Хагас дамжуулагчийн үйл явцын аюулгүй байдлын асуудалд ашигладаг вакуум насос нь усны цагирагтай вакуум насос юмхавхлагафланцын холболт
Сүүлийн хэдэн арван жилд хагас дамжуулагчийн технологи хурдацтай хөгжихийн хэрээр хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмж ч үе дараалан шинэчлэгдэж, хөгжиж байна. Өнөө үед хагас дамжуулагч төхөөрөмжийг үйлдвэрлэх, ашиглах нь олон төрлийн химийн элементүүд болон өндөр технологийн бусад олон талыг хамардаг бөгөөд хүчирхэг техникийн цогц юм. Түүгээр ч зогсохгүй хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн технологийн хөгжил нь процессын технологийн модулчлалтыг тоног төхөөрөмжид аажмаар нэгтгэж, өндөр автоматжуулсан, өндөр ухаалаг болгож, тоног төхөөрөмж, процессын байгалийн тусгаарлах байдлыг аажмаар өөрчилж, хөгжлийн тэргүүн эгнээнд үргэлж алхаж байна. онцгой чухал үүрэг гүйцэтгэдэг хагас дамжуулагч системийн үйлдвэрлэлийн салбарын . Хагас дамжуулагч төхөөрөмжийг цаашид хөгжүүлэхийн хэрээр түүний хэрэглээний талбар улам бүр өргөн болж байна. Цахим төхөөрөмжийн үйлдвэрлэлийн бусад салбарт хагас дамжуулагч төхөөрөмж эсвэл хагас дамжуулагч төхөөрөмжөөс үүссэн тоног төхөөрөмжийг янз бүрийн түвшинд хэрэглэж, хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн хэрэглээний шинэ талбар болж байна. Ялангуяа микро/нано электрон төхөөрөмж, микро/нано оптоэлектромеханик систем болон бусад бүтээгдэхүүний үйлдвэрлэлийн салбарт маш жижиг хэмжээтэй, өндөр нарийвчлалтай электрон эд ангиудыг хөгжүүлэхэд маш чухал ач холбогдолтой юм.
Хагас дамжуулагч процессын вакуумыг ууршилт, шүрших, PECVD, вакуум хуурай сийлбэр, вакуум шингээлт, туршилтын төхөөрөмж, вакуум цэвэрлэгээ болон бусад холбох процессуудад ашигладаг, хагас дамжуулагчийг үйлдвэрлэх, үйлдвэрлэх үйл явц нь шатамхай, тэсэрч дэлбэрэх, хорт бодисыг амархан үйлдвэрлэхэд аюул учруулах болно. Үйлдвэрлэлийн болон ажилчдын аюулгүй байдлын үүднээс хагас дамжуулагч вакуум насосыг ашиглахдаа аюулгүй байдлын хэд хэдэн асуудалд анхаарлаа хандуулах хэрэгтэй.
1. Хэт даралтаас зайлсхийхийн тулд вакуум насос болон бусад хэрэгслүүд, шүүлтүүр, хоолойг хуваарийн дагуу шүүж, цэвэрлэ.
Хагас дамжуулагч вакуум насосыг хэрэглэх үед урвалын камер ба вакуум насосоор дамжуулан гаргаж авсан орчны найрлага нь маш нарийн төвөгтэй байж болно. Жишээлбэл, SiH4 ба O2 нь шахуургын порт дээр SiO2 үүсгэдэг ба TiCl4-ийн гидролиз нь HCl-ийг үүсгэдэг; Газрын тосны лацын төрлийн механик насос гэж үзвэл эдгээр хийн бодисууд нь насосны тостой хамт урвуу байж болно. Эдгээр өөрчлөлтүүд нь тоосонцор, коагуляцтай материал эсвэл элэгдлийн орчин үүсэх бөгөөд энэ нь вакуум насос эсвэл хоолойн системийг бөглөрөх, вакуум насосны үйл ажиллагаанд нөлөөлж, даралт ихсэх эсвэл хэт даралт үүсгэх, хоёр дахь хэсэгт дурдсан эрсдэл илүү их байна. Тиймээс цаг тухайд нь цэвэрлэж, шаардлагатай үед шүүлтүүрийн төхөөрөмж суурилуулж байх шаардлагатай.
2, хортой хийн концентрацийг үр дүнтэй шингэлэх:
Хагас дамжуулагч нь дээр дурдсан шатамхай, тэсэрч дэлбэрэх, хортой, хортой хий үүсгэх хандлагатай байдаг. Тиймээс хагас дамжуулагч вакуум насосыг ашиглахдаа эдгээр зөөвөрлөгчийг гаргаж авахдаа вакуум насос эсвэл яндангийн процесст зарим хяналтгүй урвал явагдахаас урьдчилан сэргийлэх шаардлагатай. SiH4, PH3, AsH3, B2H6 болон бусад бодисууд агаар эсвэл хүчилтөрөгчтэй харьцах нь шаталтыг үүсгэдэг. Агаар дахь хольцын харьцаа тодорхой температурт хүрэхэд устөрөгчийн хий мөн шатдаг. Энэ бүхэн нь тухайн бодисын хэмжээ, хүрээлэн буй орчны даралт, температурын хамаарлаас хамаарна. Тиймээс хагас дамжуулагч вакуум насос нь эдгээр зөөвөрлөгчийг гаргаж авахдаа шахахаас өмнө эдгээр хийг аюулгүй хязгаарт шингэлэхийн тулд азот гэх мэт инертийн хий ашиглах шаардлагатай.
