Pompa tal-vakwu applikata għall-materji tas-sigurtà tal-proċess tas-semikondutturi pompa tal-vakwu taċ-ċirku tal-ilmavalvkonnessjoni tal-flanġ
Matul l-aħħar deċennji, bl-iżvilupp mgħaġġel tat-teknoloġija tas-semikondutturi, it-tagħmir tas-semikondutturi huwa wkoll fl-innovazzjoni u l-iżvilupp ta 'ġenerazzjoni wara l-oħra. Illum il-ġurnata, il-manifattura u l-użu ta 'tagħmir semikonduttur jinvolvi varjetà ta' elementi kimiċi u ħafna aspetti oħra ta 'teknoloġija għolja, b'komprensjoni teknika qawwija. Mhux biss bħala tali, l-iżvilupp tat-teknoloġija tat-tagħmir tas-semikondutturi gradwalment jintegra l-modularizzazzjoni tat-teknoloġija tal-proċess fit-tagħmir, u jagħmilha awtomatizzata ħafna u intelliġenti ħafna, ibiddel gradwalment is-sitwazzjoni tas-separazzjoni naturali tat-tagħmir u l-proċess, u dejjem jimxu fuq quddiem nett tal-iżvilupp tal-industrija tal-manifattura tas-sistema tas-semikondutturi, li għandha rwol importanti speċjali. Bl-iżvilupp ulterjuri tat-tagħmir tas-semikondutturi, il-qasam ta 'applikazzjoni tiegħu jsir aktar u aktar wiesa'. F'oqsma oħra tal-manifattura ta 'apparat elettroniku, tagħmir semikonduttur jew tagħmir evolva minn tagħmir semikonduttur huma wkoll adottati fi gradi differenti, u jsir qasam ġdid ta' applikazzjoni ta 'tagħmir semikonduttur. Speċjalment fl-apparati elettroniċi mikro/nano, sistemi optoelectromechanical mikro/nano u qasam tal-manifattura ta 'prodotti oħra ta' daqs estremament żgħir u preċiżjoni għolja, għandu sinifikat estremament importanti għall-iżvilupp ta 'komponenti elettroniċi.
Il-vakwu tal-proċess tas-semikondutturi jintuża prinċipalment fl-evaporazzjoni, sputtering, PECVD, inċiżjoni bil-vakwu niexef, adsorbiment bil-vakwu, tagħmir tat-test, tindif bil-vakwu u proċessi oħra ta 'twaħħil, produzzjoni ta' semikondutturi u proċess ta 'manifattura faċilment jipproduċu gass materjal fjammabbli, splussiv u tossiku, se jkun ta' theddida għal Il-produzzjoni u s-sigurtà tal-persunal, għalhekk, l-applikazzjoni tal-pompa tal-vakwu tas-semikondutturi jeħtieġ li tagħti attenzjoni għal diversi kwistjonijiet ta 'sikurezza:
1. Iffiltra u naddaf il-pompa tal-vakwu u aċċessorji oħra, iffiltra u pajp skond l-iskeda biex tevita pressjoni żejda:
Fl-applikazzjoni tal-pompa tal-vakwu tas-semikondutturi, il-kompożizzjoni tal-medju estratt mill-kamra tar-reazzjoni u l-pompa tal-vakwu tista 'tkun estremament kumplessa. Pereżempju, SiH4 u O2 jiffurmaw SiO2 fil-port tal-pompa, u l-idroliżi ta 'TiCl4 se jiffurmaw HCl; Jekk wieħed jassumi li l-pompa mekkanika tat-tip tas-siġill taż-żejt, dawn is-sustanzi tal-gass jistgħu wkoll jiġu maqluba biż-żejt tal-pompa. Dawn il-bidliet jassumu l-formazzjoni ta 'partiċelli, materjal koagulabbli, jew midja erożiva, li jistgħu jinstaddu l-pompa tal-vakwu jew is-sistema tal-pajpijiet, jaffettwaw il-funzjoni tal-pompa tal-vakwu, jikkawżaw żieda fil-pressjoni jew pressjoni żejda, u r-riskju msemmi fit-tieni punt huwa akbar. Għalhekk, huwa meħtieġ li tnaddaf fil-ħin, u twaqqaf tagħmir ta 'filtrazzjoni meta meħtieġ.
2, dilwizzjoni effettiva ta 'konċentrazzjoni ta' gass ta 'ħsara:
Semikondutturi huwa suxxettibbli li jipproduċi l-gassijiet infjammabbli u splussivi, tossiċi u ta 'ħsara msemmija hawn fuq. Għalhekk, fl-applikazzjoni tal-pompa tal-vakwu tas-semikondutturi, meta jiġu estratti dawn il-midja, huwa meħtieġ li jiġi evitat li jkollhom xi reazzjonijiet inkontrollabbli fil-pompa tal-vakwu jew fil-proċess tal-egżost. Bħal SiH4, PH3, AsH3, B2H6 u sustanzi oħra, f'kuntatt ma 'arja jew ossiġnu, se jikkawżaw kombustjoni jew saħansitra; Il-gass tal-idroġenu jinħaraq ukoll meta l-proporzjon tat-taħlita fl-arja jilħaq ċertu temperatura. Kollox jiddependi fuq l-ammont tas-sustanza u r-relazzjoni tagħha mal-pressjoni u t-temperatura tal-ambjent. Għalhekk, meta l-pompa tal-vakwu tas-semikondutturi tiġbed dawn il-midja, jeħtieġ li tuża gass inert, bħan-nitroġenu, biex iddilwixxi dawn il-gassijiet għal firxa sigura qabel il-kompressjoni.
