सेमीकंडक्टर प्रक्रियेवर लागू व्हॅक्यूम पंप सुरक्षिततेच्या बाबतीत वॉटर रिंग व्हॅक्यूम पंपझडपबाहेरील कडा कनेक्शन
गेल्या दशकांमध्ये, सेमीकंडक्टर तंत्रज्ञानाच्या जलद विकासासह, सेमीकंडक्टर उपकरणे देखील पिढ्यानपिढ्या नवकल्पना आणि विकासात आहेत. आजकाल, सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या निर्मिती आणि वापरामध्ये विविध रासायनिक घटक आणि उच्च तंत्रज्ञानाच्या इतर अनेक पैलूंचा समावेश आहे, ज्यामध्ये मजबूत तांत्रिक सर्वसमावेशकता आहे. केवळ असेच नाही तर, सेमीकंडक्टर उपकरण तंत्रज्ञानाचा विकास हळूहळू उपकरणांमध्ये प्रक्रिया तंत्रज्ञान मॉड्युलरायझेशन समाकलित करतो, ते अत्यंत स्वयंचलित आणि अत्यंत बुद्धिमान बनवतो, हळूहळू उपकरणे आणि प्रक्रियेच्या नैसर्गिक पृथक्करणाची परिस्थिती बदलत असतो आणि विकासात नेहमीच आघाडीवर असतो. सेमीकंडक्टर सिस्टम मॅन्युफॅक्चरिंग इंडस्ट्री, एक विशेष महत्वाची भूमिका बजावत आहे. सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या पुढील विकासासह, त्याचे अनुप्रयोग क्षेत्र अधिकाधिक विस्तृत होत आहे. इतर इलेक्ट्रॉनिक उपकरण उत्पादन क्षेत्रात, सेमीकंडक्टर उपकरणे किंवा सेमीकंडक्टर उपकरणांपासून विकसित केलेली उपकरणे देखील वेगवेगळ्या प्रमाणात स्वीकारली जातात, जे सेमीकंडक्टर उपकरणे वापरण्याचे नवीन क्षेत्र बनतात. विशेषत: सूक्ष्म/नॅनो इलेक्ट्रॉनिक उपकरणे, सूक्ष्म/नॅनो ऑप्टोइलेक्ट्रोमेकॅनिकल सिस्टीम आणि अत्यंत लहान आकाराच्या आणि उच्च अचूकतेच्या इतर उत्पादनांच्या निर्मिती क्षेत्रात, इलेक्ट्रॉनिक घटकांच्या विकासासाठी हे अत्यंत महत्त्वाचे आहे.
सेमीकंडक्टर प्रक्रिया व्हॅक्यूमचा वापर प्रामुख्याने बाष्पीभवन, स्पटरिंग, PECVD, व्हॅक्यूम ड्राय एचिंग, व्हॅक्यूम शोषण, चाचणी उपकरणे, व्हॅक्यूम क्लिनिंग आणि इतर बाँडिंग प्रक्रियांमध्ये केला जातो, सेमीकंडक्टर उत्पादन आणि उत्पादन प्रक्रिया सहजपणे ज्वलनशील, स्फोटक आणि विषारी पदार्थ वायू तयार करतात, उत्पादन आणि कर्मचारी सुरक्षा, म्हणून, सेमीकंडक्टर व्हॅक्यूम पंप वापरताना अनेक सुरक्षा बाबींवर लक्ष देणे आवश्यक आहे:
1. जास्त दाब टाळण्यासाठी व्हॅक्यूम पंप आणि इतर सामान, फिल्टर आणि पाईप शेड्यूलनुसार फिल्टर आणि स्वच्छ करा:
सेमीकंडक्टर व्हॅक्यूम पंपच्या वापरामध्ये, प्रतिक्रिया कक्ष आणि व्हॅक्यूम पंपद्वारे काढलेल्या माध्यमाची रचना अत्यंत जटिल असू शकते. उदाहरणार्थ, SiH4 आणि O2 पंप पोर्टवर SiO2 तयार करतात आणि TiCl4 चे हायड्रोलिसिस HCl तयार करेल; तेल सील प्रकारचे यांत्रिक पंप असे गृहीत धरून, हे वायू पदार्थ देखील पंप तेलाने उलट केले जाऊ शकतात. हे बदल कण, गोठण्यायोग्य सामग्री किंवा इरोसिव्ह मीडियाची निर्मिती गृहीत धरतात, जे व्हॅक्यूम पंप किंवा पाइपिंग सिस्टमला अडथळा आणू शकतात, व्हॅक्यूम पंपच्या कार्यावर परिणाम करू शकतात, दबाव वाढू शकतात किंवा जास्त दबाव आणू शकतात आणि दुसऱ्या बिंदूमध्ये नमूद केलेला धोका जास्त आहे. म्हणून, वेळेत साफ करणे आवश्यक आहे आणि आवश्यक असल्यास फिल्टरिंग उपकरणे सेट करणे आवश्यक आहे.
