सेमीकन्डक्टर प्रक्रिया सुरक्षा मामिलाहरूमा भ्याकुम पम्प लागू गरियो पानी रिंग भ्याकुम पम्प भल्भ फ्ल्यान्ज जडान

भ्याकुम पम्प सेमीकन्डक्टर प्रक्रिया सुरक्षा मामिलाहरूमा लागू गरिएको पानी रिंग भ्याकुम पम्पभल्भflange जडान

विगतका दशकहरूमा, अर्धचालक प्रविधिको द्रुत विकासको साथ, सेमीकन्डक्टर उपकरणहरू पनि पुस्ताको नवाचार र विकासमा छन्। आजकल, अर्धचालक उपकरणहरूको निर्माण र प्रयोगले विभिन्न प्रकारका रासायनिक तत्वहरू र उच्च प्रविधिका अन्य धेरै पक्षहरू समावेश गर्दछ, बलियो प्राविधिक व्यापकताको साथ। यति मात्र होइन, सेमीकन्डक्टर उपकरण प्रविधिको विकासले बिस्तारै उपकरणमा प्रक्रिया प्रविधि मोड्युलराइजेसनलाई एकीकृत गर्दछ, यसलाई अत्यधिक स्वचालित र उच्च बौद्धिक बनाउँछ, बिस्तारै उपकरण र प्रक्रियाको प्राकृतिक विभाजनको स्थिति परिवर्तन गर्दै, र सधैं विकासको अग्रभागमा हिंड्छ। अर्धचालक प्रणाली निर्माण उद्योग को, एक विशेष महत्वपूर्ण भूमिका खेल्दै। अर्धचालक उपकरणको थप विकास संग, यसको आवेदन क्षेत्र अधिक र अधिक फराकिलो हुन्छ। अन्य इलेक्ट्रोनिक उपकरण निर्माण क्षेत्रहरूमा, सेमीकन्डक्टर उपकरणहरू वा सेमीकन्डक्टर उपकरणहरूबाट विकसित उपकरणहरू पनि फरक-फरक डिग्रीहरूमा अपनाइन्छ, सेमीकन्डक्टर उपकरण अनुप्रयोगको नयाँ क्षेत्र बन्न। विशेष गरी माइक्रो/नानो इलेक्ट्रोनिक उपकरणहरू, माइक्रो/नानो अप्टोइलेक्ट्रोमेकानिकल प्रणालीहरू र अत्यन्त सानो आकार र उच्च परिशुद्धताको अन्य उत्पादनहरू निर्माण क्षेत्रमा, यसले इलेक्ट्रोनिक कम्पोनेन्टहरूको विकासको लागि अत्यन्त महत्त्वपूर्ण महत्त्व राख्दछ।

सेमीकन्डक्टर प्रक्रिया भ्याकुम मुख्यतया वाष्पीकरण, स्पटरिंग, PECVD, भ्याकुम ड्राई इचिंग, भ्याकुम शोषण, परीक्षण उपकरण, भ्याकुम क्लिनिंग र अन्य बन्धन प्रक्रियाहरूमा प्रयोग गरिन्छ, अर्धचालक उत्पादन र निर्माण प्रक्रियाले सजिलैसँग ज्वलनशील, विस्फोटक र विषाक्त पदार्थ ग्यासलाई खतरामा पार्न सक्छ। उत्पादन र कर्मचारी सुरक्षा, यसैले, अर्धचालक भ्याकुम पम्प को आवेदन धेरै सुरक्षा मामिलाहरूमा ध्यान दिन आवश्यक छ:

1. अधिक दबाबबाट बच्नको लागि भ्याकुम पम्प र अन्य सामानहरू, फिल्टर र पाइप तालिकामा फिल्टर गर्नुहोस् र सफा गर्नुहोस्:

अर्धचालक भ्याकुम पम्पको प्रयोगमा, प्रतिक्रिया कक्ष र भ्याकुम पम्प मार्फत निकालिएको माध्यमको संरचना अत्यन्त जटिल हुन सक्छ। उदाहरणका लागि, SiH4 र O2 ले पम्प पोर्टमा SiO2 बनाउँछ, र TiCl4 को हाइड्रोलाइसिसले HCl बनाउँछ; मानिन्छ कि तेल सील प्रकार मेकानिकल पम्प, यी ग्याँस पदार्थ पनि पम्प तेल उल्टाउन सकिन्छ। यी परिवर्तनहरूले कणहरू, कोगुलेबल सामग्री, वा इरोसिभ मिडियाको गठन मान्छन्, जसले भ्याकुम पम्प वा पाइपिङ प्रणालीलाई बन्द गर्न सक्छ, भ्याकुम पम्प प्रकार्यलाई असर गर्न सक्छ, दबाब वृद्धि वा अत्यधिक दबाव निम्त्याउँछ, र दोस्रो बिन्दुमा उल्लेख गरिएको जोखिम ठूलो छ। त्यसकारण, यो समयमै सफा गर्न आवश्यक छ, र आवश्यक पर्दा फिल्टरिंग उपकरणहरू सेट अप गर्नुहोस्।

2, हानिकारक ग्याँस एकाग्रता को प्रभावकारी कमजोरी:

