Vakuuminis siurblys, naudojamas puslaidininkių proceso saugos klausimais, vandens žiedo vakuuminis siurblysvožtuvasflanšinis sujungimas
Per pastaruosius dešimtmečius, sparčiai tobulėjant puslaidininkių technologijoms, puslaidininkinė įranga taip pat kartos po kartos naujovių ir plėtros. Šiais laikais puslaidininkinės įrangos gamyba ir naudojimas apima įvairius cheminius elementus ir daugelį kitų aukštųjų technologijų aspektų, turinčių tvirtą techninę visapusę. Puslaidininkinės įrangos technologijos plėtra palaipsniui integruoja proceso technologijos moduliavimą į įrangą, todėl ji tampa labai automatizuota ir labai protinga, palaipsniui keičiant natūralaus įrangos ir proceso atskyrimo situaciją ir visada žengiant plėtros priešakyje. puslaidininkių sistemų gamybos pramonė, atliekanti ypatingą svarbų vaidmenį. Toliau tobulėjant puslaidininkinei įrangai, jos taikymo sritis tampa vis platesnė. Kitose elektroninių prietaisų gamybos srityse puslaidininkinė įranga arba įranga, sukurta iš puslaidininkinės įrangos, taip pat įvairiu laipsniu taikoma ir tampa nauja puslaidininkinės įrangos taikymo sritimi. Ypač mažo dydžio ir didelio tikslumo mikro/nano elektroninių prietaisų, mikro/nano optoelektromechaninių sistemų ir kitų gaminių gamybos srityje tai turi itin didelę reikšmę elektroninių komponentų plėtrai.
Puslaidininkinio proceso vakuumas daugiausia naudojamas garinimui, purškimui, PECVD, vakuuminiam sausam ėsdinimui, vakuuminei adsorbcijai, bandymo įrangai, vakuuminiam valymui ir kitiems sujungimo procesams, puslaidininkių gamybos ir gamybos procese lengvai susidaro degios, sprogios ir toksiškos medžiagos dujos, kels grėsmę gamybos ir personalo sauga, todėl taikant puslaidininkinį vakuuminį siurblį reikia atkreipti dėmesį į keletą saugos dalykų:
1. Filtruokite ir išvalykite vakuuminį siurblį ir kitus priedus, filtrą ir vamzdį pagal grafiką, kad išvengtumėte per didelio slėgio:
Taikant puslaidininkinį vakuuminį siurblį, per reakcijos kamerą ir vakuuminį siurblį ekstrahuojamos terpės sudėtis gali būti labai sudėtinga. Pavyzdžiui, SiH4 ir O2 sudaro SiO2 siurblio angoje, o TiCl4 hidrolizė sudarys HCl; Darant prielaidą, kad alyvos sandariklio tipo mechaninis siurblys, šios dujų medžiagos taip pat gali būti apverstos su siurblio alyva. Dėl šių pokyčių susidaro dalelės, koaguliuojančios medžiagos ar erozinės terpės, kurios gali užkimšti vakuuminį siurblį ar vamzdynų sistemą, paveikti vakuuminio siurblio funkciją, sukelti slėgio padidėjimą arba perteklinį slėgį, o antrame punkte nurodyta rizika yra didesnė. Todėl būtina laiku išvalyti, o esant reikalui įrengti filtravimo įrangą.
2, efektyvus kenksmingų dujų koncentracijos praskiedimas:
Puslaidininkis yra linkęs gaminti aukščiau minėtas degias ir sprogias, toksiškas ir kenksmingas dujas. Todėl, naudojant puslaidininkinį vakuuminį siurblį, ištraukiant šias terpes, būtina užkirsti kelią tam, kad vakuuminiame siurblyje ar išmetimo procese nevyktų nekontroliuojamos reakcijos. Tokios kaip SiH4, PH3, AsH3, B2H6 ir kitos medžiagos, susilietus su oru ar deguonimi, sukels degimą ar net; Vandenilio dujos taip pat dega, kai mišinio santykis ore pasiekia tam tikrą temperatūrą. Viskas priklauso nuo medžiagos kiekio ir jos santykio su aplinkos slėgiu ir temperatūra. Todėl, kai puslaidininkinis vakuuminis siurblys ištraukia šias terpes, jam reikia naudoti inertines dujas, pvz., azotą, kad šios dujos būtų praskiestos iki saugaus diapazono prieš suspaudimą.
