ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ လုပ်ငန်းစဉ်တွင် အသုံးပြုသည့် ဖုန်စုပ်ပန့်သည် ရေကွင်းဖုန်စုပ်စက် အဆို့ရှင်အနားကွပ်ချိတ်ဆက်မှုတွင် အရေးကြီးသည်။

ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ လုပ်ငန်းစဉ်တွင် အသုံးပြုသည့် ဖုန်စုပ်ပန့်သည် ရေကွင်းဖုန်စုပ်စက်၏ ဘေးကင်းရေးတွင် အရေးကြီးသည်။အဆို့ရှင်flange ချိတ်ဆက်မှု

လွန်ခဲ့သည့်ဆယ်စုနှစ်များအတွင်း၊ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းနည်းပညာများ လျင်မြန်စွာ ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်လာမှုနှင့်အတူ၊ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများသည် မျိုးဆက်တစ်ခုပြီးတစ်ခု ဆန်းသစ်တီထွင်မှုနှင့် ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်လာခဲ့သည်။ ယနေ့ခေတ်တွင်၊ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများ ထုတ်လုပ်ခြင်းနှင့် အသုံးပြုခြင်းတွင် ဓာတုဒြပ်စင်အမျိုးမျိုးနှင့် နည်းပညာမြင့်မားသော အခြားကဏ္ဍများစွာပါဝင်ပြီး ခိုင်မာသောနည်းပညာကို ကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့် ပါဝင်သည်။ ထိုမျှသာမက၊ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာနည်းပညာ ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုသည် လုပ်ငန်းစဉ်နည်းပညာကို ကိရိယာများအတွင်းသို့ ဖြည်းဖြည်းချင်း ပေါင်းစပ်ကာ၊ ၎င်းကို အလိုအလျောက် လွန်ကဲပြီး ဉာဏ်ရည်မြင့်မားစေကာ စက်ကိရိယာနှင့် လုပ်ငန်းစဉ်များ၏ သဘာဝကို ခွဲထုတ်ခြင်း၏ အခြေအနေကို တဖြည်းဖြည်း ပြောင်းလဲကာ ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှု၏ ရှေ့ဆုံးတွင် အမြဲလျှောက်လှမ်းနေပါသည်။ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစနစ် ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းသည် အထူးအရေးကြီးသော အခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်နေသည်။ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ကိရိယာများ ပိုမိုဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်လာသည်နှင့်အမျှ ၎င်း၏အသုံးချမှုနယ်ပယ်သည် ပိုမိုကျယ်ပြန့်လာပါသည်။ အခြားသော အီလက်ထရွန်နစ်စက်ပစ္စည်းထုတ်လုပ်ရေးနယ်ပယ်တွင်၊ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာပစ္စည်းကိရိယာများ သို့မဟုတ် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများမှ ဆင့်ကဲပြောင်းလဲလာသော စက်ပစ္စည်းများကို ဒီဂရီအမျိုးမျိုးအထိ လက်ခံကျင့်သုံးကြပြီး တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာအသုံးချမှုနယ်ပယ်အသစ်ဖြစ်လာသည်။ အထူးသဖြင့် မိုက်ခရို/နာနို အီလက်ထရွန်နစ် စက်ပစ္စည်းများ၊ မိုက်ခရို/နာနို အီလက်ထရွန်းနစ် စက်စနစ်များနှင့် အလွန်သေးငယ်သော အရွယ်အစားနှင့် တိကျမှုမြင့်မားသော အခြားထုတ်ကုန်များ ထုတ်လုပ်ရေးနယ်ပယ်တွင်၊ ၎င်းသည် အီလက်ထရွန်နစ် အစိတ်အပိုင်းများ ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုအတွက် အလွန်အရေးကြီးသော အဓိပ္ပာယ်ရှိပါသည်။