सेमीकन्डक्टरले माथि उल्लेखित ज्वलनशील र विस्फोटक, विषाक्त र हानिकारक ग्याँसहरू उत्पादन गर्ने सम्भावना हुन्छ। तसर्थ, अर्धचालक भ्याकुम पम्पको प्रयोगमा, यी मिडियाहरू निकाल्दा, भ्याकुम पम्प वा निकास प्रक्रियामा केही अनियन्त्रित प्रतिक्रियाहरू हुनबाट रोक्न आवश्यक छ। जस्तै SiH4, PH3, AsH3, B2H6 र अन्य पदार्थहरू, हावा वा अक्सिजनको सम्पर्कमा, दहन वा पनि हुन सक्छ; हावामा मिश्रणको अनुपात निश्चित तापक्रममा पुग्दा हाइड्रोजन ग्यास पनि जल्छ। यो सबै पदार्थ को मात्रा र वातावरण को दबाव र तापमान को सम्बन्ध मा निर्भर गर्दछ। त्यसकारण, जब सेमीकन्डक्टर भ्याकुम पम्पले यी माध्यमहरू निकाल्छ, यसले इनर्ट ग्यासहरू प्रयोग गर्न आवश्यक छ, जस्तै नाइट्रोजन, यी ग्यासहरूलाई कम्प्रेसन अघि सुरक्षित दायरामा पातलो गर्न।

3. अक्सिजनको एकाग्रतामा ध्यान दिनुहोस्:

यदि हावामा अक्सिजनको मात्रा धेरै छ भने, दहन र जोखिम हुनेछ। तसर्थ, केहि अवस्थामा, अक्सिजनको एकाग्रतामा ध्यान दिनु पर्छ, अक्रिय ग्यास पातलो गर्न को लागी, धेरै उच्च एकाग्रता रोक्न को लागी; मानिन्छ कि तेल सिल मेकानिकल पम्पले केही निष्क्रिय र अक्सिजन मिल्दो भ्याकुम पम्प तेल, र तेल फिल्टर र तेल उत्पादनहरूको समयमै प्रतिस्थापन गर्न आवश्यक पर्दछ।

4, तापमान धेरै उच्च रोक्न:

यो बिन्दु बुझ्न सजिलो छ। भ्याकुम पम्पमा सेमीकन्डक्टरको प्रयोगमा, त्यहाँ बढी हानिकारक ग्याँसहरू छन्। चाहे सुख्खा भ्याकुम पम्प अझै पनि तेल सील मेकानिकल पम्प हो, पम्प च्याम्बर मा तापमान धेरै उच्च छ, र ज्वलनशील र विस्फोटक र du ग्यास सजिलै उच्च तापमान मा खतरनाक हुनेछ।

माथिका 4 पक्षहरू सेमीकन्डक्टर भ्याकुम पम्पको प्रयोगमा मुख्य सुरक्षा मामिलाहरू हुन्। सामान्यतया, तेल सिल मेकानिकल पम्पहरूले सुक्खा भ्याकुम पम्पहरू भन्दा बढी सुरक्षा विवरणहरूमा ध्यान दिनु आवश्यक छ, निपटान अधिक जटिल छ। जब हामी भ्याकुम पम्पहरू प्रयोग गर्छौं, हामीले कन्डक्टरमा सुरक्षा सावधानीहरूमा ध्यान दिनु पर्छ, र पछि प्रयोग गर्दा सञ्चालन पुस्तिकामा राम्रो काम गर्न आवश्यक छ। सञ्चालनमा साना समस्याहरूको कारण, आउटपुट, दक्षता र सुरक्षा जोडिएको छ, हामीले भ्याकुम पम्पको सेवा जीवन विस्तार गर्नुपर्छ, सन्तुलन समन्वय गर्न प्रयास गर्नुपर्छ, दक्षता र सुरक्षा सुनिश्चित गर्नुहोस्।

पानी रिंग भ्याकुम पम्प भल्भ फ्ल्यान्ज जडान फारम

संयुक्त सतह को आकार अनुसार, यो निम्न प्रकार मा विभाजित गर्न सकिन्छ:

1, ओ-रिंग प्रकार: यो पानी रिंग भ्याकुम पम्प फ्ल्यान्ज जडान फारम को एक नयाँ प्रकार हो, रबर O-रिंग विकास को एक किस्म द्वारा पछ्याइएको छ, यो सामान्य फ्ल्याट धुने भन्दा सील प्रभाव मा अधिक विश्वसनीय छ।

2, ट्रापेजोइडल ग्रूभ प्रकार: पानीको घण्टी भ्याकुम पम्प भल्भ फ्ल्यान्ज जडान अंडाकार धातुको औंठीसँग धुनेको रूपमा, काम गर्ने दबाव 64 kg/cm2 भल्भ वा उच्च तापक्रम भल्भको लागि प्रयोग गरिन्छ

3. मोर्टाइज र ग्रूभ प्रकार: ठूलो प्लास्टिक विकृति भएको ग्यास्केट संक्षारक माध्यममा प्रयोग गर्न सकिन्छ। पानी रिंग भ्याकुम पम्प को सील प्रभाव राम्रो छ

4. अवतल र उत्तल प्रकार: पानी रिंग भ्याकुम पम्प को काम को दबाव उच्च छ, र कडा धुने प्रयोग गर्न सकिन्छ

5, लेन्स प्रकार: धुने लेन्स को आकार, धातु बनेको छ। 100kg/cm2 को काम दबाव संग उच्च दबाव भल्भ वा उच्च तापमान भल्भ

6, चिल्लो प्रकार: दबाब उच्च भल्भ छैन, अधिक सुविधाजनक प्रक्रिया

पानीको घण्टी भ्याकुम पम्प फ्ल्यान्ज जडान त्यहाँ धेरै रूपहरू छन्, तर तिनीहरूसँग फरक अवसरहरू छन्, प्रयोगमा, हामीले अवसरको उपयुक्ततामा ध्यान दिनु पर्छ, जडानको प्रभाव सुनिश्चित गर्नुहोस्, जडान विफलताको कारण नगर्नुहोस्, पानीको क्षतिको परिणामस्वरूप। घण्टी भ्याकुम पम्प