Pam vakum digunakan pada semikonduktor proses keselamatan pam vakum gelang airinjapsambungan bebibir
Sepanjang dekad yang lalu, dengan perkembangan pesat teknologi semikonduktor, peralatan semikonduktor juga dalam inovasi dan pembangunan generasi demi generasi. Pada masa kini, pembuatan dan penggunaan peralatan semikonduktor melibatkan pelbagai unsur kimia dan banyak lagi aspek teknologi tinggi, dengan komprehensif teknikal yang kukuh. Bukan itu sahaja, pembangunan teknologi peralatan semikonduktor secara beransur-ansur mengintegrasikan modularisasi teknologi proses ke dalam peralatan, menjadikannya sangat automatik dan sangat pintar, secara beransur-ansur mengubah keadaan pemisahan semula jadi peralatan dan proses, dan sentiasa berjalan di barisan hadapan pembangunan. industri pembuatan sistem semikonduktor, memainkan peranan penting yang istimewa. Dengan perkembangan selanjutnya peralatan semikonduktor, bidang aplikasinya menjadi lebih luas. Dalam bidang pembuatan peranti elektronik lain, peralatan atau peralatan semikonduktor yang berkembang daripada peralatan semikonduktor juga diterima pakai pada tahap yang berbeza-beza, menjadi satu bidang aplikasi peralatan semikonduktor yang baharu. Terutamanya dalam peranti elektronik mikro/nano, sistem optoelektromekanikal mikro/nano dan bidang pembuatan produk lain dengan saiz yang sangat kecil dan berketepatan tinggi, ia mempunyai kepentingan yang sangat penting untuk pembangunan komponen elektronik.
Vakum proses semikonduktor digunakan terutamanya dalam penyejatan, sputtering, PECVD, etsa kering vakum, penjerapan vakum, peralatan ujian, pembersihan vakum dan proses ikatan lain, pengeluaran semikonduktor dan proses pembuatan dengan mudah menghasilkan gas bahan mudah terbakar, letupan dan toksik, akan menimbulkan ancaman kepada pengeluaran dan keselamatan kakitangan, oleh itu, penggunaan pam vakum semikonduktor perlu memberi perhatian kepada beberapa perkara keselamatan:
1. Tapis dan bersihkan pam vakum dan aksesori lain, penapis dan paip mengikut jadual untuk mengelakkan tekanan berlebihan:
Dalam penggunaan pam vakum semikonduktor, komposisi medium yang diekstrak melalui kebuk tindak balas dan pam vakum mungkin sangat kompleks. Sebagai contoh, SiH4 dan O2 membentuk SiO2 di port pam, dan hidrolisis TiCl4 akan membentuk HCl; Dengan mengandaikan bahawa pam mekanikal jenis pengedap minyak, bahan gas ini juga boleh diterbalikkan dengan minyak pam. Perubahan ini mengandaikan pembentukan zarah, bahan terkumpul, atau media hakisan, yang boleh menyumbat pam vakum atau sistem paip, menjejaskan fungsi pam vakum, menyebabkan peningkatan tekanan atau tekanan berlebihan, dan risiko yang disebut dalam titik kedua adalah lebih besar. Oleh itu, adalah perlu untuk membersihkan dalam masa, dan menyediakan peralatan penapisan apabila perlu.
2, pencairan berkesan kepekatan gas berbahaya:
Semikonduktor terdedah untuk menghasilkan gas mudah terbakar dan meletup, toksik dan berbahaya yang disebutkan di atas. Oleh itu, dalam penggunaan pam vakum semikonduktor, apabila mengekstrak media ini, adalah perlu untuk mengelakkannya daripada mengalami beberapa tindak balas yang tidak terkawal dalam pam vakum atau dalam proses ekzos. Seperti SiH4, PH3, AsH3, B2H6 dan bahan lain, jika bersentuhan dengan udara atau oksigen, akan menyebabkan pembakaran atau bahkan; Gas hidrogen juga terbakar apabila nisbah campuran di udara mencapai suhu tertentu. Semuanya bergantung kepada jumlah bahan dan hubungannya dengan tekanan dan suhu persekitaran. Oleh itu, apabila pam vakum semikonduktor mengekstrak media ini, ia perlu menggunakan gas lengai, seperti nitrogen, untuk mencairkan gas ini kepada julat yang selamat sebelum pemampatan.
