Vakuuma sūknis, ko izmanto pusvadītāju procesa drošības jautājumos, ir ūdens gredzena vakuuma sūknisvārstsatloka savienojums
Pēdējo desmitgažu laikā, strauji attīstoties pusvadītāju tehnoloģijām, pusvadītāju iekārtas ir arī jauninājumi un attīstība no paaudzes paaudzē. Mūsdienās pusvadītāju iekārtu ražošana un izmantošana ietver dažādus ķīmiskos elementus un daudzus citus augsto tehnoloģiju aspektus ar spēcīgu tehnisko visaptverošu. Ne tikai kā tāda, pusvadītāju iekārtu tehnoloģiju attīstība pakāpeniski integrē iekārtā procesa tehnoloģiju modularizāciju, padarot to ļoti automatizētu un ļoti inteliģentu, pakāpeniski mainot iekārtu un procesa dabiskās atdalīšanas situāciju un vienmēr ejot attīstības priekšgalā. pusvadītāju sistēmu ražošanas nozarē, kam ir īpaša nozīme. Pusvadītāju iekārtu tālākai attīstībai to pielietojuma lauks kļūst arvien plašāks. Citās elektronisko ierīču ražošanas jomās pusvadītāju iekārtas vai iekārtas, kas attīstījušās no pusvadītāju iekārtām, arī tiek pieņemtas dažādās pakāpēs, kļūstot par jaunu pusvadītāju iekārtu pielietojuma jomu. Īpaši mikro/nano elektronisko ierīču, mikro/nano optoelektromehānisko sistēmu un citu ārkārtīgi maza izmēra un augstas precizitātes produktu ražošanas jomā tam ir ārkārtīgi liela nozīme elektronisko komponentu attīstībā.
Pusvadītāju procesa vakuumu galvenokārt izmanto iztvaicēšanai, izsmidzināšanai, PECVD, vakuuma sausai kodināšanai, vakuuma adsorbcijai, testa iekārtām, vakuuma tīrīšanai un citos savienošanas procesos, pusvadītāju ražošanas un ražošanas procesā viegli rodas uzliesmojoša, sprādzienbīstama un toksiska materiāla gāze, radīs draudus ražošanas un personāla drošībai, tāpēc, pielietojot pusvadītāju vakuumsūkni, ir jāpievērš uzmanība vairākiem drošības jautājumiem:
1. Filtrējiet un notīriet vakuumsūkni un citus piederumus, filtru un cauruli pēc grafika, lai izvairītos no pārspiediena:
Lietojot pusvadītāju vakuumsūkni, caur reakcijas kameru un vakuumsūkni ekstrahētās vides sastāvs var būt ārkārtīgi sarežģīts. Piemēram, SiH4 un O2 veido SiO2 sūkņa pieslēgvietā, un TiCl4 hidrolīze veidos HCl; Pieņemot, ka eļļas blīvējuma tipa mehāniskais sūknis, šīs gāzes vielas var arī apgriezt ar sūkņa eļļu. Šīs izmaiņas paredz daļiņu, koagulējamu materiālu vai erozīvu vielu veidošanos, kas var aizsprostot vakuumsūkni vai cauruļvadu sistēmu, ietekmēt vakuumsūkņa darbību, izraisīt spiediena paaugstināšanos vai pārspiedienu, un otrajā punktā minētais risks ir lielāks. Tāpēc ir savlaicīgi jāveic tīrīšana un nepieciešamības gadījumā jāuzstāda filtrēšanas iekārtas.
2, efektīva kaitīgās gāzes koncentrācijas atšķaidīšana:
Pusvadītāji var radīt iepriekš minētās viegli uzliesmojošas un sprādzienbīstamas, toksiskas un kaitīgas gāzes. Tāpēc, pielietojot pusvadītāju vakuumsūkni, ekstrahējot šīs vides, ir jānovērš nekontrolējamas reakcijas vakuumsūknī vai izplūdes procesā. Piemēram, SiH4, PH3, AsH3, B2H6 un citas vielas, nonākot saskarē ar gaisu vai skābekli, izraisa degšanu vai pat; Ūdeņraža gāze deg arī tad, kad maisījuma attiecība gaisā sasniedz noteiktu temperatūru. Tas viss ir atkarīgs no vielas daudzuma un tā attiecības ar apkārtējās vides spiedienu un temperatūru. Tāpēc, kad pusvadītāju vakuumsūknis ekstrahē šīs vides, tam ir jāizmanto inerta gāze, piemēram, slāpeklis, lai pirms saspiešanas šīs gāzes atšķaidītu līdz drošam diapazonam.