3. Atkreipkite dėmesį į deguonies koncentraciją:
Jei ore yra per daug deguonies, kils degimas ir pavojus. Todėl kai kuriais atvejais reikia atkreipti dėmesį į deguonies koncentraciją, skiesti naudojant inertines dujas, kad būtų išvengta per didelės koncentracijos; Darant prielaidą, kad alyvos sandariklio mechaniniam siurbliui taip pat gali tekti naudoti inertinę ir deguonį suderinamą vakuuminio siurblio alyvą ir laiku pakeisti alyvos filtrus bei naftos produktus.
4, neleiskite per aukštai temperatūrai:
Šį dalyką lengva suprasti. Naudojant puslaidininkį vakuuminiame siurblyje, yra daugiau kenksmingų dujų. Nesvarbu, ar sausas vakuuminis siurblys vis dar yra mechaninis siurblys su alyvos sandarikliu, temperatūra siurblio kameroje yra per aukšta, o degios ir sprogios dujos gali būti lengvai pavojingos aukštoje temperatūroje.
Pirmiau minėti 4 aspektai yra pagrindiniai saugos dalykai taikant puslaidininkinį vakuuminį siurblį. Apskritai, alyvos sandariklio mechaniniai siurbliai turi atkreipti dėmesį į daugiau saugos detalių nei sausieji vakuuminiai siurbliai, todėl šalinimas yra sudėtingesnis. Kai naudojame vakuuminius siurblius, turime atkreipti dėmesį į saugos priemones laidininke ir atlikti gerą darbą pagal naudojimo vadovą, kai naudosime vėliau. Dėl nedidelių veikimo, našumo, efektyvumo ir saugos problemų yra susiję, turėtume pratęsti vakuuminio siurblio tarnavimo laiką, siekti suderinti pusiausvyrą, užtikrinti efektyvumą ir saugumą.
Vandens žiedo vakuuminio siurblio vožtuvo flanšo jungties forma
Pagal jungties paviršiaus formą jį galima suskirstyti į šiuos tipus:
1, sandarinimo žiedo tipas: tai naujo tipo vandens žiedo vakuuminio siurblio flanšo jungties forma, po kurios yra įvairių guminių sandarinimo žiedų, jis yra patikimesnis sandarinimo poveikiu nei bendra plokščia poveržlė
2, trapecijos formos griovelio tipas: vandens žiedo vakuuminio siurblio vožtuvo flanšo jungtis su ovaliu metaliniu žiedu kaip poveržle, naudojamas darbiniam slėgiui 64 kg/cm2 vožtuvui arba aukštos temperatūros vožtuvui
3. Įpjovos ir griovelio tipas: Didelės plastinės deformacijos tarpinę galima naudoti korozinėje terpėje. Vandens žiedo vakuuminio siurblio sandarinimo efektas yra geresnis
4. Įgaubtas ir išgaubtas tipas: vandens žiedinio vakuuminio siurblio darbinis slėgis yra didesnis, galima naudoti kietą poveržlę
5, objektyvo tipas: poveržlė yra objektyvo formos, pagaminta iš metalo. Aukšto slėgio vožtuvai arba aukštos temperatūros vožtuvai, kurių darbinis slėgis yra 100 kg/cm2
6, lygus tipas: nes slėgis nėra aukštas vožtuvas, apdorojimas yra patogesnis
Vandens žiedo vakuuminio siurblio flanšo jungtis yra daug formų, tačiau jos būna skirtingos, naudojant, turėtume atkreipti dėmesį į progos tinkamumą, užtikrinti jungties poveikį, nesukelti jungties gedimo, dėl kurio gali būti pažeistas vanduo žiedinis vakuuminis siurblys
Paskelbimo laikas: 2023-07-07
