form vun der gemeinsamer Uewerfläch, kann et an déi folgend Zorte ënnerdeelt ginn:
1, O-Ring Typ: Dëst ass eng nei Zort Waasserring Vakuum Pompel Flange Verbindungsform, ass gefollegt vun enger Vielfalt vu Gummi O-Ring Entwécklung, et ass méi zouverlässeg am Dichtungseffekt wéi déi allgemeng flaach Wäschmaschinn
2, trapezoidal Groove Typ: Waasserring Vakuum Pompel Ventil Flangeverbindung mat ovalen Metallring als Wäschmaschinn, benotzt fir Aarbechtsdrock 64 kg/cm2 Ventil oder Héichtemperaturventil
3. Mortise a Groove Typ: D'Dichtung mat grousser Plastiksverformung kann am korrosive Medium benotzt ginn. D'Versiegelungseffekt vun der Waasserring Vakuumpompel ass besser
4. Konkav a konvex Typ: den Aarbechtsdrock vun der Waasserring Vakuumpompel ass méi héich, an déi haart Wäschmaschinn ka benotzt ginn
5, Objektivtyp: D'Wäschmaschinn ass d'Form vun der Lens, aus Metall. Héichdrockventile oder Héichtemperaturventile mat Aarbechtsdrock vun 100kg/cm2
6, glat Typ: fir den Drock ass net héich Krunn, Veraarbechtung méi bequem
Waasserring Vakuum Pompel Flangeverbindung ass et vill Formen, awer si hu verschidden Occasiounen, am Gebrauch, sollte mir op d'Eegeschaft vun der Occasioun oppassen, den Effekt vun der Verbindung garantéieren, verursaache keng Verbindungsfehler, wat zu Schued am Waasser resultéiert Ring Vakuum Pompel
Post Zäit: Jan-07-2023