2, हानिकारक वायू एकाग्रता प्रभावी सौम्य करणे:
सेमीकंडक्टर वर नमूद केलेल्या ज्वलनशील आणि स्फोटक, विषारी आणि हानिकारक वायू तयार करण्यास प्रवण आहे. म्हणून, सेमीकंडक्टर व्हॅक्यूम पंपच्या वापरामध्ये, ही माध्यमे काढताना, त्यांना व्हॅक्यूम पंप किंवा एक्झॉस्ट प्रक्रियेत काही अनियंत्रित प्रतिक्रिया होण्यापासून रोखणे आवश्यक आहे. जसे की SiH4, PH3, AsH3, B2H6 आणि इतर पदार्थ, हवा किंवा ऑक्सिजनच्या संपर्कात, ज्वलन किंवा अगदी कारणीभूत होतील; हवेतील मिश्रणाचे प्रमाण ठराविक तापमानापर्यंत पोहोचल्यावर हायड्रोजन वायूही जळतो. हे सर्व पदार्थाचे प्रमाण आणि वातावरणाच्या दबाव आणि तापमानाशी असलेल्या संबंधांवर अवलंबून असते. म्हणून, जेव्हा सेमीकंडक्टर व्हॅक्यूम पंप ही माध्यमे काढतो, तेव्हा या वायूंना कॉम्प्रेशनपूर्वी सुरक्षित श्रेणीत पातळ करण्यासाठी नायट्रोजन सारख्या निष्क्रिय वायूचा वापर करावा लागतो.
3. ऑक्सिजनच्या एकाग्रतेकडे लक्ष द्या:
हवेतील ऑक्सिजन खूप जास्त असल्यास, ज्वलन आणि धोका निर्माण होईल. म्हणून, काही प्रकरणांमध्ये, ऑक्सिजनच्या एकाग्रतेकडे लक्ष दिले पाहिजे, अक्रिय वायू पातळ करण्यासाठी वापरणे, खूप जास्त एकाग्रता टाळण्यासाठी; तेल सील यांत्रिक पंप देखील काही निष्क्रिय आणि ऑक्सिजन सुसंगत व्हॅक्यूम पंप तेल वापरणे आवश्यक आहे असे गृहीत धरून, आणि तेल फिल्टर आणि तेल उत्पादने वेळेवर बदलण्याची आवश्यकता आहे.
4, तापमान खूप जास्त प्रतिबंधित करा:
हा मुद्दा समजून घेणे सोपे आहे. व्हॅक्यूम पंपमध्ये अर्धसंवाहक वापरताना, अधिक हानिकारक वायू असतात. कोरड्या व्हॅक्यूम पंप अजूनही तेल सील यांत्रिक पंप आहे की नाही, पंप चेंबर मध्ये तापमान खूप जास्त आहे, आणि ज्वालाग्राही आणि स्फोटक आणि du गॅस सहज उच्च तापमानात धोकादायक होईल.