3. Beri perhatian kepada kepekatan oksigen:
Jika oksigen dalam udara terlalu tinggi, pembakaran dan risiko akan berlaku. Oleh itu, dalam beberapa kes, perhatian harus diberikan kepada kepekatan oksigen, menggunakan gas lengai untuk mencairkan, untuk mengelakkan kepekatan terlalu tinggi; Dengan mengandaikan bahawa pam mekanikal meterai minyak juga mungkin perlu menggunakan beberapa minyak pam vakum serasi lengai dan oksigen, dan penggantian penapis minyak dan produk minyak tepat pada masanya.
4, mengelakkan suhu terlalu tinggi:
Ia adalah mudah untuk memahami perkara ini. Dalam penggunaan semikonduktor dalam pam vakum, terdapat lebih banyak gas berbahaya. Sama ada pam vakum kering masih merupakan pam mekanikal meterai minyak, suhu dalam ruang pam adalah terlalu tinggi, dan gas mudah terbakar dan meletup dan du akan mudah berbahaya pada suhu tinggi.
4 aspek di atas adalah perkara keselamatan utama dalam penggunaan pam vakum semikonduktor. Secara umum, pam mekanikal meterai minyak perlu memberi perhatian kepada lebih banyak butiran keselamatan daripada pam vakum kering, pelupusan adalah lebih kompleks. Apabila kita menggunakan pam vakum, kita perlu memberi perhatian kepada langkah berjaga-jaga keselamatan dalam konduktor, dan melakukan kerja yang baik dalam manual operasi apabila menggunakan kemudian. Oleh kerana masalah kecil pada operasi, output, kecekapan dan keselamatan dikaitkan, kita harus memanjangkan hayat perkhidmatan pam vakum, berusaha untuk menyelaraskan keseimbangan, memastikan kecekapan dan keselamatan.
Bentuk sambungan bebibir gelang air pam vakum injap
Mengikut bentuk permukaan sendi, ia boleh dibahagikan kepada jenis berikut:
1, jenis O-ring: ini adalah jenis baru bentuk sambungan bebibir pam vakum gelang air, diikuti oleh pelbagai pembangunan cincin O getah, ia lebih dipercayai dalam kesan pengedap daripada mesin basuh rata umum
2, jenis alur trapezoid: gelang air injap pam vakum sambungan bebibir dengan cincin logam bujur sebagai mesin basuh, digunakan untuk tekanan kerja injap 64 kg/cm2 atau injap suhu tinggi
3. Jenis tanggam dan alur: Gasket dengan ubah bentuk plastik besar boleh digunakan dalam medium menghakis. Kesan pengedap pam vakum cincin air adalah lebih baik
4. Jenis cekung dan cembung: tekanan kerja pam vakum gelang air lebih tinggi, dan mesin basuh keras boleh digunakan
5, jenis kanta: mesin basuh adalah bentuk kanta, diperbuat daripada logam. Injap tekanan tinggi atau injap suhu tinggi dengan tekanan kerja 100kg/cm2
6, jenis licin: untuk tekanan tidak injap tinggi, pemprosesan lebih mudah
Sambungan bebibir pam vakum cincin air terdapat banyak bentuk, tetapi mereka mempunyai masa yang berbeza, dalam penggunaan, kita harus memberi perhatian kepada kesesuaian majlis itu, memastikan kesan sambungan, tidak menyebabkan kegagalan sambungan, mengakibatkan kerosakan pada air pam vakum cincin
Masa siaran: Jan-07-2023