3. Oqgħod attent għall-konċentrazzjoni ta 'ossiġnu:
Jekk l-ossiġnu fl-arja jkun għoli wisq, il-kombustjoni u r-riskju jseħħu. Għalhekk, f'xi każijiet, għandha tingħata attenzjoni lill-konċentrazzjoni ta 'ossiġnu, bl-użu ta' gass inert biex iddilwixxi, biex tevita konċentrazzjoni għolja wisq; Jekk wieħed jassumi li l-pompa mekkanika tas-siġill taż-żejt tista 'wkoll teħtieġ tuża xi żejt tal-pompa tal-vakwu inert u kompatibbli bl-ossiġnu, u sostituzzjoni f'waqtha ta' filtri taż-żejt u prodotti taż-żejt.
4, jipprevjeni t-temperatura għolja wisq:
Huwa faċli li tifhem dan il-punt. Fl-applikazzjoni tas-semikondutturi fil-pompa tal-vakwu, hemm gassijiet aktar ta 'ħsara. Kemm jekk il-pompa tal-vakwu niexfa għadha pompa mekkanika tas-siġill taż-żejt, it-temperatura fil-kamra tal-pompa hija għolja wisq, u fjammabbli u splussivi u du gas faċilment ikunu perikolużi f'temperatura għolja.
L-4 aspetti ta 'hawn fuq huma l-kwistjonijiet ta' sikurezza ewlenin fl-applikazzjoni tal-pompa tal-vakwu tas-semikondutturi. B'mod ġenerali, il-pompi mekkaniċi tas-siġill taż-żejt jeħtieġ li jagħtu attenzjoni għal aktar dettalji tas-sigurtà minn pompi tal-vakwu niexef, ir-rimi huwa aktar kumpless. Meta nużaw pompi tal-vakwu, għandna bżonn nagħtu attenzjoni għall-prekawzjonijiet tas-sigurtà fil-konduttur, u nagħmlu xogħol tajjeb fil-manwal tat-tħaddim meta nużaw aktar tard. Minħabba l-problemi żgħar fuq it-tħaddim, l-output, l-effiċjenza u s-sigurtà huma marbuta, għandna nespandu l-ħajja tas-servizz tal-pompa tal-vakwu, nistinkaw biex nikkoordinaw il-bilanċ, niżguraw l-effiċjenza u s-sigurtà.
Il-forma tal-konnessjoni tal-flanġ tal-valv tal-pompa tal-vakwu taċ-ċirku tal-ilma
Skont il-forma tal-wiċċ tal-ġonta, jista 'jinqasam fit-tipi li ġejjin:
1, tip O-ring: dan huwa tip ġdid ta 'forma ta' konnessjoni tal-flanġ tal-pompa tal-vakwu taċ-ċirku tal-ilma, huwa segwit minn varjetà ta 'żvilupp O-ring tal-gomma, huwa aktar affidabbli fl-effett tas-siġillar mill-washer ċatt ġenerali
2, tip ta 'kanal trapezojdali: konnessjoni tal-flanġ tal-valv tal-valv tal-vakwu taċ-ċirku tal-ilma b'ċirku tal-metall ovali bħala washer, użat għall-pressjoni tax-xogħol 64 kg/cm2 valv jew valv ta' temperatura għolja
3. Mortise u tip ta 'kanal: Is-siegla b'deformazzjoni kbira tal-plastik tista' tintuża fil-medju korrużiv. L-effett tas-siġillar tal-pompa tal-vakwu taċ-ċirku tal-ilma huwa aħjar
4. Tip konkavi u konvessi: il-pressjoni tax-xogħol tal-pompa tal-vakwu taċ-ċirku ta 'l-ilma hija ogħla, u tista' tintuża l-washer iebes
5, tip ta 'lenti: il-washer hija l-forma tal-lenti, magħmula mill-metall. Valvoli ta 'pressjoni għolja jew valvi ta' temperatura għolja bi pressjoni tax-xogħol ta '100kg/cm2
6, tip bla xkiel: għall-pressjoni mhix valv għoli, l-ipproċessar aktar konvenjenti
Il-konnessjoni tal-flanġ tal-pompa tal-vakwu taċ-ċirku tal-ilma huwa hemm ħafna forom, iżda għandhom okkażjonijiet differenti, fl-użu, għandna nagħtu attenzjoni għall-adegwatezza tal-okkażjoni, niżguraw l-effett tal-konnessjoni, ma jikkawżawx falliment tal-konnessjoni, li tirriżulta fi ħsara lill-ilma pompa tal-vakwu taċ-ċirku
Ħin tal-post: Jan-07-2023