सेमीकंडक्टर व्हॅक्यूम पंपच्या वापरामध्ये वरील 4 बाबी मुख्य सुरक्षा बाबी आहेत. सर्वसाधारणपणे, तेल सील यांत्रिक पंपांना कोरड्या व्हॅक्यूम पंपांपेक्षा अधिक सुरक्षिततेच्या तपशीलांकडे लक्ष देणे आवश्यक आहे, विल्हेवाट अधिक जटिल आहे. जेव्हा आम्ही व्हॅक्यूम पंप वापरतो, तेव्हा आम्हाला कंडक्टरमधील सुरक्षिततेच्या खबरदारीकडे लक्ष देणे आवश्यक आहे आणि नंतर वापरताना ऑपरेशन मॅन्युअलमध्ये चांगले काम केले पाहिजे. ऑपरेशनवरील छोट्या समस्यांमुळे, आउटपुट, कार्यक्षमता आणि सुरक्षितता जोडलेली आहेत, आम्ही व्हॅक्यूम पंपचे सेवा आयुष्य वाढवले पाहिजे, समतोल राखण्याचा प्रयत्न केला पाहिजे, कार्यक्षमता आणि सुरक्षितता सुनिश्चित केली पाहिजे.
पाणी रिंग व्हॅक्यूम पंप झडप बाहेरील कडा कनेक्शन फॉर्म
संयुक्त पृष्ठभागाच्या आकारानुसार, ते खालील प्रकारांमध्ये विभागले जाऊ शकते:
1, ओ-रिंग प्रकार: हा एक नवीन प्रकारचा वॉटर रिंग व्हॅक्यूम पंप फ्लँज कनेक्शन फॉर्म आहे, त्यानंतर विविध प्रकारचे रबर ओ-रिंग विकसित केले जाते, ते सामान्य फ्लॅट वॉशरपेक्षा सीलिंग प्रभावामध्ये अधिक विश्वासार्ह आहे.
2, ट्रॅपेझॉइडल ग्रूव्ह प्रकार: वॉशर म्हणून ओव्हल मेटल रिंगसह वॉटर रिंग व्हॅक्यूम पंप व्हॉल्व्ह फ्लँज कनेक्शन, 64 kg/cm2 वाल्व्ह किंवा उच्च तापमान वाल्व्ह कामासाठी वापरले जाते
3. मोर्टाइज आणि ग्रूव्ह प्रकार: मोठ्या प्लास्टिकच्या विकृतीसह गॅस्केट संक्षारक माध्यमात वापरली जाऊ शकते. वॉटर रिंग व्हॅक्यूम पंपचा सीलिंग प्रभाव अधिक चांगला आहे
4. अवतल आणि बहिर्वक्र प्रकार: वॉटर रिंग व्हॅक्यूम पंपचा कामाचा दाब जास्त असतो आणि हार्ड वॉशर वापरता येतो
5, लेन्स प्रकार: वॉशर हा लेन्सचा आकार आहे, जो धातूपासून बनलेला असतो. 100kg/cm2 च्या कामाच्या दाबासह उच्च दाब वाल्व किंवा उच्च तापमान वाल्व
6, गुळगुळीत प्रकार: दाब जास्त वाल्व नाही, प्रक्रिया करणे अधिक सोयीस्कर आहे
वॉटर रिंग व्हॅक्यूम पंप फ्लँज कनेक्शनचे अनेक प्रकार आहेत, परंतु त्यांचे वेगवेगळे प्रसंग आहेत, वापरात, आम्ही प्रसंगाच्या योग्यतेकडे लक्ष दिले पाहिजे, कनेक्शनचा प्रभाव सुनिश्चित केला पाहिजे, कनेक्शन अयशस्वी होऊ नये, परिणामी पाण्याचे नुकसान होऊ नये. रिंग व्हॅक्यूम पंप
पोस्ट वेळ: जानेवारी-०७-२०२३