Semiconductor လုပ်ငန်းစဉ် လေဟာနယ်ကို အဓိကအားဖြင့် အငွေ့ပျံခြင်း၊ sputtering၊ PECVD၊ ဖုန်စုပ်စက်ခြောက်သွေ့ခြင်း၊ လေဟာနယ်စုပ်ယူခြင်း၊ စမ်းသပ်ကိရိယာများ၊ ဖုန်စုပ်စက် သန့်ရှင်းရေးနှင့် အခြားသော ပေါင်းစပ်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်များ၊ semiconductor ထုတ်လုပ်မှုနှင့် ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အလွယ်တကူ မီးလောင်လွယ်၊ ပေါက်ကွဲလွယ်ပြီး အဆိပ်ဖြစ်စေသော ဓာတ်ငွေ့များကို ထုတ်ပေးပါသည်။ ထုတ်လုပ်မှုနှင့် ဝန်ထမ်းများ၏ ဘေးကင်းရေး ထို့ကြောင့်၊ semiconductor vacuum pump ကို အသုံးပြုရာတွင် ဘေးကင်းရေး ကိစ္စရပ်များကို အာရုံစိုက်ရန် လိုအပ်သည်-

1. ဖိအားလွန်ကဲမှုကို ရှောင်ရှားရန် ဖုန်စုပ်ပန့်နှင့် အခြားဆက်စပ်ပစ္စည်းများ၊ ဇကာနှင့် ပိုက်များကို ဇကာနှင့် သန့်စင်ပါ-

semiconductor vacuum pump ၏အသုံးချမှုတွင်၊ တုံ့ပြန်မှုခန်းနှင့် လေဟာနယ်ပန့်မှတစ်ဆင့် ထုတ်ယူသည့်ကြားခံ၏ဖွဲ့စည်းမှုမှာ အလွန်ရှုပ်ထွေးနိုင်သည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ SiH4 နှင့် O2 သည် Pump port တွင် SiO2 ပုံစံဖြစ်ပြီး TiCl4 ၏ hydrolysis သည် HCl ကိုဖွဲ့စည်းလိမ့်မည်။ ဆီတံဆိပ်အမျိုးအစား စက်ပန့်အမျိုးအစားဟု ယူဆပါက၊ အဆိုပါဓာတ်ငွေ့ဓာတ်များသည် ပန့်ဆီနှင့် ပြောင်းပြန်ဖြစ်သွားနိုင်သည်။ ဤပြောင်းလဲမှုများသည် လေဟာနယ်ပန့် သို့မဟုတ် ပိုက်စနစ်အား ပိတ်ဆို့စေသည့် အမှုန်အမွှားများ၊ ပိုးဝင်နိုင်သောပစ္စည်း သို့မဟုတ် တိုက်စားနိုင်သောမီဒီယာများဖွဲ့စည်းခြင်း၊ လေဟာနယ်ပန့်၏လုပ်ဆောင်ချက်ကို ထိခိုက်စေခြင်း၊ ဖိအားမြင့်တက်လာခြင်း သို့မဟုတ် ဖိအားများလွန်ကဲခြင်းတို့ကို ဖြစ်စေပြီး ဒုတိယအချက်တွင် ဖော်ပြထားသောအန္တရာယ်သည် ပိုများပါသည်။ ထို့ကြောင့် လိုအပ်ပါက အချိန်မီ သန့်ရှင်းရန်နှင့် စစ်ထုတ်ကိရိယာများ တပ်ဆင်ရန် လိုအပ်ပါသည်။