3. Pievērsiet uzmanību skābekļa koncentrācijai:
Ja skābeklis gaisā ir pārāk augsts, rodas aizdegšanās un risks. Tāpēc atsevišķos gadījumos jāpievērš uzmanība skābekļa koncentrācijai, atšķaidīšanai izmantojot inertu gāzi, lai novērstu pārāk augstu koncentrāciju; Pieņemot, ka eļļas blīvējuma mehāniskajam sūknim, iespējams, būs jāizmanto arī kāda inerta un ar skābekli saderīga vakuumsūkņa eļļa, kā arī savlaicīgi jānomaina eļļas filtri un naftas produkti.
4, novērsiet pārāk augstu temperatūru:
Šo punktu ir viegli saprast. Lietojot pusvadītāju vakuumsūknī, ir vairāk kaitīgu gāzu. Neatkarīgi no tā, vai sausais vakuumsūknis joprojām ir eļļas blīvējuma mehāniskais sūknis, temperatūra sūkņa kamerā ir pārāk augsta, un viegli uzliesmojoša un sprādzienbīstama gāze ir viegli bīstama augstā temperatūrā.
Iepriekš minētie 4 aspekti ir galvenie drošības jautājumi, izmantojot pusvadītāju vakuumsūkni. Parasti eļļas blīvējuma mehāniskajiem sūkņiem ir jāpievērš lielāka uzmanība drošības detaļām nekā sausajiem vakuumsūkņiem, jo iznīcināšana ir sarežģītāka. Lietojot vakuumsūkņus, mums ir jāpievērš uzmanība drošības piesardzības pasākumiem vadītājā un, izmantojot vēlāk, labi jārīkojas ekspluatācijas rokasgrāmatā. Tā kā ir nelielas darbības, jaudas, efektivitātes un drošības problēmas, mums ir jāpagarina vakuuma sūkņa kalpošanas laiks, jācenšas saskaņot līdzsvaru, nodrošināt efektivitāti un drošību.
Ūdens gredzena vakuumsūkņa vārsta atloka savienojuma forma
Pēc savienojuma virsmas formas to var iedalīt šādos veidos:
1, O veida gredzena tips: tas ir jauna veida ūdens gredzena vakuumsūkņa atloka savienojuma veids, kam seko dažādi gumijas O veida gredzeni, tas ir uzticamāks blīvēšanas efektā nekā vispārējā plakanā paplāksne.
2, trapecveida rievas tips: ūdens gredzena vakuumsūkņa vārsta atloka savienojums ar ovālu metāla gredzenu kā paplāksni, izmanto darba spiediena 64 kg/cm2 vārstam vai augstas temperatūras vārstam
3. Iedobes un rievas tips: blīvi ar lielu plastisko deformāciju var izmantot korozīvā vidē. Ūdens gredzena vakuuma sūkņa blīvējuma efekts ir labāks
4. Ieliekts un izliekts tips: ūdens gredzena vakuumsūkņa darba spiediens ir lielāks, un var izmantot cieto paplāksni.
5, objektīva tips: paplāksne ir objektīva forma, izgatavota no metāla. Augstspiediena vārsti vai augstas temperatūras vārsti ar darba spiedienu 100kg/cm2
6, gluds veids: spiedienam nav augsts vārsts, apstrāde ir ērtāka
Ūdens gredzena vakuumsūkņa atloka savienojumam ir daudz formu, taču tiem ir dažādi gadījumi, lietojot, mums vajadzētu pievērst uzmanību gadījuma piemērotībai, nodrošināt savienojuma efektu, neizraisīt savienojuma kļūmi, kā rezultātā tiek sabojāts ūdens. gredzenveida vakuuma sūknis
Publicēšanas laiks: 07.01.2023