3. Хүчилтөрөгчийн концентрацид анхаарлаа хандуул:
Хэрэв агаар дахь хүчилтөрөгч хэт их байвал шаталт, эрсдэл үүсдэг. Тиймээс зарим тохиолдолд хэт их концентраци үүсэхээс сэргийлж, шингэлэхийн тулд инертийн хий ашиглан хүчилтөрөгчийн концентрацид анхаарлаа хандуулах хэрэгтэй; Газрын тосны лацны механик шахуурга нь инертийн болон хүчилтөрөгчтэй нийцдэг вакуум насосны тосыг ашиглах, газрын тосны шүүлтүүр, газрын тосны бүтээгдэхүүнийг цаг тухайд нь солих шаардлагатай байж магадгүй юм.
4, хэт өндөр температураас урьдчилан сэргийлэх:
Энэ цэгийг ойлгоход хялбар байдаг. Вакуум насос дахь хагас дамжуулагчийг хэрэглэхэд илүү их хортой хий байдаг. Хуурай вакуум насос нь газрын тосны лацын механик шахуурга хэвээр байгаа эсэхээс үл хамааран насосны камер дахь температур хэт өндөр, шатамхай, тэсэрч дэлбэрэх аюултай хий нь өндөр температурт амархан аюултай.
Дээрх 4 зүйл нь хагас дамжуулагч вакуум насосыг ашиглахад аюулгүй байдлын гол асуудал юм. Ерөнхийдөө газрын тосны лацын механик шахуургууд нь хуурай вакуум насосоос илүү аюулгүй байдлын нарийн ширийнийг анхаарч үзэх хэрэгтэй бөгөөд зайлуулах нь илүү төвөгтэй байдаг. Бид вакуум насосыг ашиглахдаа дамжуулагчийн аюулгүй байдлын арга хэмжээг анхаарч, дараа нь ашиглахдаа ашиглалтын гарын авлагад сайн ажиллах хэрэгтэй. Ашиглалт, гарц, үр ашиг, аюулгүй байдал зэрэгтэй холбоотой жижиг асуудлууд тул бид вакуум насосны ашиглалтын хугацааг уртасгаж, тэнцвэрийг зохицуулах, үр ашиг, аюулгүй байдлыг хангахыг хичээх хэрэгтэй.
Усны цагираг вакуум насос хавхлагын фланцын холболтын хэлбэр
Хамтарсан гадаргуугийн хэлбэрээс хамааран дараахь төрлүүдэд хуваагдана.
1, O-цагирагийн төрөл: Энэ нь усны цагираг вакуум насосны фланцын холболтын шинэ төрлийн хэлбэр бөгөөд дараа нь олон төрлийн резинэн O-цагираг бүтээгдсэн бөгөөд энэ нь ерөнхий хавтгай угаагчаас илүү битүүмжлэх нөлөөтэй байдаг.
2, трапец хэлбэрийн ховилтой: усны цагирагтай вакуум насосны хавхлагын фланцын холболт нь угаагч хэлбэрээр зууван металл цагирагтай, ажлын даралт 64 кг/см2 хавхлага эсвэл өндөр температурт хавхлагт ашиглагддаг.
3. Ховил ба ховилын төрөл: Их хэмжээний хуванцар хэв гажилттай жийргэвчийг идэмхий орчинд ашиглаж болно. Усны цагираг вакуум насосны битүүмжлэх нөлөө илүү сайн байдаг
4. Энэх ба гүдгэр төрөл: усны цагираг вакуум насосны ажлын даралт өндөр, хатуу угаагчийг ашиглаж болно.
5, линзний төрөл: угаагч нь металлаар хийсэн линзний хэлбэр юм. 100кг/см2 ажлын даралттай өндөр даралтын хавхлага эсвэл өндөр температурт хавхлага
6, гөлгөр төрөл: даралт өндөр биш хавхлага, боловсруулах нь илүү тохиромжтой
Усны цагирагтай вакуум насосны фланцын холболт нь олон хэлбэртэй байдаг, гэхдээ тэдгээр нь өөр өөр тохиолдлуудтай байдаг тул ашиглалтын явцад бид тухайн тохиолдлын тохиромжтой байдалд анхаарлаа хандуулж, холболтын үр нөлөөг хангах, холболтын эвдрэлийг үүсгэхгүй байх, улмаар ус гэмтэх болно. цагираг вакуум насос
Шуудангийн цаг: 2023-01-07