2၊ အန္တရာယ်ရှိသောဓာတ်ငွေ့အာရုံစူးစိုက်မှုကို ထိရောက်စွာ ဖျန်းခြင်း-

Semiconductor သည် အထက်ဖော်ပြပါ မီးလောင်လွယ်ပြီး ပေါက်ကွဲနိုင်သော၊ အဆိပ်သင့်ပြီး အန္တရာယ်ရှိသော ဓာတ်ငွေ့များကို ထုတ်လုပ်ရန် အလားအလာရှိသည်။ ထို့ကြောင့်၊ semiconductor vacuum pump ၏အသုံးချမှုတွင်၊ ဤမီဒီယာကိုထုတ်ယူသောအခါ၊ လေဟာနယ်ပန့်တွင် သို့မဟုတ် အိတ်ဇောထဲသို့မထိန်းချုပ်နိုင်သောတုံ့ပြန်မှုအချို့ရှိခြင်းမှကာကွယ်ရန် လိုအပ်ပါသည်။ SiH4၊ PH3၊ AsH3၊ B2H6 နှင့် အခြားအရာများသည် လေ သို့မဟုတ် အောက်ဆီဂျင်နှင့် ထိတွေ့ပါက လောင်ကျွမ်းခြင်း သို့မဟုတ် ပင်ဖြစ်စေသည်။ ဟိုက်ဒရိုဂျင် ဓာတ်ငွေ့သည် လေထဲတွင် ရောနှောသော အချိုးအဆသည် သတ်မှတ်ထားသော အပူချိန်သို့ ရောက်သောအခါတွင်လည်း လောင်ကျွမ်းသည်။ အရာအားလုံးသည် အရာဝတ္ထုပမာဏနှင့် ပတ်ဝန်းကျင်၏ ဖိအားနှင့် အပူချိန်နှင့် ၎င်း၏ ဆက်နွယ်မှုအပေါ် မူတည်သည်။ ထို့ကြောင့်၊ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ဖုန်စုပ်ပန့်သည် အဆိုပါမီဒီယာကို ထုတ်ယူသောအခါ၊ ၎င်းဓာတ်ငွေ့များကို မဖိမချမီ ဘေးကင်းသောအကွာအဝေးသို့ ပျော့ပြောင်းစေရန် နိုက်ထရိုဂျင်ကဲ့သို့သော အင်မတန်ဓာတ်ငွေ့များဖြစ်သည့် အင်ဂျင်ဓာတ်ငွေ့ကို အသုံးပြုရန် လိုအပ်သည်။

3. အောက်ဆီဂျင်ပါဝင်မှုကို အာရုံစိုက်ပါ

လေထုထဲတွင် အောက်ဆီဂျင် အလွန်များနေပါက လောင်ကျွမ်းမှုနှင့် အန္တရာယ်များ ဖြစ်ပေါ်လာမည်ဖြစ်သည်။ ထို့ကြောင့်၊ အချို့သောကိစ္စများတွင်၊ အာရုံစူးစိုက်မှုအလွန်မြင့်မားခြင်းမှကာကွယ်ရန်, inert gas ကိုအသုံးပြု၍ အောက်ဆီဂျင်၏အာရုံစူးစိုက်မှုကိုအာရုံစိုက်သင့်သည်။ ဆီတံဆိပ်စက်ပန့်သည် အချို့သော အားအင်မဲ့ နှင့် အောက်ဆီဂျင် လိုက်ဖက်သော လေဟာနယ်ပန့်ဆီ နှင့် ဆီစစ်ထုတ်ခြင်း နှင့် ဆီထွက်ပစ္စည်းများကို အချိန်မီ အစားထိုး အသုံးပြုရန် လိုအပ်သည်ဟု ယူဆပါသည်။

4၊ အပူချိန်အလွန်မြင့်မားခြင်းကိုကာကွယ်ပါ

ဤအချက်ကို နားလည်ရန် လွယ်ကူသည်။ လေဟာနယ်ပန့်တွင် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာအသုံးပြုရာတွင် ပို၍အန္တရာယ်ရှိသောဓာတ်ငွေ့များရှိသည်။ အခြောက်ဖုန်စုပ်ပန့်သည် ဆီတံဆိပ်စက်ပိုင်းဆိုင်ရာပန့်ဖြစ်နေသေးသည်ဖြစ်စေ၊ ပန့်ခန်းအတွင်းရှိ အပူချိန်သည် မြင့်မားလွန်းသဖြင့် မီးလောင်လွယ်ပြီး ပေါက်ကွဲနိုင်သော ဓာတ်ငွေ့နှင့် ဒူဂတ်စ်များသည် မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် အလွယ်တကူ အန္တရာယ်ဖြစ်စေနိုင်သည်။

အထက်ဖော်ပြပါ အချက် ၄ ချက်သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ဖုန်စုပ်ပန့်ကို အသုံးပြုရာတွင် အဓိက ဘေးကင်းရေး ကိစ္စများဖြစ်သည်။ ယေဘူယျအားဖြင့်၊ ဆီတံဆိပ်စက်ပန့်များသည် ခြောက်သွေ့သော ဖုန်စုပ်ပန့်များထက် ပိုမိုဘေးကင်းသော အသေးစိတ်အချက်အလက်များကို အာရုံစိုက်ရန် လိုအပ်ပြီး စွန့်ပစ်ခြင်းသည် ပိုမိုရှုပ်ထွေးပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် ဖုန်စုပ်ပန့်များကို အသုံးပြုသောအခါ၊ စပယ်ယာရှိ ဘေးကင်းရေး ကြိုတင်ကာကွယ်မှုများကို အာရုံစိုက်ရန် လိုအပ်ပြီး နောက်ပိုင်းတွင် အသုံးပြုသည့်အခါ လည်ပတ်မှုလက်စွဲစာအုပ်တွင် ကောင်းမွန်စွာလုပ်ဆောင်ရန် လိုအပ်ပါသည်။ လည်ပတ်မှု၊ အထွက်နှုန်း၊ ထိရောက်မှုနှင့် ဘေးကင်းမှုတို့သည် ဆက်စပ်နေသည့် ပြဿနာသေးသေးလေးကြောင့်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် လေဟာနယ်ပန့်၏ ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို တိုးမြှင့်ကာ ဟန်ချက်ညီစေရန်၊ ထိရောက်မှုနှင့် ဘေးကင်းမှုရှိစေရန် ကြိုးပမ်းသင့်သည်။

Water ring vacuum pump valve flange ချိတ်ဆက်မှုပုံစံ

ပူးတွဲမျက်နှာပြင်၏ပုံသဏ္ဍာန်အရ၊ ၎င်းကိုအောက်ပါအမျိုးအစားများခွဲခြားနိုင်သည်။

1၊ O-ring အမျိုးအစား- ၎င်းသည် ရေကွင်းအမျိုးအစားအသစ်ဖြစ်ပြီး ဖုန်စုပ်ပန့်အနားကွပ် ချိတ်ဆက်မှုပုံစံ၊ ရော်ဘာအိုလက်စွပ် အမျိုးမျိုး ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုနောက်တွင်၊ ၎င်းသည် ယေဘူယျအဝတ်လျှော်စက်ထက် တံဆိပ်ခတ်ခြင်းအတွက် ပိုမိုစိတ်ချရပါသည်။

2၊ trapezoidal groove အမျိုးအစား- ရေကွင်း လေဟာနယ်ပန့် အဆို့ရှင်အနားကွပ် ဘဲဥပုံ သတ္တုလက်စွပ်နှင့် ချိတ်ဆက်မှု၊ အလုပ်ဖိအား 64 ကီလိုဂရမ်/စင်တီမီတာ 2 အဆို့ရှင် သို့မဟုတ် အပူချိန်မြင့်မားသော အဆို့ရှင်အတွက် အသုံးပြုသည်။

3. Mortise နှင့် groove အမျိုးအစား- ကြီးမားသော ပလပ်စတစ်ပုံသဏ္ဍာန်ရှိသော gasket ကို corrosive medium တွင် အသုံးပြုနိုင်ပါသည်။ ရေကွင်းဖုန်စုပ်စက်၏ တံဆိပ်ခတ်ခြင်းအကျိုးသက်ရောက်မှုသည် ပိုကောင်းသည်။

4. Concave နှင့် convex အမျိုးအစား- ရေ ring vacuum pump ၏ အလုပ်လုပ်သော ဖိအားသည် ပိုမိုမြင့်မားပြီး hard washer ကို အသုံးပြုနိုင်သည်။

5၊ မှန်ဘီလူးအမျိုးအစား- အဝတ်လျှော်စက်သည် သတ္တုဖြင့်ပြုလုပ်ထားသည့် မှန်ဘီလူးပုံသဏ္ဍာန်ဖြစ်သည်။ အလုပ်ဖိအား 100kg/cm2 ရှိသော မြင့်မားသောဖိအားအဆို့ရှင်များ သို့မဟုတ် မြင့်မားသောအပူချိန်အဆို့ရှင်များ

6၊ ချောမွေ့သောအမျိုးအစား: ဖိအားမြင့်မားသောအဆို့ရှင်မဟုတ်သည့်အတွက်လုပ်ဆောင်ခြင်းပိုမိုအဆင်ပြေသည်။

Water ring vacuum pump flange connection သည် ပုံစံများစွာရှိသော်လည်း ၎င်းတို့တွင် မတူညီသော အခါသမယများ ရှိသည်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် အခါသမယ၏ သင့်လျော်မှုကို ဂရုပြုသင့်သည်၊ ချိတ်ဆက်မှု၏ အကျိုးသက်ရောက်မှုကို သေချာစေရန်၊ ချိတ်ဆက်မှု ချို့ယွင်းမှု မဖြစ်စေဘဲ ရေကို ပျက်စီးစေပါသည်။ ဖုန်စုပ်စက်ကွင်း